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탄소나노튜브 박막 제조 장치 및 그 방법, 그리고 탄소나노튜브 박막을 이용한 펠리클

  • 기술번호 : KST2019012338
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 탄소나노튜브 박막 제조 장치는 원재료 및 이송가스를 통해 탄소나노튜브 집합체가 합성되는 공간이 내측에 구비된 합성로, 상기 합성로 하단에 배치되며, 회전을 통해 상기 탄소나노튜브 집합체를 권취하여 탄소나노튜브 박막을 생성하는 권취수단, 그리고 상기 권취수단의 일측에 이격 배치되며, 상기 권취수단이 위치한 방향으로 상기 탄소나노튜브 집합체에 기체를 분사하거나 상기 권취수단이 위치한 반대 방향으로 기체를 흡입하는 기체 유출입 수단을 포함한다.
Int. CL C01B 32/16 (2017.01.01) G03F 1/62 (2012.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01)
출원번호/일자 1020180091981 (2018.08.07)
출원인 숭실대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1948811-0000 (2019.02.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.08.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 숭실대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정영진 서울특별시 용산구
2 송현준 서울특별시 광진구 군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 숭실대학교산학협력단 서울특별시 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0780545-79
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0798529-14
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0633759-75
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.10.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1046232-01
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-1046233-46
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0876076-87
7 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.01.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0065006-90
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0065007-35
9 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0094151-17
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원재료 및 이송가스를 통해 탄소나노튜브 집합체가 합성되는 공간이 내측에 구비된 합성로, 상기 합성로 하단에 배치되며, 회전을 통해 상기 탄소나노튜브 집합체를 권취하여 탄소나노튜브 박막을 생성하는 권취수단, 그리고 상기 권취수단의 일측에 이격 배치되며, 상기 권취수단이 위치한 방향으로 상기 탄소나노튜브 집합체에 기체를 분사하거나 상기 권취수단이 위치한 반대 방향으로 기체를 흡입하는 기체 유출입 수단을 포함하며, 상기 권취수단은, 회전축을 중심으로 설정된 회전 속도로 회전함과 동시에 설정된 이동 속도로 상기 회전축을 따라 왕복 이동하는 탄소나노튜브 박막 제조 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 이동 속도는 상기 회전 속도 보다 느리게 설정되는 탄소나노튜브 박막 제조 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 회전 속도 및 상기 이동 속도는, 제조하고자 하는 상기 탄소나노튜브 박막의 광투과도에 따라 설정되는 탄소나노튜브 박막 제조 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 권취수단은, 판형, 원형 및 다각형의 형상 중 어느 하나의 형상으로 구현되는 탄소나노튜브 박막 제조 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 기체 유출입 수단은, 기체가 분사되거나 흡입되는 노즐을 포함하며, 상기 노즐의 폭은 상기 탄소나노튜브 집합체의 폭보다 크거나 같은 탄소나노튜브 박막 제조 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 기체 유출입 수단은, 상기 탄소나노튜브 집합체에 따라 서로 다른 유량의 기체를 분사하거나 흡입하는 탄소나노튜브 박막 제조 장치
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
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패밀리정보가 없습니다
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1 미래창조과학부 숭실대학교 산학협력단 선도연구센터사업 지능형 바이오메디컬 무선전력전송 연구센터