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인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편 및 그 제조방법

기술번호 : KST2024000725
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 압전 박막 시편의 인장 강도 및 피로 물성을 인시츄 방식으로 측정하기 위해 SEM에 시편의 손상 없이 안전하게 장착할 수 있도록 하는 구조를 갖는 압전 박막 시편 및 그 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에 따르는 인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편은, 한 쌍의 아일랜드 형태의 패턴을 중심부에 갖는 하부 마스크에 의해 식각되어 중심부에 아일랜드를 갖도록 구성되는 기판; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 하부 PT 마스크에 의해 상기 기판상에 형성되는 하부 PT층; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 PZT 및 상부 PT 마스크에 의해 상기 PT층 상에 순차적으로 형성되는 PZT층 및 상부 PT층; 상기 기판의 아일랜드에 대응하는 형태의 열선 마스크에 의해 상기 상부 PT 층상에 구성되는 열선을 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.
Int. CL	G01N 1/28 (2006.01.01) G01N 3/08 (2006.01.01)
CPC	G01N 1/2813(2013.01) G01N 1/2813(2013.01) G01N 1/2813(2013.01) G01N 1/2813(2013.01)
출원번호/일자	1020120058422 (2012.05.31)
출원인	동명대학교산학협력단
등록번호/일자	10-1393430-0000 (2014.05.02)
공개번호/일자	10-2013-0134710 (2013.12.10) 문서열기
공고번호/일자	(20140512) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2012.05.31)
심사청구항수	9

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	동명대학교산학협력단	대한민국	부산광역시 남구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	박준협	대한민국	경기도 성남시 분당구
2	김윤재	대한민국	서울특별시 강남구
3	김희연	대한민국	대전광역시 유성구
4	이순복	대한민국	대전광역시 유성구
5	남현석	대한민국	서울특별시 성북구
6	심기동	대한민국	대전광역시 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	홍순우	대한민국	서울특별시 서초구 서초중앙로 *, 영진벤처빌딩 층 (서초동)(라온국제특허법률사무소)
2	김해중	대한민국	서울특별시 서초구 서초중앙로 *, 영진벤처빌딩 층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	동명대학교산학협력단		부산광역시 남구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.05.31	수리 (Accepted)	1-1-2012-0437373-48
2	[대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)	2013.02.08	수리 (Accepted)	1-1-2013-0119569-54
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.04.02	수리 (Accepted)	4-1-2013-0010131-41
4	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2013.06.13	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2013.07.09	수리 (Accepted)	9-1-2013-0053413-79
6	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2014.01.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0055853-18
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2014.03.24	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0278634-09
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2014.03.24	수리 (Accepted)	1-1-2014-0278610-14
9	등록결정서 Decision to grant	2014.04.28	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0289390-57
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.04.02	수리 (Accepted)	4-1-2020-5076870-68

