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상하로 적층되는 하부 피접합재와 상부 피접합재의 하부를 지지하는 지그;상기 상부 피접합재의 상측에 배치되고, 하부 피접합재와 상부 피접합재의 접합부위에 초음파접합을 위한 진동을 제공하는 초음파 혼; 상기 초음파 혼의 상측에서 가압력을 제공하여 상기 접합부위에 미리 설정된 가압하중을 제공하는 가압부; 및 상기 상부 피접합재와 하부 피접합재의 접합 전,후의 두께 변화를 측정하는 측정부;를 포함하고, 상기 측정부는 상기 상부 피접합재와 하부 피접합재의 초음파 접합 전,후의 두께 변화에 따르는 가압하중의 변화량을 측정할 수 있도록 상기 하부 피접합재의 하부에 배치되는 하중측정센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 신뢰성 평가 장치
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제 1항에 있어서, 상기 가압부는 가압축이 피접합재의 두께방향으로 이동하여 가압력을 제공하는 액추에이터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 신뢰성 평가 장치
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제 1항에 있어서, 상기 측정부에서 측정되는 측정값을 시각적으로 표시하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 신뢰성 평가 장치
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지그의 상측에 접합 대상이 되는 하부 피접합재와 상부 피접합재를 적층하고, 상기 상부 피접합재의 상측에 초음파 혼을 배치하는 준비단계;상부 피접합재의 상부에 배치된 가압부를 이용해 상기 초음파 혼의 상측을 가압하여 하중을 인가하는 가압단계;초음파 혼에 진동을 인가하여 상부 피접합재와 하부 피접합재를 접합하는 접합단계;상기 상부 피접합재와 하부 피접합재의 접합 전,후의 두께 변화를 측정하는 측정단계; 및 상기 측정단계에서 측정된 두께 변화량을 통해 초음파접합부위의 접합신뢰성을 평가하는 평가단계;를 포함하고, 상기 측정단계에서는 하중측정센서를 이용하여 초음파접합부위의 접합 전,후의 두께 변화에 따르는 가압하중의 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 신뢰성 평가 방법
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제 6항에 있어서, 상기 가압단계에서는 상기 초음파 혼에 목표 하중을 인가한 후, 최초 가압상태를 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 신뢰성 평가 방법
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