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폐가스 소각장치에 있어서, 내부로 연료가 공급되는 복수의 연료공급관, 내부로 산소가 공급되는 복수의 산소공급관 및 점화장치를 구비한 산소연소기; 상기 산소연소기와 연결되어 내부에 화염이 발생되어 연소 가스를 발생시키는 1차 연소실;상기 1차 연소실과 연결되어 상기 1차 연소실에서 발생된 연소가스가 유입되어 내부로 분사된 폐가스를 소각시키는 소각실; 및 열교환실을 포함하고, 상기 열교환실은 상기 열교환실의 내면과 상기 산소연소기의 외면 사이 및 상기 열교환실의 내면과 상기 소각실의 외면 사이에 특정공간을 갖도록 구비되어 상기 특정공간으로 상기 폐가스가 유입되어 상기 1차 연소실과 상기 소각실을 냉각하고, 상기 폐가스를 예열시키며,상기 1차 연소실의 직경은 상기 소각실의 직경보다 작고,상기 열교환실은, 폐가스 예열용 외통, 및 상기 폐가스 예열용 외통과 상기 소각실 사이 공간을 구획하는 적어도 하나의 폐가스 예열용 채널 격판을 포함하며,상기 폐가스 예열용 외통의 상부 일측에 구비되어 폐가스가 유입되도록 구성된 다수의 폐가스 공급구, 및 상기 소각실 외면의 상부 일측에 구비되어 예열된 폐가스가 상기 소각실 내부로 유입되도록 구성된 예열 폐가스 분사구를 포함하고,상기 소각실의 하부에 구비되어 상기 연소가스에 의해 소각된 폐가스가 토출되는 배기관을 포함하며,상기 산소연소기의 상부에 구비되는 연소실 홀더용 플렌지, 상기 폐가스 예열용 외통의 상부에 구비되어 상기 홀더용 플렌지와 결합되는 상부 플렌지, 상기 폐가스 예열용 외통의 하부에 구비되는 하부 플렌지, 및 상기 배기관의 상부에 구비되어 상기 하부 플렌지와 결합되는 배기관 연결 플렌지를 포함하고,상기 산소공급관은 복수로 서로 다른 직경으로 구비되며 상기 연료공급관과 서로 다른 이격거리를 갖고,상기 연료공급관으로 연료를 공급하기 위한 연료공급수단과 상기 산소공급관으로 산소를 공급하기 위한 산소공급수단을 포함하며,다수의 상기 산소공급관 중 산소를 공급할 산소공급관을 설정하고, 설정된 산소공급관으로 산소를 공급시키도록 상기 산소공급수단을 제어하고, 상기 연료공급수단을 제어하여 상기 연료공급관으로 공급되는 연료의 유량을 조절하는 제어부를 포함하고, 상기 폐가스는 반도체 공정에서 배출된 것임을 특징으로 하는 폐가스 소각장치
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제 1항에 있어서, 상기 산소연소기는 점화감지기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 소각장치
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제 1항에 따른 폐가스 소각장치를 이용한 소각방법에 있어서,산소연소기 내부로 연료공급관을 통해 연료가 공급되고, 산소공급관을 통해 산소가 공급되는 단계; 상기 산소연소기와 연결된 1차 연소실에서 상기 산소와 상기 연료가 혼합되어 화염이 형성되어 연소가스가 발생되는 단계; 열교환실의 폐가스 예열용 외통의 상단에 구비된 폐가스 공급구를 통해 폐가스가 열교환실로 유입되어 상기 폐가스가 예열되고, 상기 산소연소기와 상기 1차 연소실이 냉각되는 단계; 예열된 상기 폐가스가 소각실로 분사되고, 상기 연소가스가 소각실로 유입되어 연소가스에 의해 상기 폐가스가 소각되는 단계; 및소각된 폐가스가 배기관을 통해 토출되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 소각장치를 이용한 소각방법
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제 15항에 있어서, 상기 폐가스는 반도체 공정에서 배출된 것을 특징으로 하는 폐가스 소각장치를 이용한 소각방법
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제 15항에 있어서, 상기 냉각되는 단계는, 폐가스 예열용 외통의 상단에 구비된 다수의 폐가스 공급구를 통해 폐가스가 공급되는 단계; 및상기 폐가스 예열용 외통과 상기 소각실 사이 공간을 구획하는 적어도 하나의 폐가스 예열용 채널 격판을 통해 유동하면서 폐가스가 예열되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 소각장치를 이용한 소각방법
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제 1항에 따른 폐가스 소각장치를 이용한 소각방법에 있어서,연료공급수단에 의해 산소연소기의 연료공급관으로 연료가 공급되고, 산소공급수단에 의해 산소가 서로 다른 직경을 갖거나 상기 연료공급관과 서로 다른 이격 거리를 갖는 산소연소기에 구비된 다수의 산소공급관 중 선택된 산소공급관으로 공급되는 단계; 상기 산소연소기와 연결된 1차 연소실에서 상기 산소와 상기 연료가 혼합되어 화염이 형성되어 연소가스가 발생되는 단계; 열교환실의 폐가스 예열용 외통의 상단에 구비된 폐가스 공급구를 통해 폐가스가 열교환실로 유입되어 상기 폐가스가 예열되고, 상기 산소연소기와 상기 1차 연소실이 냉각되는 단계; 예열된 상기 폐가스가 소각실로 분사되고, 상기 연소가스가 소각실로 유입되어 연소가스에 의해 상기 폐가스가 소각되는 단계; 및소각된 폐가스가 배기관을 통해 토출되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 소각장치를 이용한 소각방법
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제 18항에 있어서,화염을 조절할 필요가 있는 경우, 제어부는 산소가 공급될 산소공급관을 재설정하고, 산소공급수단이 재설정된 산소공급관으로 산소를 공급하도록 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 소각장치를 이용한 소각방법
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