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 한 쌍의 아일랜드 형태의 패턴을 중심부에 갖는 하부 마스크에 의해 웨이퍼가 식각되어 중심부에 아일랜드를 갖도록 구성되는 기판층;상기 기판층의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 하부 PT 마스크에 의해 상기 기판층상에 형성되는 하부 PT층;상기 기판층의 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 PZT 및 상부 PT 마스크에 의해 상기 하부 PT층 상에 순차적으로 형성되는 PZT층 및 상부 PT층;상기 기판층의 아일랜드에 대응하는 형태의 열선 마스크에 의해 상기 상부 PT 층의 상부에서 상기 기판층의 아일랜드에 대응하는 위치에 구성되는 열선을 포함하는인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편
2	2 웨이퍼 상에 한 쌍의 아일랜드 형태를 중심부에 갖는 하부 마스크를 배치하는 단계;상기 웨이퍼를 식각하여 한 쌍의 아일랜드를 중심부에 구비한 기판층을 구성하는 단계;한 쌍의 아일랜드를 중심부에 구비한 기판층에 하부 PT층을 성장시키는 단계;상기 하부 PT층 상에 상기 아일랜드에 대응하는 위치가 투공된 PT 마스크를 배치하여 식각하는 단계;식각된 상기 하부 PT 층 상에 PZT 층을 성장시키는 단계;상기 PZT 층 상에 상부 PT 층을 성장시키는 단계;상기 PZT 층 및 상부 PT 층 상에 PZT 및 상부 PT 마스크를 배치하여 식각하는 단계;식각된 상기 PZT 층 및 상부 PT 층 상에 열선 마스크를 배치하여 열선을 구성하는 단계를 포함하는인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편 제조 방법
3	3 제 1 항에 있어서,상기 열선은 텅스텐으로 구성되는 것을 특징으로 하는인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편
4	4 제 1 항에 있어서,상기 압전 박막 시편의 두께는 500㎛인 것을 특징으로 하는인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편
5	5 제 1 항에 있어서,상기 하부 마스크에는 제 1 내지 제 6 홀이 구성되고, 상기 하부 PT 마스크에는 상기 하부 마스크의 6개의 홀 중 제 1 내지 제 4 홀에 대응하는 크기 및 위치의 4 개의 홀이 구성되고, 상기 PZT 및 상부 PT 마스크에는 상기 하부 마스크의 제 1 홀 및 제 4 홀에 대응하는 크기 및 위치의 두 개의 홀이 구성되는 것을 특징으로 하는인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편
6	6 제 1 항에 있어서,상기 하부 마스크의 제 1 내지 제 4 홀과, 상기 하부 PT 마스크의 4 개의 홀 과, 상기 PZT 및 상부 PT 마스크의 두 개 홀의 직경은 1500㎛인 것을 특징으로 하는인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편
7	7 제 1 항에 있어서,상기 하부 마스크에는 변위 표시자 패턴이 구성되는 것을 특징으로 하는인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편
8	8 제 1 항에 있어서,상기 기판층 가장자리의 지지부와 압전 박막 시편 사이에는 다수의 연결부가 추가로 구성되는 것을 특징으로 하는인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편
9	9 제 8 항에 있어서,상기 하부 PT층 가장자리의 지지부와 압전 박막 시편 사이에는 다수의 연결부가 추가로 구성되는 것을 특징으로 하는인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	교육과학기술부	한국연구재단	기초연구사업(중견연구자지원사업-핵심연구)	나노/바이오 엑츄에이터용 압전막의 복합 신뢰성 연구

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1393430-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20120531 출원 번호 : 1020120058422 공고 연월일 : 20140512 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140428 청구범위의 항수 : 9 유별 : G01N 1/28 발명의 명칭 : 인장 강도 및 피로 물성 측정용 압전 박막 시편 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 동명대학교산학협력단 부산광역시 남구...
2	(권리자) 주식회사 경성테크 경상남도 양산시 ...
2	(의무자) 동명대학교산학협력단 부산광역시 남구...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	198,000 원	2014년 05월 07일	납입
제 4 년분	금 액	166,600 원	2017년 04월 28일	납입
제 5 년분	금 액	126,140 원	2018년 06월 19일	납입
제 6 년분	금 액	122,570 원	2019년 05월 07일	납입
제 7 년분	금 액	221,000 원	2020년 05월 04일	납입

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.05.31	수리 (Accepted)	1-1-2012-0437373-48
2	[대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2013.02.08	수리 (Accepted)	1-1-2013-0119569-54
3	출원인정보변경(경정)신고서	2013.04.02	수리 (Accepted)	4-1-2013-0010131-41
4	선행기술조사의뢰서	2013.06.13	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서	2013.07.09	수리 (Accepted)	9-1-2013-0053413-79
6	의견제출통지서	2014.01.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0055853-18
7	[명세서등 보정]보정서	2014.03.24	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0278634-09
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2014.03.24	수리 (Accepted)	1-1-2014-0278610-14
9	등록결정서	2014.04.28	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0289390-57
10	출원인정보변경(경정)신고서	2020.04.02	수리 (Accepted)	4-1-2020-5076870-68


과제고유번호	1345144805
세부과제번호	2009-0085880
연구과제명	나노/바이오 엑츄에이터용 압전막의 복합 신뢰성 연구
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국연구재단
연구주관기관명	동명대학교 산학협력단
성과제출연도	2011
연구기간	200909~201208
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

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