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자기 센서용 단층 입상구조형 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014003542
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 상기 페로브스카이트계 망간 산화물 박막의 입계 특성을 개량하기 위하여, 기판상에 졸 (sol)을 코팅 및 건조하는 공정을 수 회 반복하여 500 내지 4000Å 두께의 La0.67Sr0.33MnO3 페로브스카이트 망간 산화물 단층 박막을 얻고, 상기 박막을 공기분위기하에서 소결처리하여 입상화시켜 다결정형 망간 산화물 단층 박막을 얻는 자기센서용 박막의 제조방법을 제공한다.
Int. CL H01L 43/08 (2006.01) G01R 33/00 (2006.01)
CPC H01L 43/12(2013.01) H01L 43/12(2013.01) H01L 43/12(2013.01) H01L 43/12(2013.01)
출원번호/일자 1019990044046 (1999.10.12)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0363392-0000 (2002.11.20)
공개번호/일자 10-2001-0036859 (2001.05.07) 문서열기
공고번호/일자 (20021130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.10.12)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오영제 대한민국 서울특별시영등포구
2 심인보 대한민국 서울특별시마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1999.10.12 수리 (Accepted) 1-1-1999-0128363-70
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2001.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0199232-69
4 의견서
Written Opinion
2001.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2001-0247614-10
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2001.09.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-0247615-66
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2002.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0097793-25
8 의견서
Written Opinion
2002.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2002-0154341-37
9 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2002.05.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0154340-92
10 등록결정서
Decision to grant
2002.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0403320-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
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에탄올, 아세트산과 물을 혼합한 용매에 La, Sr 및 Mn의 무기염 출발물질을 용해시키고,

물과 착제를 첨가한 후 혼합하여 졸을 제조하고,

기판상에 상기 졸 (sol)을 코팅 및 건조하는 공정을 수 회 반복하여 500 내지 4000Å 두께의 La0

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.