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양 측단부에 각각 위치하고, 층의 내부를 관통하는 제1 주입구 및 제1 배출구를 구비하는 덮개층; 상기 덮개층의 하부에 위치하고, 상기 제1 주입구 및 제1 배출구와 각각 대응되는 제2 주입구 및 제2 배출구; 상기 제2 주입구와 제2 배출구 사이에 위치하고, 구불구불한 구조를 갖는 주입유로; 및 상기 주입유로의 바닥을 관통하는 복수개의 입자포획부들을 구비하는 입자분리층; 및상기 입자분리층의 하부에 위치하고, 상기 입자포획부들의 하부를 연결하는 배출유로를 구비하는 베이스층을 포함하는, 3차원 미세입자 분리소자
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제1항에 있어서,상기 주입유로의 일측 단부는 상기 제2 주입구와 연결되고, 상기 입자분리층은, 상기 주입유로의 타측 단부와 연결된 연결구를 더 구비하되, 상기 연결구는 상기 입자분리층을 관통하여 형성된 것인, 3차원 미세입자 분리소자
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제2항에 있어서,상기 입자분리층에서, 상기 제2 주입구, 상기 연결구, 상기 제2 배출구 및 상기 입자포획부들은, 일직선 상에 배치된 것인, 3차원 미세입자 분리소자
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제3항에 있어서,상기 입자포획부는, 목표입자를 포획하는 포획홀과, 상기 포획홀의 바닥을 관통하되, 상기 포획홀의 폭보다 좁은 폭을 갖는 배출홀을 포함하는 것인, 3차원 미세입자 분리소자
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제4항에 있어서,상기 포획홀의 폭은 상기 목표입자의 평균 직경보다는 크고, 상기 배출홀의 폭은 상기 목표입자의 평균 직경보다는 작은 것인, 3차원 미세입자 분리소자
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제5항에 있어서,상기 포획홀은 원기둥 또는 반구 형태인, 3차원 미세입자 분리소자
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제6항에 있어서,상기 포획홀의 내부의 일측에 검지기가 부착되는 것인, 3차원 미세입자 분리소자
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제4항에 있어서,상기 배출유로는 직선의 형상의 유로이고, 상기 배출유로의 일측 단부는 상기 제2 배출구와, 상기 배출유로의 타측 단부는 상기 주입유로 및 상기 제2 주입구가 연결된 지점과 각각 위치적으로 대응되는 것인, 3차원 미세입자 분리소자
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제8항에 있어서,상기 배출홀, 연결구 및 제2 배출구의 하부는, 상기 배출유로와 연결된 것인 3차원 미세입자 분리소자
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제9항에 있어서,상기 배출유로는, 제1 높이를 갖는 제1 배출홈과 상기 제1 높이보다 큰 제2 높이를 갖는 제2 배출홈을 갖고, 상기 제1 배출홈은 상기 배출유로의 타측 단부에서부터 상기 연결구가 시작되는 지점까지 형성되고,상기 제2 배출홈은 상기 연결구가 시작되는 지점부터 상기 배출유로의 일측 단부까지 형성되는 것인, 3차원 미세입자 분리소자
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제10항에 있어서,상기 제1 배출홈은, 상기 배출유로의 바닥면에서부터 형성된 둑과 상기 입자분리층 사이의 틈이고,상기 둑의 너비는 상기 배출유로의 폭 보다는 좁고, 상기 배출홀의 폭보다는 넓게 형성되는 것인, 3차원 미세입자 분리소자
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제1항에 의한 3차원 미세입자 분리 소자를 제공하는 단계,상기 제1 주입구로 목표입자 및 잔여입자를 포함하는 현탁액이 주입되는 단계; 및 상기 목표입자는 상기 입자포획부에서 포획되는 단계를 포함하는, 입자 분리 방법
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제12항에 있어서,상기 주입유로의 일측 단부는 상기 제2 주입구와 연결되고, 상기 입자분리층은, 상기 주입유로의 타측 단부와 연결된 연결구를 더 구비하되, 상기 연결구는 상기 입자분리층을 관통하여 형성된 것이고,상기 입자분리층에서, 상기 제2 주입구, 상기 연결구, 상기 제2 배출구 및 상기 입자포획부들은, 일직선 상에 배치된 것이고,상기 입자포획부는, 목표입자를 포획하는 포획홀과, 상기 포획홀의 바닥을 관통하되, 상기 포획홀의 폭보다 좁은 폭을 갖는 배출홀을 포함하는 것이고,상기 목표입자보다 크기가 큰 잔여입자는, 상기 주입유로를 따라 흐르다 상기 연결구를 지나 상기 배출유로로 배출되고, 상기 목표입자보다 크기가 작은 잔여입자는, 상기 배출홀을 통과하여 상기 배출유로로 배출되는 것인 입자 분리 방법
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제13항에 있어서,상기 배출유로의 역방향으로의 흐름은, 상기 포획홀에 포획된 목표입자를 상기 주입유로로 수거되도록 하는 것인 입자 분리 방법
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