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신규한 유기주석 화합물 및 이를 이용한 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2023010523
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열적 안정성과 휘발성이 개선된 신규한 주석 전구체에 관한 것으로, 상기 주석 전구체를 이용하여 낮은 온도에서 우수한 성장 속도로, 쉽게 양질의 주석 질화물 박막을 제조하는 방법 및 이를 통해 제조된 박막을 제공할 수 있다.
Int. CL C07F 7/22 (2006.01.01) C23C 16/34 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 18/12 (2006.01.01)
CPC C07F 7/2284(2013.01) C23C 16/34(2013.01) C23C 16/45553(2013.01) C23C 18/1204(2013.01)
출원번호/일자 1020220058038 (2022.05.11)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0158682 (2023.11.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.05.11)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대전광역시 유성구
2 류지연 대전광역시 유성구
3 박보근 대전광역시 유성구
4 엄태용 대전광역시 유성구
5 최희낭 대전광역시 유성구
6 최다슬 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 공간 대한민국 대전광역시 서구 둔산서로 ***, *층(둔산 *동, 산업은행B/D)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2022.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2022-0501821-83
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번호 청구항
1 1
하기 [화학식 A] 로 표시되는 유기 주석 화합물
2 2
제1항에 있어서,상기 R2 내지 R7, R12 내지 R17은 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, 수소, 중수소, CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 주석 화합물
3 3
제1항에 있어서,상기 R1 및 R11은 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, C1-C6의 선형 알킬기; C1-C6의 선형 할로겐화된 알킬기; C3-C6의 분지형 또는 고리형 알킬기; 및 C3-C6의 분지형 또는 고리형 할로겐화된 알킬기; 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 주석 화합물
4 4
제3항에 있어서,상기 R1 및 R11는 각각 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 주석 화합물
5 5
제1항에 있어서,상기 m 및 n은 각각 1 또는 2인 것을 특징으로 하는 유기 주석 화합물
6 6
제5항에 있어서,상기 R2 내지 R7, R12 내지 R17은 동일하거나 상이하고 서로 독립적으로, 수소 또는 중수소인 것을 특징으로 하는 유기 주석 화합물
7 7
제1항에 있어서,상기 주석에 배위되는, 두 개의 리간드는 서로 동일한 것을 특징으로 하는 유기 주석 화합물
8 8
제1항 내지 제7항 중에서 선택되는 어느 하나의 유기 주석 화합물을 전구체로 이용하여 주석 질화물 박막을 제조하는 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 주석 질화물 박막을 제조하는 공정은 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD) 또는 용액 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 주석 질화물 박막을 제조하는 방법
10 10
하기 화합물 B로 표시되는 주석 화합물; 하기 화합물 C1으로 표시되는 함질소 고리 화합물; 및 화합물 C2으로 표시되는 함질소 고리화합물;을 각각 반응물로 사용하여 화학식 A 로 표시되는 유기 주석 화합물을 제조하는 것을 특징으로 하는, 청구항 1의 화학식 A 로 표시되는 유기 주석 화합물의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국화학연구원 나노소재기술개발 태양전지 광흡수층용 금속 질화물 박막을 위한 금속 전구체 및 화학기상증착 박막공정 개발
2 과학기술정보통신부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영비지원(소부장회계) IoT 디바이스용 화학소재 기술