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혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된혼합기체 검출용 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한혼합기체의 검출방법

  • 기술번호 : KST2014000694
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세접촉인쇄 기술을 이용한 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 혼합기체 검출용 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 복수 개의 마스터 주형 상에 각각 음각 패턴을 형성하는 단계; 상기 마스터 주형 상에 액상 고분자를 붓고 경화시켜서 상기 음각 패턴에 대응되는 양각 패턴을 구비한 복수 개의 고분자 도장을 제조하는 단계; 상기 복수 개의 고분자 도장의 표면에 서로 다른 기체 검출 물질을 묻힌 후 미세접촉인쇄 기술을 이용하여 순차적으로 기판 상에 기체 검출 물질 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 서로 다른 기체 검출 물질 패턴의 교차점에 접촉저항 감소물질 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 종래의 리쏘그라피 공정 등에 비해서 고가의 장비를 필요로 하지 않고도 용이하게 다양한 기체 검출 물질을 하나의 센서 내에 구현할 수 있고, 정확한 교차접합 센서의 메카니즘 분석을 가능하게 하며, 저전력으로도 높은 감도로 혼합기체의 정확한 정성 및 정량적 분석을 가능하게 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 혼합기체 검출용 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법을 제공할 수 있다. 기체센서, 미세접촉인쇄
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) B28Y 15/00 (2011.01) G01N 33/00 (2006.01) G01N 37/00 (2006.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020070047191 (2007.05.15)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1014851-0000 (2011.02.08)
공개번호/일자 10-2008-0101030 (2008.11.21) 문서열기
공고번호/일자 (20110216) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.15)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하정숙 대한민국 서울 노원구
2 박재현 대한민국 울산 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0358225-51
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0015600-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.05 수리 (Accepted) 4-1-2008-5034712-96
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2008.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2008-0346011-07
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0018006-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0203395-07
9 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0204046-56
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0258740-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0527152-29
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0610762-96
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0610763-31
15 등록결정서
Decision to grant		 2011.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0045019-74
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수 개의 마스터 주형 상에 각각 음각 패턴을 형성하는 단계; 상기 마스터 주형 상에 액상 고분자를 붓고 경화시켜서 상기 음각 패턴에 대응되는 양각 패턴을 구비한 복수 개의 고분자 도장을 제조하는 단계; 상기 복수 개의 고분자 도장의 표면에 서로 다른 기체 검출 물질을 묻힌 후 랑뮈에-블라제 방법 (LB 방법) 또는 랑뮈에-셰퍼 (Langmuir-Shaeffer) 방법 (LS 방법)에 의한 미세접촉인쇄 기술을 이용하여 순차적으로 기판 상에 기체 검출 물질 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 서로 다른 기체 검출 물질 패턴의 교차점에 접촉저항 감소물질 패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 기체 검출 물질은 단일벽 탄소나노튜브, 바나듐 산화물 나노와이어, 아연 산화물 나노와이어 및 주석 산화물 나노와이어로 이루어진 군으로부터 선택된 둘 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 음각 패턴은 평행 스트라이프 패턴인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 음각 패턴은 십자형 패턴인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 고분자는 폴리디메틸실록산 (PDMS)인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 혼합기체는 NH3, CO, H2 및 알데히드로 이루어진 군으로부터 선택된 둘 이상의 기체인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 기체 검출 물질은 공액 고분자 (conjugated polymer) 또는 계면활성제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 기판은 금속 산화물 기판 또는 유연성 고분자 기판인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 기체 검출 물질 패턴은 격자무늬 패턴인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 격자무늬 패턴의 선폭은 100nm 내지 100㎛이고, 두께는 1nm 내지 100nm인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
11 11
삭제
12 12
제1항에 있어서, 상기 접촉저항 감소물질은 금 나노입자, 은 나노입자, 백금 나노입자 및 팔라듐 나노입자로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
13 13
제1항에 있어서, 상기 접촉저항 감소물질 패턴은 일정한 배열을 갖는 원 또는 다각형의 반복 패턴인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
14 14
제13항에 있어서, 상기 원 또는 다각형 1개의 표면적은 10,000nm2 내지 10,000㎛2이고, 두께는 2nm 내지 100nm인 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
15 15
제1항에 있어서, 상기 기체 검출 물질 패턴 형성 단계 또는 상기 접촉저항 감소물질 패턴 형성 단계는 상기 패턴 형성 단계 이후에 가열 또는 자외선 조사에 의해서 상기 기체 검출 물질 또는 접촉저항 감소물질 중의 캡핑 물질을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법
16 16
제1항에 의해서 제조된 혼합기체 검출용 기체센서
17 17
제16항에 있어서, 상기 기체센서는 2 이상의 서로 다른 검출 대상 기체가 흡착되기 위한 2 이상의 서로 다른 기체 검출 물질로 이루어진 2 이상의 기체 검출부; 상기 서로 다른 기체 검출 물질의 교차점에 형성된 접촉저항 감소부; 및 상기 기체센서에의 상기 검출 대상 기체의 흡착 전후 전기적 특성을 측정하기 위한 전극부를 구비하는 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서
18 18
제17항에 있어서, 상기 기체 검출부들의 표면적이 동일한 것을 특징으로 하는 혼합기체 검출용 기체센서
19 19
제16항에 따른 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법
20 20
제19항에 있어서, 상기 기체 검출부의 상기 검출 대상 기체 흡착 후 전기저항값은 하기 식에 의해서 연산되는 것을 특징으로 하는 혼합기체의 검출 방법: 003c#수학식 1003e# R = (R0 + f(l)×w) 상기 식에서, R은 검출 대상 기체의 흡착 후 전기저항값이며, R0는 검출 대상 기체의 흡착 전 전기저항값이고, f는 기체 검출 물질의 감도 인자 함수이며, l은 검출 대상 기체의 부피이고, w는 기체 검출부의 표면적이다
21 21
제19항에 있어서, 상기 기체 검출부가 저항값 a를 갖는 기체 검출 물질 및 저항값 b를 갖는 기체 검출 물질로 이루어지고, 상기 기체 검출 물질들은 2쌍의 서로 수직인 평행 스트라이프 패턴으로 배열되며, 상기 서로 수직인 평행 스트라이프 패턴의 양 말단에 전압을 인가하는 경우, 상기 전압 인가에 의해 측정되는 4가지 저항값이 하기 식에 의해서 표현되는 것을 특징으로 하는 혼합기체의 검출방법: 003c#수학식 2003e#
지정국 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 고려대학교 산학협력단 특정연구개발사업＞나노연구개발사업＞나노핵심기반연구개발 나노선소자 안정화 핵심기술