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접합 정렬장치 및 정렬방법

  • 기술번호 : KST2014002146
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 접합 공정시 발생하는 오차를 최소화하여 접합 정밀도를 향상시키고 제조 단가를 낮출 수 있는 접합 정렬장치 및 접합 정렬방법이 제시된다. 본 발명의 접합 정렬장치는 상기 스테이지와 헤드유닛 사이에 상기 제1대상물과 제2대상물의 광학 이미지를 특정 방향으로 반사시키는 반사유닛을 구비하여, 대상물들을 정확하게 정렬시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 대상물을 정밀하게 접합시킬 수 있고, 접합 정렬장치의 원가를 절감할 수 있다.반사유닛, 스테이지, 헤드유닛, 광학 이미지, 접합
Int. CL H01L 21/60 (2006.01)
CPC H01L 24/75(2013.01) H01L 24/75(2013.01) H01L 24/75(2013.01) H01L 24/75(2013.01) H01L 24/75(2013.01)
출원번호/일자 1020060069362 (2006.07.24)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0787095-0000 (2007.12.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.07.24)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최헌종 대한민국 서울시 강남구
2 홍원표 대한민국 인천시 연수구
3 남성호 대한민국 인천시 연수구
4 최영재 대한민국 서울시 광진구
5 류광열 대한민국 인천시 연수구
6 이석우 대한민국 경기도 용인시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충남 천안시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0529158-11
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2006.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0538769-19
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0039736-85
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0404161-98
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2007-0684444-56
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2007.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2007-0684443-11
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0684445-02
10 등록결정서
Decision to grant		 2007.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0645305-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1대상물이 장착되며, 평면상에서 이동 가능하게 구비되는 스테이지;상기 제1대상물과 접착하려는 제2대상물이 장착되고, 상기 스테이지와 대향하는 방향에 제공되며, 상기 스테이지와의 거리 조절이 가능한 헤드유닛;상기 스테이지와 상기 헤드유닛 사이에 구비되어, 상기 제1대상물과 상기 제2대상물의 광학 이미지를 일 방향으로 반사시키는 제1반사부와 상기 제1대상물과 상기 제2대상물의 광학 이미지를 상기 일 방향과 수직한 방향으로 반사시키는 제2반사부를 포함하는 반사유닛; 및상기 반사유닛에서 반사된 광학 이미지를 사용자에게 제공하는 이미지 변환유닛;을 포함하여 구성되는 접합 정렬장치
2 2
제1항에 있어서,상기 제1대상물과 제2대상물 중 어느 하나는 인쇄회로기판(PCB)이고, 나머지 하나는 상기 인쇄회로기판에 접합되는 칩(chip)인 것을 특징으로 하는 접합 정렬장치
3 3
제1항에 있어서,상기 이미지 변환유닛은,상기 반사유닛에서 반사된 광학 이미지를 인가받아 전기적인 신호로 변환하는 카메라 모듈; 및상기 카메라 모듈의 신호를 입력받아 사용자에게 이미지 관련 영상을 제공하는 디스플레이부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 접합 정렬장치
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 반사유닛에 연결되어, 상기 반사유닛의 자세를 변경시키는 회전유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접합 정렬장치
6 6
제1항에 있어서,상기 반사유닛은,상기 스테이지 측에 구비되어, 상기 제1대상물의 광학 이미지를 입사받아 반사시키는 제1반사면; 및상기 헤드유닛 측에 구비되어, 상기 제2대상물의 광학 이미지를 입사받아 반사시키는 제2반사면;을 포함하는 것을 특징으로 하는 접합 정렬장치
7 7
제6항에 있어서,상기 제1반사면과 제2반사면은, 상기 제1대상물과 제2대상물의 광학 이미지가 같은 방향으로 반사될 수 있도록 수평면에 대하여 서로 다른 방향으로 기울어진 것을 특징으로 하는 접합 정렬장치
8 8
제7항에 있어서,상기 제1반사면과 제2반사면의 기울어진 각도의 크기는 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 접합 정렬장치
9 9
제8항에 있어서,상기 제1반사면과 제2반사면 각각이 수평면과 이루는 각도(θ), 상기 제1반사면과 제2반사면의 중심 사이의 거리(d) 및 상기 제1반사면(142)과 제2반사면(144)의 중심 사이의 중점(中點)과 광학 이미지가 상기 이미지 변환유닛으로 입력되는 지점 사이의 거리(l)는,tan2θ = - l/(2d)의 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 접합 정렬장치
10 10
(가) 스테이지와 헤드유닛 각각에 제1대상물과 제2대상물을 장착하는 단계;(나) 상기 제1대상물과 제2대상물의 광학 이미지를 일 방향으로 반사시키고, 상기 제1대상물과 제2대상물의 광학 이미지를 상기 일 방향과 수직한 방향으로 반사시키는 단계;(다) 반사된 광학 이미지에 기초하여 스테이지의 위치를 변화시키는 단계; 및(라) 헤드유닛을 이동시켜 제1대상물과 제2대상물을 접합시키는 단계를 포함하는 접합 정렬방법
11 11
제10항에 있어서,상기 제1대상물과 제2대상물 중 어느 하나는 인쇄회로기판(PCB)이고, 나머지 하나는 상기 인쇄회로기판에 접합되는 칩(chip)인 것을 특징으로 하는 접합 정렬방법
12 12
삭제
13 13
제10항에 있어서,상기 제1대상물과 제2대상물의 광학 이미지 반사 방향을 변경시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접합 정렬방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.