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진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템에 있어서, 수조로부터 공급되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 수증기 정량 주입부; 상기 수증기 정량 주입부로부터 생성된 수증기가 진공펌프로 전달되도록 하는 히팅라인; 상기 진공펌프로 전달되는 수증기 유량과 배기 압력의 측정값을 전달받는 데이터 수집부;를 포함하고, 상기 히팅라인은 상기 수증기 정량 주입부로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 진공펌프로 전달되도록 하고, 상기 진공펌프로 전달되는 수증기 유량과 배기 압력의 측정값으로부터 상기 진공펌프의 배기속도를 산출하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 수조의 무게 변화를 측정하여 물 유량을 산출하고, 상기 물 유량으로부터 수증기 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 히팅라인과 상기 진공펌프가 연결되는 위치에 설치되는 진공센서를 더 포함하고, 상기 진공센서에 의하여 상기 배기 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 수증기 정량 주입부는, 상기 수조로부터 공급되는 물을 정량적으로 주입하는 마이크로 펌프; 상기 마이크로 펌프로부터 주입되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 증발기;를 더 포함하고, 상기 마이크로 펌프에 의하여 물 유량을 측정하고, 상기 물 유량으로부터 수증기 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 히팅라인은 제 1 히팅라인과 제 2 히팅라인을 포함하고, 제 1 히팅라인으로 공급되는 수증기의 유량은 마이크로 펌프에 의하여 공급되는 물의 유량을 기준으로 산출되는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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제 5 항에 있어서, 제 2 히팅라인에 질량 유량 제어기 또는 질량 유량 측정기를 연결하여 공급되는 수증기의 유량을 측정하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템에 있어서, 수조로부터 공급되는 물을 정량적으로 주입하는 마이크로 펌프; 상기 마이크로 펌프로부터 주입되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 증발기; 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 전달되도록 하는 히팅라인; 상기 히팅라인으로부터 수증기가 전달되어 주입되는 시험용기; 상기 시험용기의 배기 압력을 측정하는 진공센서; 상기 시험용기로 전달되는 수증기 유량과 상기 배기 압력의 측정값을 전달받는 데이터 수집부;를 포함하고, 상기 히팅라인은 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 상기 시험용기를 통하여 진공펌프로 전달되도록 하고, 상기 진공펌프로 전달되는 수증기 유량과 상기 배기 압력의 측정값으로부터 상기 진공펌프의 배기속도를 산출하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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제 7 항에 있어서, 상기 수조의 무게 변화로부터 물 유량을 측정하고, 상기 물 유량으로부터 수증기 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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제 7 항에 있어서, 상기 마이크로 펌프에 의하여 물 유량을 측정하고, 상기 물 유량으로부터 수증기 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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제 7 항에 있어서, 상기 히팅라인의 온도가 상기 증발기의 온도보다 더 높게 설정되어 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 더욱 더 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 상기 시험용기를 통하여 진공펌프로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템에 있어서, 수조로부터 공급되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 수증기 정량 주입부; 상기 수증기 정량 주입부로부터 생성된 수증기가 진공펌프로 전달되도록 하는 히팅라인; 상기 히팅라인과 상기 진공펌프가 연결되는 위치에 설치되어 배기 압력을 측정하는 진공센서; 상기 진공펌프로 전달되는 수증기 유량과 배기 압력의 측정값을 전달받는 데이터 수집부;를 포함하고, 상기 히팅라인은 상기 수증기 정량 주입부로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 진공펌프로 전달되도록 하고, 상기 진공펌프로 전달되는 수증기 유량과 배기 압력의 측정값으로부터 상기 진공펌프의 배기속도를 산출하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 시스템
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진공펌프의 수증기 배기 성능평가 방법에 있어서, 수조로부터 공급되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 단계; 히팅라인에 의하여 상기 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 진공펌프로 전달되도록 하는 단계; 상기 진공펌프로 전달되는 수증기 유량과 배기 압력의 측정값을 전달받는 단계; 상기 진공펌프로 전달되는 수증기 유량과 배기 압력의 측정값으로부터 상기 진공펌프의 배기속도를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 방법
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진공펌프의 수증기 배기 성능평가 방법에 있어서, 수조의 무게를 측정하면서 수증기 정량 주입부로 물을 공급하는 단계; 상기 수증기 정량 주입부에서, 상기 수조로부터 공급되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 단계; 히팅라인을 통하여 상기 수증기 정량 주입부로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 진공펌프로 전달되도록 하는 단계; 상기 수조의 무게 변화로부터 수증기 유량을 산출하는 단계; 상기 진공펌프의 배기 압력을 측정하는 단계; 상기 수증기 유량과 배기 압력의 측정값으로부터 상기 진공펌프의 배기속도를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 방법
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진공펌프의 수증기 배기 성능평가 방법에 있어서, 마이크로 펌프에 의하여 수조로부터 공급되는 물을 정량적으로 주입하는 단계; 증발기에 의하여 상기 마이크로 펌프로부터 주입되는 물을 증발시켜 수증기로 생성하는 단계; 히팅라인에 의하여 상기 증발기로부터 생성된 수증기가 액화되지 않고 수증기 상태를 유지하면서 시험용기로 전달되도록 하는 단계; 상기 시험용기에 연결되는 진공펌프에 의하여 수증기가 배기되는 단계; 상기 시험용기의 압력으로부터 배기 압력을 측정하는 단계; 상기 마이크로 펌프에서 측정되는 물 유량으로부터 산출되는 수증기 유량과 상기 배기 압력으로부터 상기 진공펌프의 배기속도를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 방법
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제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항의 진공펌프의 수증기 배기 성능평가 방법을 실행시키기 위하여 저장매체에 기록되는 컴퓨터프로그램
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