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선형 증착 소스 챔버 접합방법 및 이를 위한 지그 어셈블리

  • 기술번호 : KST2020006471
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 선형 증착 소스 챔버 접합방법은, Ti Grade 2 소재로 형성되는 선형 증착 소스 챔버를 구성하는 개별 프레임부재를 가공하는 (a)단계, 상기 개별 프레임부재의 접합면에 용가제를 도포하는 (b)단계 및 상기 개별 프레임부재의 접합면을 서로 접촉시키고, 접합면을 가열하며 브레이징을 수행하여 접합하는 (c)단계를 포함한다.
Int. CL B23K 1/00 (2006.01.01) B23K 1/16 (2006.01.01) B23K 3/08 (2006.01.01) B23K 35/32 (2006.01.01) B23K 35/02 (2006.01.01) B23K 101/12 (2006.01.01) B23K 103/14 (2006.01.01)
CPC B23K 1/0008(2013.01) B23K 1/0008(2013.01) B23K 1/0008(2013.01) B23K 1/0008(2013.01) B23K 1/0008(2013.01) B23K 1/0008(2013.01) B23K 1/0008(2013.01)
출원번호/일자 1020180152934 (2018.11.30)
출원인 한국생산기술연구원, 오너메탈 주식회사
등록번호/일자 10-2142877-0000 (2020.08.04)
공개번호/일자 10-2020-0065959 (2020.06.09) 문서열기
공고번호/일자 (20200810) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 오너메탈 주식회사 대한민국 경기도 화성시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박현준 인천 연수구
2 문경일 인천 남동구
3 이상일 경기도 화성시
4 이한찬 인천광역시 계양구
5 김범수 경기도 수원시 권선구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
2 오너메탈 주식회사 경기도 화성시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-1203935-73
2 보정요구서
Request for Amendment
2018.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0192982-19
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2018.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-1232640-89
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0027861-58
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0230037-92
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.05.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0467746-99
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2020-0467720-13
9 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2020.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2020-0705172-19
10 등록결정서
Decision to grant
2020.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0522127-18
11 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2020-0815863-41
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번호 청구항
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선형 증착 소스 챔버를 구성하는 복수의 프레임부재를 접합하는 지그 어셈블리에 있어서,제1프레임부재를 고정시키는 제1고정부 및 상기 제1프레임부재와 나란히 이격되는 제3프레임부재를 고정시키는 제3고정부를 포함하는 제1지그; 및상기 제1프레임부재의 일측 및 상기 제3프레임부재의 일측과 수직하게 접촉되도록 구비되는 제2프레임부재를 고정시키는 제2고정부 및 상기 제2프레임부재와 나란히 이격되며, 상기 제1프레임부재의 타측 및 상기 제3프레임부재의 타측와 수직하게 접촉되도록 구비되는 제4프레임부재를 고정시키는 제4고정부를 포함하는 제2지그;를 포함하고,상기 제2고정부에는 상기 제2프레임부재에 대한 가압력을 조절 가능하게 형성되는 제2가압모듈이 구비되며,상기 제4고정부에는 상기 제4프레임부재에 대한 가압력을 조절 가능하게 형성되는 제4가압모듈이 구비되고,상기 제1지그는 상기 제2프레임부재 및 상기 제4프레임부재와 나란한 방향으로 연장되어 상기 제1고정부 및 상기 제3고정부를 연결하는 제1연결부를 더 포함하며,상기 제4고정부는 상기 제1연결부보다 외측에 구비되고, 상기 제4가압모듈은 상기 제4고정부로부터 상기 제1연결부를 관통하여 상기 제4프레임부재에 접촉되는 형태로 형성되는 선형 증착 소스 챔버 접합용 지그 어셈블리
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제6항에 있어서,상기 제1고정부에는 상기 제1프레임부재에 대한 가압력을 조절 가능하게 형성되는 제1가압모듈이 구비되며,상기 제3고정부에는 상기 제3프레임부재에 대한 가압력을 조절 가능하게 형성되는 제3가압모듈이 구비되는 선형 증착 소스 챔버 접합용 지그 어셈블리
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제7항에 있어서,상기 제2지그는,상기 제1프레임부재 내지 상기 제4프레임부재에 대해 수직한 방향으로 연장되어 상기 제2고정부 및 상기 제4고정부를 연결하는 제2연결부를 더 포함하는 선형 증착 소스 챔버 접합용 지그 어셈블리
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제11항에 있어서,상기 제1프레임부재 내지 상기 제4프레임부재는 바닥으로부터 기립된 형태로 구비되며,상기 제1프레임부재 내지 상기 제4프레임부재의 하단 및 바닥 사이에는, 상기 제1프레임부재 내지 상기 제4프레임부재의 위치를 고정시키는 고정프레임부재가 구비되고,상기 제2연결부는 상기 제1프레임부재 내지 상기 제4프레임부재의 상단에 접촉되어 자중에 의해 상기 고정프레임부재에 대한 가압을 수행하는 선형 증착 소스 챔버 접합용 지그 어셈블리
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1 산업통상자원부 새한진공열처리 소재부품이종기술융합형 Linear evaporation source chamber 제작 개선을 위한 진공열처리 장비 및 공정 개발