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유체 소자에 있어서,유체에 포함된 미세 입자와 불순물이 이동하는 회전 채널로 구성된 분리 파트;상기 분리 파트를 구성하는 회전 채널을 이동하면서 분순물과 분리된 미세 입자 및 미세 입자의 검출을 위해 사용되는 검출 물질이 이동하면서 서로 혼합되는 비대칭 채널로 구성된 혼합 파트; 및상기 비대칭 채널을 이동하면서 미세 입자와 결합된 검출 물질과 미세 입자와 결합되지 않은 검출 물질 중 미세 입자와 결합된 검출 물질을 걸러내는 필터로 구성되는 농축 파트로 구성된 유체 소자
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제1항에 있어서,상기 유체 소자에 펌프를 통해 유입된 미세 입자 및 불순물이 포함된 유체와 Sheath flow이 회전 채널을 통해 이동하며,상기 미세 입자 및 불순물은 관성 집중과 딘 흐름이 적용되는 회전 채널을 이동하면서 회전 채널의 단면의 서로 분리된 영역에 집중되는 유체 소자
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제1항에 있어서,상기 분리 파트의 출력단에 도달한 미세 입자와 불순물은 서로 다른 경로를 통해 진행하고,상기 미세 입자는 유체 소자의 혼합 파트로 이동하고, 상기 불순물은, 상기 유체 소자에 형성된 유압 저항 보상 파트로 이동하는 유체 소자
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제1항에 있어서,상기 분리 파트는,상기 미세 입자와 상기 불순물의 크기에 따라 회전 채널에서 서로 다른 영역에 집중되고,상기 미세 입자는 회전 채널의 바깥쪽 영역에 집중되고, 상기 불순물은 회전 채널의 안쪽 영역에 집중되는 유체 소자
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제1항에 있어서,상기 분리 파트로부터 유입된 미세 입자 및 상기 혼합 파트의 외부에서 유입된 검출 물질은 하나의 채널로의 혼합과 서로 다른 크기의 영역으로 분리되는 과정이 반복되는 비대칭 채널을 통과함으로써 혼합되는 유체 소자
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제1항에 있어서,상기 농축 파트는,나노 사이즈의 복수의 슬릿들로 구성된 필터로 구성되고,상기 검출 물질이 결합된 미세 입자는 필터의 슬릿에 걸리고, 상기 미세 입자와 결합되지 않은 검출 물질은 필터의 슬릿을 통과하는 유체 소자
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유체 소자의 제작 방법에 있어서,(i) 기판에 포토 레지스트를 통해 사진 식각하여 유체 소자의 채널 패턴을 형성하는 단계;(ii) 상기 유체 소자의 채널 패턴이 제작된 기판에 투명 물질인 PDMS를 도포한 후, 일정 온도에서 PDMS를 경화하는 단계;(iii) 상기 경화된 PDMS를 기판에서 분리하여 유체 소자의 채널 레이어를 형성하는 단계;(iv) 3D 실리콘 몰드에 PDMS를 스핀 코팅하여 일정 온도에서 경화하는 단계;(v) 스핀 코팅된 PDMS와 상기 유체 소자의 채널 레이어를 플라즈마 처리를 통해 서로 결합하는 단계;(vi) 상기 3D 실리콘 몰드의 표면에 스핀 코팅된 PDMS를 습식 식각을 통해 제거하는 단계;(vii) 습식 식각을 통해 3D 실리콘 몰드로부터 유체 소자의 채널 레이어를 분리함으로써 유체 소자의 필터를 형성하는 단계;(viii) 상기 유체 소자의 채널 레이어, 유리 기판 및 상기 필터를 지지하는 지지 레이어를 결합함으로써 유체 소자를 제작하는 단계를 포함하는 유체 소자의 제작 방법
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제7항에 있어서,상기 3D 실리콘 몰드는,(a) 산화 실리콘 막을 포토 레지스트를 통해 사진 식각하고 산화 실리콘 막을 건식 식각하여 기판에 패턴을 형성하는 단계;(b) Deep RIE를 적용하여 특정 높이를 가지는 복수의 기둥으로 된 구조물을 형성하는 단계;(c) 상기 복수의 기둥 구조물을 비등방성 습식 식각하는 단계의 과정을 통해 제조되는 유체 소자의 제작 방법
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