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광주파수빗과, 특정 주파수의 측정 대상 신호를 결합하는 광결합부,상기 광결합부에서 결합된 결합 신호를 공간상에 분광시키는 분광부, 분광된 신호 중에서, 상기 측정 대상 신호가 중첩된 주파수 대역의 광 신호를 통과시키는 협대역 필터, 그리고 상기 협대역 필터를 통과한 광 신호로부터 상기 특정 주파수에 관계된 광비트 신호를 검출하는 광검출기를 포함하는 측정부, 그리고상기 측정 대상 신호가 상기 협대역 필터를 통과하도록 상기 분광부와 상기 측정부를 정렬시키는 제어부를 포함하는, 광비트 신호 검출 장치
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제1항에서,상기 제어부는상기 광검출기에서 측정된 위치별 신호 세기를 기초로 상기 분광부 및/또는 상기 측정부를 움직이는 제어 신호를 생성하고, 상기 제어 신호를 상기 분광부가 탑재된 회전 스테이지 및/또는 상기 측정부가 탑재된 모션 스테이지로 전송하는, 광비트 신호 검출 장치
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제2항에서,상기 광검출기는 복수의 광센서들이 배열된 어레이 광검출기인, 광비트 신호 검출 장치
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제1항에서,상기 제어부는상기 측정 대상 신호의 분광 위치를 기초로, 상기 분광부 및/또는 상기 측정부를 움직여 상기 측정 대상 신호가 협대역 필터를 통과하도록 제어하는, 광비트 신호 검출 장치
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제4항에서,상기 제어부에게, 상기 측정 대상 신호의 분광 위치를 제공하는 빔 위치 추적기를 더 포함하는, 광비트 신호 검출 장치
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제1항에서,상기 분광부는회절 격자(optical grating)를 포함하는, 광비트 신호 검출 장치
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제1항에서,상기 협대역 필터는상기 광주파수빗 중에서, 상기 측정 대상 신호 근처의 주파수 모드를 분리하여 통과시키는, 광비트 신호 검출 장치
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제1항에서,상기 측정부는상기 광주파수빗의 스펙트럼 범위에서 변하는 상기 측정 대상 신호의 주파수에 따라, 상기 광비트 신호를 연속적으로 검출하는, 광비트 신호 검출 장치
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광주파수빗과, 특정 주파수의 측정 대상 신호를 결합하는 광결합부,회절 현상을 이용하여, 상기 광결합부에서 결합된 결합 신호를 공간상에 분광시키는 분광부, 협대역 필터를 통해 입사된 광 신호로부터 상기 특정 주파수에 관계된 광비트 신호를 검출하는 측정부, 제1 회절 모드에 포함된 상기 측정 대상 신호를 이용하여, 상기 측정 대상 신호의 분광 위치를 추적하는 빔 위치 추적기, 그리고상기 측정 대상 신호의 분광 위치를 기초로, 제2 회절 모드에 포함된 상기 측정 대상 신호가 상기 협대역 필터를 통과하도록 상기 측정부의 움직임을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제1 회절 모드와 상기 제2 회절 모드는 대칭 모드인, 광비트 신호 검출 장치
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제9항에서,상기 빔 위치 추적기는상기 제1 회절 모드에 포함된 상기 측정 대상 신호를 측정하고, 측정 위치와 기준 위치의 각도 차이를 상기 측정 대상 신호의 분광 위치로 제공하며,상기 기준 위치는 공간상에서 회절되지 않는 0차 모드 위치인, 광비트 신호 검출 장치
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제10항에서,상기 제어부는 상기 기준 위치에서 상기 각도 차이만큼 떨어진 위치에 상기 협대역 필터를 위치시키는 제어 신호를 생성하는, 광비트 신호 검출 장치
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제9항에서,상기 제1 회절 모드에 포함된 상기 측정 대상 신호의 분광 위치는 상기 제2 회절 모드에 포함된 상기 측정 대상 신호의 분광 위치와 대칭적인, 광비트 신호 검출 장치
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제9항에서,상기 분광부는회절 격자(optical grating)를 포함하고, 고정되는, 광비트 신호 검출 장치
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제9항에서,상기 협대역 필터는상기 광주파수빗 중에서, 상기 측정 대상 신호 근처의 주파수 모드를 분리하여 통과시키는, 광비트 신호 검출 장치
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광주파수빗과, 특정 주파수의 측정 대상 신호를 결합하는 광결합부,회절 현상을 이용하여, 상기 광결합부에서 결합된 결합 신호를 공간상에 분광시키는 분광부, 협대역 필터를 통해 입사된 광 신호로부터 상기 특정 주파수에 관계된 광비트 신호를 검출하는 측정부, 제1 회절 모드에 포함된 상기 측정 대상 신호를 이용하여, 상기 측정 대상 신호의 분광 위치를 추적하는 빔 위치 추적기, 그리고상기 측정 대상 신호의 분광 위치를 기초로, 제2 회절 모드에 포함된 상기 측정 대상 신호가 상기 협대역 필터를 통과하도록 상기 분광부의 움직임을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제1 회절 모드와 상기 제2 회절 모드는 대칭 모드인, 광비트 신호 검출 장치
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제15항에서,상기 빔 위치 추적기는 측정 신호를 위한 타겟 위치가 상기 협대역 필터의 중심 위치에 대칭되도록 공간상에 배치되고, 상기 제1 회절 모드에 포함된 상기 측정 대상 신호를 측정한 후, 측정 위치와 상기 타겟 위치의 거리 차이를 상기 측정 대상 신호의 분광 위치로 제공하는, 광비트 신호 검출 장치
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제16항에서,상기 제어부는상기 거리 차이가 상쇄되도록, 상기 분광부를 회전시키는 제어 신호를 생성하는, 광비트 신호 검출 장치
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제15항에서,상기 빔 위치 추적기로 입사되는 상기 제1 회절 모드를 반전시키는 도브 프리즘(Dove Prism)을 더 포함하는, 광비트 신호 검출 장치
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제15항에서,상기 분광부는회절 격자(optical grating)를 포함하는, 광비트 신호 검출 장치
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제15항에서,상기 협대역 필터는상기 광주파수빗 중에서, 상기 측정 대상 신호 근처의 주파수 모드를 분리하여 통과시키는, 광비트 신호 검출 장치
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