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압력 센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015223588
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 압력센서 및 그 제작방법에 대해 기술된다. 압력센서는 다이어프램과; 상기 다이아프램에 형성되는 압저항부들과; 상기 다이아프램 상에 형성되어 상기 압저항부들을 전기적으로 연결하는 신호선과; 상기 다이아프램의 하부 가장자리에 형성되는 소정 높이의 프레임를; 구비하고 상기 프레임에 의해 마련된 상기 다이아프램의 하부측 공동부를 폐쇄하는 밀폐부가 마련되어 있다. 이러한 압력센서는 다이아프램의 물리적 변화에 의한 프레임의 변형을 억제할 수 있어서 보다 정밀한 압력의 측정이 가능하고, 프레임에 고정된 밀폐가 다이아프램의 손상에 의한 가스누출을 2차적으로 방지한다.
Int. CL G01L 1/14 (2006.01)
CPC G01L 1/18(2013.01) G01L 1/18(2013.01)
출원번호/일자 1019970031722 (1997.07.09)
출원인 대한민국경북대학교센서기술연구소, 대성홀딩스 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1999-0009349 (1999.02.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.07.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국경북대학교센서기술연구소 대한민국 대구광역시 북구
2 대성홀딩스 주식회사 대한민국 대구광역시 중구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최시영 대한민국 대구광역시 수성구
2 황정훈 대한민국 대구광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이상용 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)
3 권석흠 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)(유미특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.07.09 수리 (Accepted) 1-1-1997-0100927-07
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.07.09 수리 (Accepted) 1-1-1997-0100928-42
3 특허출원서
Patent Application		 1997.07.09 수리 (Accepted) 1-1-1997-0100926-51
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.04 수리 (Accepted) 4-1-1999-0028808-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1999.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0067596-83
6 출원취하서
Request for Withdrawal of Application		 1999.04.26 수리 (Accepted) 1-1-1999-5163801-71
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2002-0081505-86
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.10.13 수리 (Accepted) 4-1-2009-5196396-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.02.29 수리 (Accepted) 4-1-2012-5043373-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.02.29 수리 (Accepted) 4-1-2012-5043607-38
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5092065-64
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.16 수리 (Accepted) 4-1-2013-5099207-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2015-5005173-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

다이어프램과;

상기 다이아프램에 형성되는 압저항부들과;

상기 다이아프램 상에 형성되어 상기 압저항부들을 전기적으로 연결하는 신호선과;

상기 다이아프램의 하부 가장자리에 형성되는 소정 높이의 프레임과;

상기 프레임에 의해 마련된 상기 다이아프램의 하부측 공동부를 폐쇄하는 밀폐부를; 구비하는 것을 특징으로 하는 압력센서

2 2

제1항에 있어서, 상기 공동부는 소정의 진공상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 압력센서

3 3

제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 다이아프램과 프레임은 n-Si 으로 형성되는 것을 특징으로 하는 압력센서

4 4

다이아프램의 하부측 가장자리에 일정폭과 높이를 가지는 프레임을 형성하는 단계;

상기 다이아프램의 위에 압저항부 및 신호선을 포함하는 전기적 회로를 형성하는단계;

상기 프레임의 하단부에 밀폐부를 고정하여 상기 프레임의 내측에 마련된 공동부를 밀폐시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 제작방법

5 5

제4항에 있어서,

상기 공동부를 밀폐시키는 단계는 정전접합법을 적용하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 제작방법

6 6

제4항 또는 제5항에 있어서, 정전접합법은 일정한 진공압을 유지하는 진공채임버내에서 실시하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 제작방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.