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비드에 기초하여 디스크와 망으로 구성된 나노 구조물 및 나노 구조물의 제작 방법

  • 기술번호 : KST2023010686
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 비드를 이용한 디스크와 망으로 구성된 나노 구조물 및 나노 구조물의 제작 방법이 개시된다. 나노 구조물은 기판; 상기 기판의 상단에 원형의 디스크와 상기 디스크의 주변에 육각형의 망이 배치되고, 상기 디스크와 망은 나노 사이즈의 갭만큼 이격될 수 있다.
Int. CL B82B 3/00 (2017.01.01) C23C 14/58 (2006.01.01) C23C 14/14 (2006.01.01) C23C 16/56 (2006.01.01) C23C 16/06 (2006.01.01) B82Y 5/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC B82B 3/0009(2013.01) C23C 14/5873(2013.01) C23C 14/14(2013.01) C23C 16/56(2013.01) C23C 16/06(2013.01) B82Y 5/00(2013.01) B82Y 40/00(2013.01)
출원번호/일자 1020220060324 (2022.05.17)
출원인 단국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0160608 (2023.11.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.05.17)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 단국대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 수지구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승기 서울특별시 동작구
2 박재형 경기도 용인시 기흥구
3 김형민 경기도 파주시
4 남영호 경기도 수원시 권선구
5 이나경 경기도 안양시 만안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2022.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2022-0521941-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2023.06.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2023.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2023-0215058-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2023.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-1048001-16
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번호 청구항
1 1
나노 구조물에 있어서,기판;상기 기판의 상단에 원형의 디스크와 상기 디스크의 주변에 육각형의 망이 배치되고,상기 디스크와 망은 나노 사이즈의 갭만큼 이격된 나노 구조물
2 2
제1항에 있어서,상기 디스크 및 망은, 전도성을 가지는 금속 물질로 구성된 나노 구조물
3 3
제1항에 있어서,상기 디스크 및 망은,상기 기판 위에 증착된 금속 물질에 폐쇄 패킹(closed packing)된 비드를 일정 시간동안 식각함으로써 형성되는 나노 구조물
4 4
나노 구조물의 제작 방법에 있어서,기판 위에 금속 물질을 증착하는 단계;상기 증착된 금속 물질 위에 복수의 비드들을 배치하는 단계;상기 배치된 복수의 비드들에 반응성 이온 식각을 연속적으로 적용함으로써 상기 복수의 비드들을 디스크 위에 형성된 돔과 망 위에 형성된 기둥으로 변형하는 단계;상기 복수의 비드들에 대해 반응성 이온 식각을 적용한 이후에, 상기 돔과 기둥 사이에 나노 사이즈의 갭만큼 노출된 금속 물질을 제거하는 단계;상기 비드로부터 변형된 돔과 기둥을 제거하여 금속 물질로 된 디스크와 망을 노출하는 단계를 포함하고,상기 디스크는 원형을 나타내고, 상기 망은 육각형을 나타내는 나노 구조물의 제작 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 복수의 비드들은,상기 기판 위에 증착된 금속 물질에 폐쇄 패킹(closed packing)된 형태로 배치되는 나노 구조물의 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020230111954 KR 대한민국 FAMILY
2 KR1020230111961 KR 대한민국 FAMILY
3 KR1020230111965 KR 대한민국 FAMILY
4 KR1020230111968 KR 대한민국 FAMILY
5 KR1020230111970 KR 대한민국 FAMILY
6 KR1020230111973 KR 대한민국 FAMILY
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8 KR1020230111978 KR 대한민국 FAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 단국대학교 첨단융합기술개발사업/BRIDGE융합연구개발사업 미세유체 칩과 결합된 나노갭 플라즈모닉 기반 광섬유를 이용한 SERS 및 LSPR 멀티 모달 액체생검 센싱 시스템의 개발