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레이저가 조사된 레이저 조사대상으로부터 발생한 미세입자를 센싱하는 단계; 및미세입자에 관한 상태센싱데이터를 기초로 레이저가공공정의 오류발생여부를 판단하는 단계;를 포함하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링방법
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청구항 1에 있어서, 상태센싱데이터의 변화량을 기준으로 오류발생여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링방법
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청구항 1에 있어서, 상태센싱데이터는, 레이저가 조사된 레이저 조사대상으로부터 발생한 미세입자센싱데이터인 것을 특징으로 하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링방법
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청구항 3에 있어서, 상태센싱데이터는, 미세입자의 크기에 관한 미세입자크기센싱데이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링방법
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청구항 3에 있어서,상태센싱데이터는, 미세입자의 크기별 입자량에 관한 미세입자량센싱데이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링방법
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청구항 3에 있어서, 상태센싱데이터는, 레이저가공공정수행시의 온도데이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링방법
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청구항 3에 있어서, 상태센싱데이터는, 레이저가공공정수행시의 습도데이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링방법
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청구항 3에 있어서, 상태센싱데이터는, 레이저가공공정수행시의 광센싱데이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링방법
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레이저가 조사된 레이저 조사대상으로부터 발생한 미세입자의 발생량을 측정하는 센싱부; 및측정된 미세입자의 발생량에 관한 상태센싱데이터를 기초로 레이저가공공정의 오류발생여부를 판단하는 판단부;를 포함하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링장치
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청구항 9에 있어서, 센싱부는, 입자센서를 포함하고, 온습도센서 및 포토다이오드 센서 중 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링장치
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미세입자가 발생되는 레이저가공공정에서 미세입자학습데이터를 포함하는 학습데이터를 수집하여, 레이저가공공정의 오류발생여부를 추론하는 인공지능 모델인 레이저가공공정 오류모델을 학습시키는 단계; 및학습된 레이저가공공정 오류모델에 미세입자데이터를 입력하여, 오류발생을 추론하는 단계;를 포함하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링방법
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레이저가 조사된 레이저 조사대상으로부터 발생한 미세입자의 발생량을 측정하는 센싱부; 미세입자가 발생되는 레이저가공공정에서 미세입자학습데이터를 포함하는 학습데이터를 수집하여, 레이저가공공정의 오류발생여부를 추론하는 인공지능 모델인 레이저가공공정 오류모델을 학습시키는 학습부; 및학습된 레이저가공공정 오류모델에 미세입자데이터를 입력하여, 오류발생을 추론하는 판단부;를 포함하는 입자센서를 이용한 레이저가공공정 모니터링장치
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