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광대역 다파장 광을 제공하는 광원;상기 광원으로부터 입력된 광을 2개의 광으로 분리하여 기준광과 측정광으로 출력하거나, 2개의 광이 입력되면 간섭광을 생성하여 출력하는 광 가간섭 발생부;상기 광 가간섭 발생부로부터 기준광이 입력되고, 입력된 기준광이 기준 광경로를 거쳐 반사 거울에 의해 반사되어 상기 광 가간섭 발생부로 다시 제공하도록 구성된 기준단;상기 광 가간섭 발생부로부터 측정광이 입력되고, 입력된 측정광이 측정 광경로를 거쳐 피검체에 의해 반사되어 상기 광 가간섭 발생부로 다시 제공하도록 구성된 검사단;측정 광경로 중 상기 검사단과 피검체의 사이에 배치된 편광자(Polarizer); 상기 광 가간섭 발생부로부터 상기 기준광과 측정광의 간섭광을 파장별로 수집하고, 상기 파장별로 수집된 광을 전기적 신호로 변환시켜 출력하는 간섭 신호 측정 모듈; 및상기 간섭 신호 측정 모듈로부터 제공된 간섭 신호를 이용하여 상기 피검체에 대한 광간섭 단층 영상 및 3차원 영상을 생성하여 출력하는 신호 처리 장치;를 구비하여, 상기 편광자와 동일한 편광 상태를 갖는 측정광이 피검체로 제공되도록 구성된 것을 특징으로 하는 편광 필름 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 편광 필름 검사 장치는 상기 편광자에 대한 편광 방향을 제어하는 편광자 제어 모듈을 더 구비하고,상기 편광자 제어 모듈은 피검체에 대한 검사 항목에 따라 편광 상태를 변경시키는 것을 특징으로 하는 편광 필름 검사 장치
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제1항에 있어서, 편광 필름 검사 장치는 피검체를 지지하는 지지대를 더 구비하고, 상기 지지대는 3축으로 이동가능하도록 구성되어 피검체의 표면을 스캔할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 편광 필름 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 피검체는 편광 소자를 구비한 편광 필름 또는 편광 소자를 구비한 편광 디스플레이인 것을 특징으로 하는 편광 필름 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 기준 광경로와 측정 광경로는 동일한 광경로 길이를 갖도록 구성된 것을 특징으로 하는 편광 필름 검사 장치
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제1항에 있어서, 상기 기준단은 시준기, 볼록 렌즈 및 반사 거울로 이루어지고, 상기 검사단은 시준기, 2축 반사부재 및 볼록 렌즈로 이루어지되, 상기 기준 광경로와 측정 광경로는 동일한 광경로 길이를 갖도록 구성된 것을 특징으로 하는 편광 필름 검사 장치
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