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유연 기판;상기 유연 기판 상의 희생 패턴;상기 희생 패턴 상의 투명 전극 패턴; 및상기 유연 기판과 상기 희생 패턴 사이의 하부 접착층을 포함하되,상기 희생 패턴은 상기 투명 전극 패턴과 수직적으로 중첩하고,평면적 관점에서, 상기 희생 패턴 및 투명 전극 패턴은 메쉬(mesh) 형태를 가지는 유연 전자 소자
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제 1항에 있어서,상기 투명 전극 패턴은 전도성 금속, 전도성 폴리머 또는 전도성 카본을 포함하는 유연 전자 소자
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제 1항에 있어서,상기 희생 패턴은 무기물질 및 유기고분자 물질 중 적어도 하나를 포함하는 유연 전자 소자
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제 1항에 있어서,상기 유연 기판은 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 나일론, 폴리스티롤, 폴리에스테르, 폴리우레탄, 테플론 및 폴리아미드 중 적어도 하나를 포함하는 유연 전자 소자
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제 1항에 있어서,상기 희생 패턴과 상기 투명 전극 패턴 사이의 상부 접착층을 더 포함하되,상기 상부 접착층은 상기 희생 패턴과 수직적으로 중첩하고, 평면적 관점에서 메쉬 형태를 가지는 유연 전자 소자
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제 5항에 있어서,상기 상부 접착층은 티타늄, 백금, 크롬 또는 니켈을 포함하는 유연 전자 소자
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제 5항에 있어서,상기 상부 접착층과 상기 희생 패턴 사이의 도전 패턴을 더 포함하는 유연 전자 소자
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제 7항에 있어서,상기 도전 패턴은 알루미늄을 포함하는 유연 전자 소자
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제 7항에 있어서,상기 도전 패턴은 상기 희생 패턴과 수직적으로 중첩하고, 평면적 관점에서 메쉬 형태를 가지는 유연 전자 소자
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제 1항에 있어서,상기 투명 전극 패턴의 상면을 덮는 변색층을 더 포함하는 유연 전자 소자
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제 10항에 있어서,상기 변색층은 상기 투명 전극 패턴과 수직적으로 중첩하고, 평면적 관점에서 메쉬 형태를 가지는 유연 전자 소자
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제 10항에 있어서,상기 변색층은 상기 투명 전극 패턴의 측면들 및 상기 희생 패턴의 측면들 상으로 연장되는 유연 전자 소자
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캐리어 상에 희생층, 도전층 및 마스크 패턴을 차례로 적층하되, 평면적 관점에서 상기 마스크 패턴은 메쉬(mesh) 형태를 가지는 것;상기 마스크 패턴을 식각 마스크로 이용하여 상기 도전층을 식각함으로써 도전 패턴을 형성하는 것;상기 도전 패턴을 식각 마스크로 이용하여 상기 희생층을 식각함으로써 희생 패턴을 형성하는 것;상기 희생 패턴의 상면 상의 투명 전극 패턴을 형성하는 것;픽업 필름을 상기 투명 전극 패턴의 상면 상에 부착시키는 것;레이저를 조사하여 상기 캐리어를 상기 희생 패턴으로부터 분리하는 것;하부 접착층을 이용해 상기 희생 패턴에 유연 기판을 부착시키는 것; 및상기 픽업 필름을 상기 투명 전극 패턴으로부터 분리하는 것을 포함하는 유연 전자 소자의 제조방법
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제 13항에 있어서,상기 유연 기판과 상기 하부 접착층 사이의 접착력, 및 상기 하부 접착층과 상기 희생 패턴 사이의 접착력은, 상기 픽업 필름과 상기 투명 전극 패턴 사이의 접착력보다 강한 유연 전자 소자의 제조방법
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제 13항에 있어서,상기 투명 전극 패턴을 형성하기 전에 상기 희생 패턴의 상기 상면 상에 상부 접착층을 형성하는 것을 더 포함하는 유연 전자 소자의 제조방법
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제 15항에 있어서,평면적 관점에서, 상기 투명 전극 패턴은 상기 마스크 패턴과 실질적으로 동일한 메쉬 형태를 가지는 유연 전자 소자의 제조방법
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제 15항에 있어서,상기 상부 접착층은 상기 희생 패턴의 상기 상면 상의 상기 도전 패턴의 상면 상에 형성되고,상기 투명 전극 패턴과 상기 상부 접착층 사이의 접착력, 및 상기 상부 접착층과 상기 도전 패턴 사이의 접착력은, 상기 픽업 필름과 상기 투명 전극 패턴 사이의 접착력보다 강한 유연 전자 소자의 제조방법
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제 13항에 있어서,상기 픽업 필름으로 상기 투명 전극 패턴의 상기 상면을 덮는 것은:상기 투명 전극 패턴의 상기 상면을 덮는 변색층을 형성하는 것;상기 픽업 필름으로 상기 변색층의 상면을 덮는 것을 포함하는 유연 전자 소자의 제조방법
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제 18항에 있어서,평면적 관점에서, 상기 변색층은 상기 마스크 패턴과 실질적으로 동일한 메쉬 형태를 가지는 유연 전자 소자의 제조방법
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제 13항에 있어서,상기 픽업 필름과 상기 투명 전극 패턴의 분리 이후, 상기 투명 전극 패턴의 상기 상면을 덮고 상기 투명 전극 패턴의 측면들 상으로 연장되는 변색층을 형성하는 것을 더 포함하는 유연 전자 소자의 제조방법
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