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회전축을 중심으로 회전 가능하고, 상기 회전축에 수직한 방향으로 연장되는 블레이드 몸체;상기 블레이드 몸체의 끝단에 형성되고, 노즐이 형성된 잉크젯 헤드에 용매를 분사하는 분사구;상기 블레이드 몸체의 상기 끝단에 연결되어 고정되고, 상기 노즐의 표면의 오염물을 와이핑(wiping)하여 제거하도록 구비된 블레이드 팁; 및상기 블레이드 몸체의 상기 끝단에 형성되고, 상기 분사구와 상기 블레이드 팁 사이에 배치되어 상기 분사구로부터 분사된 상기 용매를 흡입하도록 구비된 흡입구를 포함하는 잉크젯 헤드 세정 장치
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제1 항에 있어서, 용매가 저장된 용매 저장부를 더 포함하고, 상기 블레이드 몸체가 회전하면 상기 블레이드 팁이 상기 용매에 침지되도록 상기 블레이드 몸체와 상기 용매 저장부가 결합된 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정 장치
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제1 항에 있어서, 상기 블레이드 팁은 노즐이 형성된 잉크젯 헤드의 하면에 대해 수직한 방향에 대해 45도 보다 작은 제1 각도를 이룬 상태에서, 상기 노즐과 접촉하여 상기 노즐의 표면의 오염물을 제거하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정 장치
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제1 항에 있어서, 상기 블레이드 몸체에 연결되는 분사관 및 흡입관을 더 포함하고, 상기 분사구는 상기 블레이드 몸체 내부를 통해 상기 분사관과 연결되어, 상기 분사관으로부터 상기 용매를 공급받고, 상기 흡입구는 상기 블레이드 몸체 내부를 통해 상기 흡입관에 연결되어, 상기 흡입관으로부터 진공 흡입력을 제공 받는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정 장치
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제1 항에 있어서, 상기 블레이드 몸체의 상기 끝단에는 상기 블레이드 팁을 기준으로 상기 흡입구가 형성된 반대 방향에 보조 흡입구가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정 장치
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제1 항에 있어서, 상기 분사구 및 상기 흡입구는 상기 회전축과 평행한 방향으로 연장되는 슬릿 형태인 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정 장치
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제1 항에 있어서, 상기 용매는 N-메틸 피롤리돈(NMP)을 포함하고, 상기 오염물은 폴리이미드(PI)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정 장치
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제1 항에 있어서, 상기 블레이드 팁은 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 세정 장치
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잉크젯 헤드의 노즐을 향해 용매를 분사하는 단계;상기 분사된 용매에 의해 용해된 상기 노즐 상의 오염물을 블레이드 팁을 이용하여 상기 노즐로부터 제거하는 단계;상기 블레이드 팁에 의해 제거된 상기 오염물을 흡입하는 단계; 및 상기 블레이드 팁에 잔류하는 상기 오염물을 용매 저장부에 저장된 용매에 침지하여 상기 블레이드 팁으로부터 제거하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 세정 방법
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제9 항에 있어서, 상기 분사하는 단계에서는,상기 블레이드 팁이 연결되는 블레이드 몸체의 끝단에 형성된 분사구를 통해 상기 용액을 분사하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 세정 방법
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제10 항에 있어서, 상기 노즐로부터 제거하는 단계에서는, 상기 노즐의 표면의 상기 오염물을 상기 블레이드 팁이 와이핑(wiping)하여 제거하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 세정 방법
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제11 항에 있어서, 상기 블레이드 팁은 노즐이 형성된 잉크젯 헤드의 하면에 대해 수직한 방향에 대해 45도 보다 작은 제1 각도를 이룬 상태에서, 상기 노즐과 접촉하여 상기 오염물을 제거하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 세정 방법
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제11 항에 있어서, 상기 흡입하는 단계에서는, 상기 블레이드 몸체의 상기 끝단에 형성되고, 상기 분사구와 상기 블레이드 팁 사이에 배치되는 흡입구를 통해, 상기 오염물 및 상기 용매를 흡입하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 세정 방법
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제10 항에 있어서, 상기 블레이드 팁으로부터 제거하는 단계에서는, 상기 블레이드 팁을 용매 저장부에 저장된 용매에 침지시켜, 상기 블레이드 팁에 잔류하는 상기 오염물을 상기 용매에 용해 시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 세정 방법
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제9 항에 있어서, 상기 용매는 N-메틸 피롤리돈(NMP)을 포함하고, 상기 오염물은 폴리이미드(PI)를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 세정 방법
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잉크젯 헤드의 노즐로부터 용액을 적하하는 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 기판 상에 패턴층을 형성하는 단계;상기 잉크젯 헤드의 노즐의 표면을 세정하는 단계를 포함하고, 상기 세정하는 단계는 상기 잉크젯 헤드의 상기 노즐을 향해 용매를 분사하는 단계;상기 분사된 용매에 의해 용해된 상기 노즐 상의 오염물을 블레이드 팁을 이용하여 상기 노즐로부터 제거하는 단계;상기 블레이드 팁에 의해 제거된 상기 오염물을 흡입하는 단계; 및 상기 블레이드 팁에 잔류하는 상기 오염물을 용매 저장부에 저장된 용매에 침지하여 상기 블레이드 팁으로부터 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법
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제 16항에 있어서, 상기 기판 및 상기 패턴층은 표시 장치의 구성 요소인 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법
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제 17항에 있어서, 상기 표시 장치는 액정 표시 장치이고, 상기 패턴층은 색필터 패턴, 차광 패턴 또는 배향막인 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법
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제 17항에 있어서, 상기 표시 장치는 유기 발광 표시 장치이고, 상기 패턴층은 발광층인 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법
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