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편광픽셀어레이를 이용한 박막과 후막의 두께 및 삼차원 표면 형상 측정 광학 장치

  • 기술번호 : KST2019012712
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 장치는, 가간섭성(coherence)을 가진 광대역 광원; 상기 광대역 광원의 출력광을 제공받아 제1 편광 상태를 가진 빔을 투과시키고 상기 제1 편광 상태에 수직한 제2 편광 상태를 가진 빔을 반사시키는 편광 빔 분리기; 상기 편광 빔 분리기를 투과한 제1 편광 상태의 빔을 반사시키는 기준 거울; 상기 기준 거울과 상기 편광 빔 분리기 사이에 배치된 제1 1/4 파장판; 상기 제2 편광 상태를 가진 빔을 샘플에 집속하는 제1 렌즈; 상기 제1 렌즈와 상기 편광 빔 분리기 사이에 배치된 제2 1/4 파장판; 및 상기 기준 거울에서 반사된 후 상기 편광 빔 분리기에서 반사된 기준 빔과 상기 샘플에서 반사된 후 상기 편광 빔 분리기를 투과한 샘플 빔을 파장에 따라 분광하는 분광 검출부를 포함한다.
Int. CL G01B 9/02 (2006.01.01) G01B 11/06 (2006.01.01) G01B 11/24 (2006.01.01)
CPC G01B 9/0209(2013.01) G01B 9/0209(2013.01) G01B 9/0209(2013.01) G01B 9/0209(2013.01)
출원번호/일자 1020180020659 (2018.02.21)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1987402-0000 (2019.06.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190610) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.02.21)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 진종한 대전광역시 유성구
2 박정재 대전광역시 유성구
3 김재완 대전광역시 유성구
4 김종안 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0183460-05
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.04.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.06.07 수리 (Accepted) 9-1-2018-0026205-39
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0810910-26
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2019-0022353-76
9 등록결정서
Decision to grant		 2019.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0386964-35
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가간섭성(coherence)을 가진 광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력광을 제공받아 제1 편광 상태를 가진 빔을 투과시키고 상기 제1 편광 상태에 수직한 제2 편광 상태를 가진 빔을 반사시키는 편광 빔 분리기;상기 편광 빔 분리기를 투과한 제1 편광 상태의 빔을 반사시키는 기준 거울;상기 기준 거울과 상기 편광 빔 분리기 사이에 배치된 제1 1/4 파장판;상기 제2 편광 상태를 가진 빔을 샘플에 집속하는 제1 렌즈;상기 제1 렌즈와 상기 편광 빔 분리기 사이에 배치된 제2 1/4 파장판; 및상기 기준 거울에서 반사된 후 상기 편광 빔 분리기에서 반사된 기준 빔과 상기 샘플에서 반사된 후 상기 편광 빔 분리기를 투과한 샘플 빔을 파장에 따라 분광하는 분광 검출부를 포함하고,상기 분광 검출부는:파장에 따라 상기 기준 빔과 상기 샘플 빔을 분광하는 분광부;상기 분광부에 의하여 공간적으로 분광된 광을 측정하는 2차원 광검출부;상기 2차원 광검출부의 앞단에 배치되어 파장별로 동일한 편광 상태를 제공하는 제1 편광자들; 및상기 제1 편광자들과 이격되어 나란히 배치되어 상기 제1 편광자들과 다른 편광 상태를 제공하고 상기 2차원 광검출부의 앞단에 배치되어 파장별로 동일한 편광 상태를 제공하는 제2 편광자들을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 제1 편광자들은 상기 샘플 빔만을 투과시키도록 설정된 편광 방향을 가지는 것을 특징으로 하는 광학 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 제2 편광자들은 상기 샘플 빔의 일부와 상기 기준 빔의 일부를 투과시키도록 설정된 편광 방향을 가지는 것을 특징으로 하는 광학 장치
4 4
제1 항에 있어서,상기 2차원 광검출부의 출력 신호를 처리하는 신호 처리부를 더 포함하고,상기 신호 처리부는 파장에 따른 상기 샘플 빔의 세기를 처리하여 상기 샘플의 박막 또는 후막의 두께를 추출하고,상기 신호 처리부는 파장에 따른 상기 샘플 빔의 일부와 상기 기준 빔의 일부의 광 간섭 신호의 세기를 처리하여 상기 샘플의 삼차원 표면 형상 정보를 추출하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
5 5
제1 항에 있어서,상기 편광 빔 분리기와 상기 분광 검출부 사이에 배치되고 상기 샘플 빔과 상기 기준 빔을 집속하는 제2 렌즈; 및상기 제2 렌즈에서 초점에 배치되고 상기 집속된 샘플 빔과 상기 집속된 기준 빔을 상기 분광 검출부에 전달하는 광섬유를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
6 6
제1 항에 있어서,상기 샘플을 지지하는 샘플 지지대를 더 포함하고,상기 샘플 지지대는 상기 샘플의 배치평면에서 2차원적으로 스캐닝하고,상기 제1 렌즈는 샘플의 수직 방향으로 스캐닝하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제1 항에 있어서, 상기 광대역 광원의 출력광을 전달하는 보조 광섬유;상기 보조 광섬유를 통하여 전달된 광을 평행광으로 변환하는 시준 렌즈;상기 시준 렌즈와 상기 편광 빔 분리기 사이에 배치된 보조 선형 편광판; 및상기 보조 선형 편광판과 상기 편광 빔 분리기 사이에 배치된 1/2 파장판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.