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실리콘(Si)을 증착시켜 실리콘(Si)-산소(O)-철(Fe) 혼합층인 사이펙스층(30)이 형성된 실리콘이 코팅된 산화방지용 철
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제 1항에 있어서,상기 실리콘이 코팅된 철은,상기 실리콘(Si)이 증착되지 않은 철과 유사한 전기저항을 가지는 것을 특징으로 하는 실리콘이 코팅된 산화방지용 철
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제 1항에 있어서,상기 실리콘이 코팅된 철은,박막, 호일 또는 덩어리인 것을 특징으로 하는 실리콘이 코팅된 산화방지용 철
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제 3항에 있어서,상기 실리콘이 코팅된 철이 박막, 호일 또는 덩어리인 경우,200 내지 350 ℃로 20 내지 40 분 동안 열을 가하여도 산화가 방지되는 것을 특징으로 하는 실리콘이 코팅된 산화방지용 철
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제 1항에 있어서,상기 실리콘이 코팅된 철은,면저항이 9
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제 1항에 있어서,상기 실리콘이 코팅된 철은,철층(10);상기 철층(10) 상단에 형성된 산화철(Fe3O4)층(20);상기 산화철층(20) 상단에 실리콘(Si)-산소(O)-철(Fe)이 혼합되어 형성된 사이펙스층(30); 및상기 사이펙스층(30) 상단에 형성된 실리콘(Si)-산소(O) 혼합층(40);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 실리콘이 코팅된 산화방지용 철
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제 6항에 있어서,상기 산화철(Fe3O4)층(20)은,두께가 3 내지 7 nm인 것을 특징으로 하는 실리콘이 코팅된 산화방지용 철
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8
제 6항에 있어서,상기 실리콘(Si)-산소(O)-철(Fe)이 혼합되어 형성된 사이펙스층(30)은,두께가 0
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9
제 6항에 있어서,상기 실리콘(Si)-산소(O) 혼합층(40)은,두께가 5 내지 30 nm인 것을 특징으로 하는 실리콘이 코팅된 산화방지용 철
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철(Fe)에 실리콘(Si)을 스퍼터링(sputtering) 단일 공정으로 증착시키는 실리콘이 코팅된 산화방지용 철 제조방법
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제 10항에 있어서,상기 스퍼터링(sputtering)은,아르곤 분위기 하에서 수행하는 것을 특징으로 하는 실리콘이 코팅된 산화방지용 철 제조방법
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12
제 10항에 있어서,상기 스퍼터링(sputtering)은,상온 내지 350 ℃에서 1 내지 5 분 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 실리콘이 코팅된 산화방지용 철 제조방법
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