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제1 기판 상에 감지부를 형성하는 단계; 및상기 감지부와 제2 기판 상에 형성된 전극부를 결합시키는 단계;를 포함하고,상기 감지부를 형성하는 단계는,상기 제1 기판 상에 전도성 물질을 도포하여 전도층을 형성하는 단계;상기 전도층 상에 유기 리간드로 둘러싸인 절연성 물질을 도포하여 절연층을 형성하는 단계; 및상기 절연층을 무기 리간드가 분산된 리간드 치환 용액에 접촉시켜 상기 절연성 물질의 유기 리간드를 무기 리간드로 치환하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 감지부는 상기 절연성 물질의 유기 리간드가 상기 무기 리간드로 치환되면서 형성된 크랙(crack)을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 압력 센서에 압력이 가해질 때 상기 크랙을 통해 노출된 상기 전도층이 상기 전극부와 접촉되어 전기 저항이 변하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 유기 리간드는 상기 무기 리간드보다 길이가 긴 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 전도성 물질은 금속 나노 와이어 또는 인듐 주석 산화물(Indium tin oxide, ITO) 나노 입자인 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 금속 나노 와이어는 구리 나노 와이어 또는 은 나노 와이어(Ag nanowire, AgNW)인 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 절연성 물질은 금속 산화물의 나노 입자인 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 절연성 물질은 산화아연(ZnO), 알루미늄 산화물(Al2O3), 알루미늄 질화물(AlN), 이산화티타늄(TiO2), 산화아연(ZnO), 산화규소(SiO2), 지르코늄 산화물(ZrO2), 텅스텐 산화물(WO2) 중 어느 하나로 이루어진 나노 입자인 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 절연성 물질의 유기 리간드는 TOPO(trioctylphosphineoxide), 옥타데칸올(octadecanol) 및 올레익산(oleic acid) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 리간드 치환 용액의 무기 리간드는 황 이온(S2-), 염소 이온(Cl-), 브롬 이온(Br-), 티오시안산 이온(SCN-), 아이오딘 이온(I-), 이황화물 이온(HS-), 텔루륨 이온(Te2-), 수산화 이온(OH-), 사불화붕산 이온(BF4-) 및 육불화인산 이온(PF6-) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제1 기판 상에 형성된 감지부; 및제2 기판 상에 형성되고, 상기 감지부와 결합된 전극부를 포함하고,상기 감지부는,상기 제1 기판 상에 형성되고, 전도성 물질을 포함하는 전도층;상기 전도층 상에 형성되고, 무기 리간드로 둘러싸인 절연성 물질과 크랙(crack)을 포함하는 절연층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서
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제11항에 있어서,상기 압력 센서에 압력이 가해질 때 상기 크랙을 통해 노출된 상기 전도층이 상기 전극부와 접촉되어 전기 저항이 변하는 것을 특징으로 하는 압력 센서
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제11항에 있어서,상기 압력 센서가 감지하는 압력 범위는 60kPa 내지 90kPa인 것을 특징으로 하는 압력 센서
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제11항에 있어서,상기 압력 센서의 민감도는 2
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