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| 요약 |
움직임 가능한 광 선로 부재를 사용하는 스위치 모듈 및 이를 포함하는 플라즈마 모니터링용 다채널 분광 시스템이 개시된다. 챔버의 모니터링부들의 광을 분광기로 스위칭하여 전달하는 다채널 분광 시스템에 사용되는 스위치 모듈은 상기 챔버의 모니터링부들에 연결된 제 1 광 선로 부재들 및 상기 제 1 광 선로 부재들에 마주보면서 상기 제 1 광 선로 부재들과 이격되어 배열되는 제 2 광 선로 부재를 포함한다. 여기서, 상기 제 2 광 선로 부재가 움직임에 따라 상기 제 1 광 선로 부재들이 상기 제 2 광 선로 부재와 선택적으로 마주보게 배열되고, 상기 제 2 광 선로 부재와 마주보는 제 1 광 선로 부재의 광 경로가 일치되며, 상기 챔버 내에서 발생한 광이 해당 모니터링부, 상기 모니터링부에 연결된 제 1 광 선로 부재 및 상기 제 2 광 선로 부재를 통하여 상기 분광기로 전달된다.
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| Int. CL |
H01J 37/32 (2006.01.01) H05H 1/00 (2006.01.01) G01J 3/10 (2006.01.01)
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| CPC |
H01J 37/32935(2013.01) H01J 37/32935(2013.01) H01J 37/32935(2013.01)
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| 출원번호/일자 |
1020210145255
(2021.10.28)
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| 출원인 |
주식회사 더블유지에스
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| 등록번호/일자 |
10-2597227-0000
(2023.10.30)
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| 공개번호/일자 |
10-2023-0046170
(2023.04.05)
문서열기
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| 공고번호/일자 |
문서열기
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| 국제출원번호/일자 |
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| 국제공개번호/일자 |
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| 우선권정보 |
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| 법적상태 |
등록 |
| 심사진행상태 |
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| 심판사항 |
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| 구분 |
국내출원/신규 |
| 원출원번호/일자 |
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| 관련 출원번호 |
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| 심사청구여부/일자 |
Y
(2021.10.28)
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| 심사청구항수 |
11 |
