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진공 챔버 내에서 금속 박막 표면 및 연성 고분자 필름 표면에 플라즈마를 처리하여 표면을 개질하는 단계; 및플라즈마 처리에 의해 개질된 금속 박막 표면 및 연성 고분자 필름 표면을 맞대고 진공 챔버 내에서 가압하여 접합시키는 단계를 포함하는 방법으로서,상기 진공 챔버의 진공도는 1×10-9 torr 내지 1×10-3 torr 이고,상기 플라즈마 처리시 플라즈마 발생을 위한 인가 전력은 10~30 W 이고 플라즈마 조사 시간은 40~120초 이며,상기 가압하여 접합시 가압 압력은 50~250 psi 이고 가압 시간은 4~10분 인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 박막은 구리(Cu) 박막인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 연성 고분자 필름은 PDMS(Polydimethylsiloxane) 필름인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 진공 챔버에서 진공도를 유지하기 위한 초기 진공도는 1×10-8 torr 내지 1×10-6 torr인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 진공 챔버에서 플라즈마를 생성하기 위한 분위기는 아르곤(Ar) 가스 분위기인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 진공 챔버에서 플라즈마가 생성될 때 진공 챔버의 진공도는 5×10-5 torr 내지 5×10-3 torr인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공 챔버의 진공도는 5×10-8 torr 내지 1×10-4 torr 이고, 상기 플라즈마 처리시 플라즈마 발생을 위한 인가 전력은 10~20 W 이고 플라즈마 조사 시간은 40~100초 이며, 상기 가압하여 접합시 가압 압력은 70~220 psi 이고 가압 시간은 5~10분 인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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진공 챔버 내에서 금속 박막 표면 및 연성 고분자 필름 표면에 플라즈마를 처리하여 표면을 개질하는 단계; 및플라즈마 처리에 의해 개질된 금속 박막 표면 및 연성 고분자 필름 표면을 맞대고 진공 챔버 내에서 가압하여 접합시키는 단계를 포함하는 방법으로서,상기 진공 챔버의 진공도는 1×10-9 torr 내지 1×10-3 torr 이고,상기 플라즈마 처리시 플라즈마 발생을 위한 인가 전력과 플라즈마 조사 시간의 곱으로 환산되는 값인 조사된 플라즈마 총 에너지는 350~1500 Joule 이며,상기 가압하여 접합시 가압 압력은 50~250 psi 이고 가압 시간은 4~10분 인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 금속 박막은 구리(Cu) 박막이고, 상기 연성 고분자 필름은 PDMS(Polydimethylsiloxane) 필름인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 진공 챔버에서 진공도를 유지하기 위한 초기 진공도는 1×10-8 torr 내지 1×10-6 torr인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 진공 챔버에서 플라즈마를 생성하기 위한 분위기는 아르곤(Ar) 가스 분위기이고, 상기 진공 챔버에서 플라즈마가 생성될 때 진공 챔버의 진공도는 5×10-5 torr 내지 5×10-3 torr인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공 챔버의 진공도는 5×10-8 torr 내지 1×10-4 torr 이고, 상기 조사된 플라즈마 총 에너지는 400~1400 Joule 이며, 상기 가압하여 접합시 가압 압력은 70~220 psi 이고 가압 시간은 5~10분 인 것을 특징으로 하는 연성 금속 적층판의 제조방법
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