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파장 분할 다중 방식의 광통신에 사용되는 전기광학 폴리머를 이용한 격자 보조 결합기형 파장 가변 광필터를 제조하는 방법에 있어서, 그 제조 방법은 다음의 공정들을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기광학 폴리머를 이용한 격자 보조 결합기형 파장 가변 광필터를 제조하는 방법 (a) 기판위에 금속을 증착하여 하부전극을 형성시키는 공정 (b) 상기 공정 (a) 후, 그 위에 하부 클래딩층을 스핀 코팅한 후, 소정 위치에 격자를 제작하는 공정 (c) 상기 공정 (b) 후, 그 위에 전기광학 폴리머 코아층을 스핀 코팅한 다음, 표준 리소그라피 공정을 이용하여 광도파로가 형성될 곳의 위에 Au 마스크를 제작하는 공정 (d) 상기 공정 (c) 후, 산소 플라즈마에 의한 반응 이온 식각(O2 RIE) 공정을 도입하여 전기광학 폴리머 코아층을 모두 식각함으로써 파묻힌 전기광학 폴리머 광도파로를 형성하고, 그 위에 수동형 폴리머 코아층을 스핀 코팅하여 제작하고, 표준 리소그라피 공정을 이용하여 수동형 폴리머 광도파로가 형성될 곳의 위에 포토 레지스트 마스크를 제작하는 공정 (e) 상기 공정 (d) 후, 산소 플라즈마에 의한 반응 이온 식각 공정으로 수동형 폴리머 코아층을 모두 식각함으로써 파묻힌 수동형 폴리머 광도파로를 형성하고, 반응 이온 식각을 할 때 마스크로 사용되었던 포토 레지스트와 Au 를 제거하는 공정 (f) 상기 공정 (e) 후, 그 위에 상부 클래딩층을 스핀 코팅하여 형성하고, 상부 전극을 상기 하부 전극과 같은 방법으로 제작한 후, 전기광학 폴리머에 전기광학 효과를 유발시키기 위해 폴링(poling)을 수행하는 공정 (g) 상기 공정 (f) 후, 상기 전기광학 폴리머 광도파로 패턴과 전극 마스크 패턴을 정렬하여 구동 전극을 만들고, 마지막으로 입력광을 결합시키기 위하여 단면을 폴리싱(polishing) 처리하는 공정
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