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레이저 광원부(70), 광학 간섭계부(60), 주파수 변환부(80), 위상 측정기(90)로 구성되는 헤테로다인 간섭계에 있어서 상기 레이저 광원부(70)의 출력광은 2개의 주파수를 갖는 레이저광으로서 상기 2개의 주파수는 서로 수직이면서 선형편광을 이루도록 구성되며, 상기 출력광은 두개로 나누어 하나의 광(75)은 기준신호로 사용하고, 나머지 광(74)은 측정신호로 사용하며, 상기 기준신호(75)의 맥놀이 주파수에 근접한 국부신호(87)를 국부발진기(82)에서 생성하여, 신호 분할기(83)에서 두개의 신호로 분리한 후, 상기 분리된 신호중 하나의 신호(88)는 기준신호(75)와 합성하여 합성기준신호(91)를 얻고, 또 다른 신호(89)는 측정신호(68)와 합성하여 합성측정신호(92)를 얻은 다음, 상기 합성측정신호(92)와 합성기준신호(91)의 정보로부터 기준신호와 측정신호의 위상차를 측정하는 것을 특징으로 하는 이종모드 헬륨-네온 레이저와 슈퍼 헤테로다인 위상측정법을 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계
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제 1항에 있어서 상기 기준신호는 2개의 광에 대해 편광축이 45°기울어진 편광판(72)을 거쳐 간섭된 광이 광검출기(73)를 거쳐 전기신호(76)로 변환되어,
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제1항에 있어서 상기 측정신호는 편광분할기(62)에 입사된 후 분할되어 주파수 성분f1을 갖는 광(67)은 고정반사경(61)으로 진행되고, 주파수 성분f2를 갖는 광(66)은 이동물체에 장착된 이동반사경(63)으로 진행되며, 상기 고정반사경과 이동반사경에 입사된 광은 반사되어 상기 2개의 광에 대해 편광축이 45°기울어진 편광판(64)에서 합쳐져 간섭된 후 광검출기(65)로 입사되고, 상기 광검출기에 입사된 광은 전기신호로 변환되어
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제1항에 있어서 상기 합성기준신호(91)는 상기 국부신호(87)에서 분리한 하나의 신호(88)와 기준신호(75)를 곱하여 획득하고, 상기 합성측정신호(92)는 상기 국부신호(87)에서 분리한 또 다른 신호(89)와 측정신호(68)을 곱하여 획득하며, 상기 합성기준신호(91)중 하나의 신호(88)과 기준신호(75)의 합이되는 신호와 상기 합성측정신호(92)중 또 다른 신호(89)와 측정신호(68)의 합이되는 신호를 필터(84)(85)를 통해 제거한 다음, 상기 합성기준신호(91)중 하나의 신호(88)과 기준신호(75)의 차가되는 신호와 상기 합성측정신호(92)중 또 다른 신호(89)와 측정신호(68)의 차가 되는 신호를 위상검출기(100)에 입력하여 기준신호와 측정신호의 위상차를 측정하는 것을 특징으로 하는 이종모드 헬륨네온 레이저와 슈퍼 헤테로다인 위상 측정법을 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계
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제 4항에 있어서 기준신호와 국부신호의 차가 되는 신호는
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제3항에 있어서 상기 전기신호로 변환된 측정신호(115)를 신호 분할기(116)를 통해 분할한 후, 그중 하나의 측정신호(121)는 주파수가 fb + f인 국부발진기 신호(123)를 믹서(117)에서 곱하고, 나머지 측정신호(122)는 fb - f인 국부 발진기 신호(124)와 믹서(118)에서 곱한 후, 믹서의 출력(125)(126) 중에서 고 주파수 성분은 필터(119)(120)에 의해 제거하여 주파수가
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레이저 광원부(70), 광학 간섭계부(60), 주파수 변환부(80), 위상 측정기(90)로 구성되는 헤테로다인 간섭계에 있어서 상기 레이저 광원부는 이종모드 헬륨-네온 레이저발생기(71)를 적용하며, 상기 레이저 발생기에서 발생하는 출력광원은 2개의 주파수를 갖는 광으로 구성되고, 서로 수직이면서 선형편광을 이루며, 상기 출력광의 일부(75)는 기준신호로 사용되고, 나머지 출력광(74)은 측정신호로 사용되고, 상기 기준신호는 2개의 광에 대해 편광축이 45°기울어진 편광판(72)을 거쳐 간섭된 광이 광검출기(73)를 거쳐 전기신호(76)로 변환되며, 상기 측정신호는 편광분할기(62)에 입사된 후 분할되어 주파수 성분f1을 갖는 광(67)은 고정반사경(61)으로 진행되고, 주파수 성분f2를 갖는 광(66)은 이동물체에 장착된 이동반사경(63)으로 진행되며, 상기 고정반사경과 이동반사경에 입사된 광은 반사되어 상기 2개의 광에 대해 편광축이 45°기울어진 편광판(64)에서 합쳐져 간섭된 후 광검출기(65)로 입사되고, 상기 광검출기에 입사된 광은 전기신호로 변환되며, 상기 기준신호에 해당하는 맥놀이 주파수에 근접한 국부신호(87)를 국부 발진기(82)에서 생성하여, 신호 분할기(83)에서 두 개의 신호로 분리한 후, 상기 분리된 신호(88)(89)는 기준신호(76)와 믹서(86)에서 곱하고, 상기 측정신호(68)와 믹서(81)에서 곱하며, 상기 기준신호에 국부신호를 곱한 믹서의 출력(91) 신호 중 상기 기준신호와 국부신호의 합이 되는 신호는 필터(84)에서 제거하고, 상기 기준신호와 국부 신호의 차가 되는 신호는 위상 검출기(100)에 입력하며, 측정신호와 국부신호를 곱한 믹서의 출력(92) 신호 중 상기 측정신호와 국부신호의 합이 되는 신호는 필터(85)에 의해 제거하고, 상기 측정신호와 국부신호의 차가 되는 신호는 위상 검출기(100)에 입력하여 위상을 측정하는 것을 특징으로 하는 이종모드 헬륨-네온 레이저와 슈퍼 헤테로다인 위상측정법을 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계
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