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기판을 평가하는 방법

  • 기술번호 : KST2015067486
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요약 기판을 평가하는 방법이 개시된다. 기판의 상면을 텍스쳐링하여, 복수의 돌기들을 형성하는 단계; 상기 텍스쳐링된 상면을 촬영하는 단계; 상기 돌기들의 높이 중, 최고 높이 및 최저 높이를 계산하는 단계; 상기 최고 높이 및 상기 최저 높이를 이용하여, 기준 높이를 계산하는 단계; 및 상기 기준 높이보다 더 높은 돌기들을 포함하는 텍스쳐링 영역 및 상기 기준 높이보다 더 낮은 돌기들을 포함하는 비텍스쳐링 영역을 계산하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) G01B 11/24 (2006.01)
CPC G01B 11/2518(2013.01) G01B 11/2518(2013.01) G01B 11/2518(2013.01) G01B 11/2518(2013.01) G01B 11/2518(2013.01)
출원번호/일자 1020120020579 (2012.02.28)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1404249-0000 (2014.05.29)
공개번호/일자 10-2013-0098783 (2013.09.05) 문서열기
공고번호/일자 (20140609) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박정길 대한민국 경북 구미시
2 황돈하 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0165099-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0028521-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0339452-62
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0576794-62
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0576790-80
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0833040-19
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-0010471-46
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0010470-01
10 등록결정서
Decision to grant
2014.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0359202-68
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 상면을 텍스쳐링하여, 복수의 돌기들을 형성하는 단계;상기 텍스쳐링된 상면을 촬영하는 단계;상기 돌기들의 높이 중, 최고 높이 및 최저 높이를 계산하는 단계;상기 기판의 특성 및 상기 기판을 통하여 형성하고자 하는 제품의 특성을 고려한 비율인자(F)를 결정하는 단계;상기 최고 높이, 상기 최저 높이 및 상기 설정된 비율인자를 대입한 하기의 수식1을 이용하여, 기준 높이를 계산하는 단계; 및상기 기준 높이보다 더 높은 돌기들을 포함하는 텍스쳐링 영역 및 상기 기준 높이보다 더 낮은 돌기들을 포함하는 비텍스쳐링 영역을 계산하는 단계를 포함하고,상기 비율인자는 0
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 태양전지용 기판인 기판을 평가하는 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 기판인 기판을 평가하는 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 돌기들은 피라미드 형상을 가지는 기판을 평가하는 방법
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 비율 인자는 0
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 텍스쳐링 영역 및 상기 비텍스쳐링 영역을 표시부를 통하여 표시하는 기판을 평가하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.