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유리 기판;상기 유리 기판 상에 마련된 티타늄(Ti) 및 백금(Pt)의 IDC(Inter-digitated Capacitor) 전극; 및상기 IDC 전극 상에 코팅된 습도 감지층;을 포함하는 습도 센서에 있어서,상기 IDC 전극은 폭 20 내지 100㎛의 각각의 가지(finger) 24 내지 32개가 20 내지 100㎛의 간격으로 이격되어 교차하도록 교호 배치되며,상기 습도 감지층은 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF) 및 염화리튬(LiCl)의 다공성 복합재료인,고감도 습도 센서
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제1항에 있어서,상기 IDC 전극은 폭 100㎛의 가지(finger) 24 내지 32개가 100㎛씩 이격되어 교차하도록 형성되는 고감도 습도 센서
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 습도 센서의 감도는 12678
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제1항에 있어서,상기 IDC 전극은 이중 IDC 전극이며,상부 전극의 가지(finger) 28개 및 하부 전극의 가지 32개가 각각 20㎛의 폭으로 20㎛씩 이격되어 교차하도록 형성되는 고감도 습도 센서
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제1항 또는 제4항에 있어서,상기 습도 센서의 감도는 11034
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제1항 또는 제4항에 있어서,상기 습도 센서는 0
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제1항에 있어서,상기 습도 감지층의 PVDF 및 LiCl의 중량비는 1:0
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제7항에 있어서,상기 습도 감지층의 PVDF 및 LiCl의 중량비는 1:0
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제1항에 있어서,25℃에서 습도를 감지하는 응답시간이 20초 이하 및 복구시간이 25초 이하이고, 정전용량의 초당 증가율이 8
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(S1) 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF) 및 염화리튬(LiCl)의 혼합용액을 제조하는 단계; 및(S2) 유리 기판 상의 티타늄(Ti) 및 백금(Pt)의 IDC(Interdigitated Capacitor) 전극에 상기 혼합용액을 드롭 코팅 후 건조하는 단계;를 포함하는 고감도 습도 센서의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 (S1) 단계의 PVDF 및 LiCl의 중량비는 1:0
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제11항에 있어서,상기 (S1) 단계의 PVDF 및 LiCl의 중량비는 1:0
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제10항에 있어서,상기 IDC 전극은 폭 20 내지 100㎛의 각각의 가지(finger) 24 내지 32개가 20 내지 100㎛의 간격으로 이격되어 교차하도록 교호 배치된 고감도 습도 센서의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 (S1) 단계의 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF) 및 염화리튬(LiCl)의 혼합용액은 하기의 단계를 포함하여 제조되는 고감도 습도 센서의 제조방법
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