| 1 |
1
삭제
|
| 2 |
2
라인 스캔 방식의 모아레(Moire) 3차원 형상 측정 장치에 있어서, 검사 대상체의 표면에 격자 영상을 투영하기 위해 광원, 조명 렌즈, 투영 격자, 그리고 투영 렌즈로 구성되는 격자 투영부; 상기 검사 대상체를 장착하고, xy 평면을 따라 상기 검사 대상체를 이동하기 위한 xy 이송 테이블로 구성되는 물체부; 및 상기 검사 대상체의 표면에 의해 반사된 상기 격자 영상을 결상하기 위한 결상 렌즈와, 직선형 촬상소자를 내장한 라인 스캔 카메라로 구성되는 결상부를 포함하고, 상기 직선형 촬상소자의 길이 방향에 수직한 방향으로 상기 xy 평면을 따라 상기 격자 투영부와 상기 결상부를 동시에 이동하거나 상기 검사 대상체만을 이동시키고, 순차적으로 상기 라인 스캔 카메라가 라인 영상을 획득하여 상기 검사 대상체 전체에 해당하는 2차원 영상을 획득하며, 3차원 형상을 획득하기 위해 상기 격자 투영부와 상기 결상부 또는 상기 검사 대상체의 이동 거리에 비례하여 투영 격자의 위상을 변화시켜 상기 라인 스캔 카메라를 이용하여 상기 검사 대상체 영역을 검사하고, 상기 투영 격자의 위상의 변화 속도가 상기 검사 대상체의 이동 속도보다 빠른 경우, 기울기 보상을 통해 영상을 획득하고, 상기 투영 격자의 위상의 변화 속도가 상기 검사 대상체의 이동 속도보다 느린 경우, 기준 물체와의 비교를 통해 보상하여 영상을 획득하며, 상기 라인 스캔 카메라는, 수평 방향으로 배열된 상기 직선형 촬상소자의 배열이 수직 방향으로 복수 개의 라인이 다중 정렬된 형태의 다중 정렬 라인 스캔 카메라이고, 각각의 상기 라인이 순차적으로 촬영되어 영상을 한 번의 스캔으로 획득하는 것을 특징으로 하는 라인 스캔 방식의 모아레 3차원 형상 측정 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 격자 투영부는 투영 격자 미세 이송장치를 더 포함하며, 상기 격자 투영부와 상기 결상부 또는 상기 검사 대상체의 이동 거리에 비례하여 상기 투영 격자의 위상을 변화시키도록, 주기적인 금속막 띠가 형성된 투영 격자판으로 이루어진 상기 투영 격자를 상기 투영 격자 미세 이송장치를 이용하여 격자판에 나란한 방향으로 이동시키며, 상기 투영 격자의 이동 방향은 상기 검사 대상체의 이동 방향과 반대 방향인 것을 특징으로 하는 라인 스캔 방식의 모아레 3차원 형상 측정 장치
|
| 4 |
4
제2항에 있어서, 상기 격자 투영부와 상기 결상부 또는 상기 검사 대상체의 이동 거리에 비례하여 상기 투영 격자의 위상을 변화시키도록, 소형 영상 표시 소자를 사용하고, 상기 소형 영상 표시 소자에 위상이 다른 격자 무늬 영상 정보를 순차적으로 인가하고, 상기 검사 대상체의 표면에 형성되는 투영된 상기 격자 영상의 실제 주기(pproj)와 최소 위상 변화량(△)은 다음 식과 같이 표현되며, pproj = n x dpixel x mproj △ = 2π / n여기서, dpixel는 픽셀(pixel)의 최소 크기이고, mproj는 상기 격자 투영부의 배율이며, 상기 격자 영상의 한 주기가 n개의 픽셀(pixel)로 구현되는 것을 특징으로 하는 라인 스캔 방식의 모아레 3차원 형상 측정 장치
|
| 5 |
5
라인 스캔 방식의 모아레(Moire) 3차원 형상 측정 방법에 있어서, 라인 스캔 카메라에 내장된 직선형 촬상소자의 길이 방향에 수직한 방향으로 xy 평면을 따라 격자 투영부와 결상부를 동시에 이동하거나 검사 대상체만을 이동시키는 단계; 이동에 따라 순차적으로 상기 라인 스캔 카메라가 라인 영상을 획득하여 상기 검사 대상체 전체에 해당하는 2차원 영상을 획득하는 단계; 및 3차원 형상을 획득하기 위해 상기 격자 투영부와 상기 결상부 또는 상기 검사 대상체의 이동 거리에 비례하여 투영 격자의 위상을 변화시켜, 상기 라인 스캔 카메라를 이용하여 상기 검사 대상체 영역을 검사하는 단계를 포함하고, 상기 투영 격자의 위상의 변화 속도가 상기 검사 대상체의 이동 속도보다 빠른 경우, 기울기 보상을 통해 영상을 획득하고, 상기 투영 격자의 위상의 변화 속도가 상기 검사 대상체의 이동 속도보다 느린 경우, 기준 물체와의 비교를 통해 보상하여 영상을 획득하며, 상기 라인 스캔 카메라는 수평 방향으로 배열된 상기 직선형 촬상소자의 배열이 수직 방향으로 복수 개의 라인이 다중 정렬된 형태의 다중 정렬 라인 스캔 카메라이고, 각각의 상기 라인이 순차적으로 촬영되어 영상을 한 번의 스캔으로 획득하고, 상기 검사 대상체의 표면에 형성되는 투영된 상기 격자 영상의 실제 주기(pproj)와 최소 위상 변화량(△)은 다음 식과 같이 표현되며, pproj = n x dpixel x mproj △ = 2π / n여기서, dpixel는 픽셀(pixel)의 최소 크기이고, mproj는 상기 격자 투영부의 배율이며, 상기 격자 영상의 한 주기가 n개의 픽셀(pixel)로 구현되는 것을 특징으로 하는 라인 스캔 방식의 모아레 3차원 형상 측정 방법
|
