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자기임피던스 센서에 있어서,
결정질 자성 와이어 패턴과;
상기 결정질 자성 와이어 패턴의 양단에 연결되어 있는 제1 및 제2입력전극과;
상기 제1입력전극과 상기 제2입력전극 사이에서 상기 결정질 자성 와이어 패턴에 연결되어 있는 제1 및 제2출력전극; 및
상기 결정질 자성 와이어 패턴에 대하여 일정한 각도로 기울어져 상기 결정질 자성 와이어 패턴에 인접하여 배치되어 있는 영구자석을 포함하는 것으로서,
상기 제1입력전극, 상기 제2입력전극, 상기 제1출력전극 및 상기 제2출력전극은 스퍼터링 방법에 의하여 금, 구리 및 은 중 어느 하나로 제조되는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서
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제1항에 있어서,
상기 결정질 자성 와이어 패턴은 CoFeNi의 조성을 갖는 결정질 연자성 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서
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제2항에 있어서,
상기 결정질 자성 와이어 패턴, 상기 제1입력전극, 상기 제2입력전극, 상기 제1출력전극 및 상기 제2출력전극은 동일한 재료로 동시에 일체로 제조되는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서
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제1항에 있어서,
상기 결정질 자성 와이어 패턴은 1μm 내지 10 μm의 두께와, 50 μm 내지 200 μm의 폭을 가지며,
상기 제1출력전극과 상기 제2출력전극 사이의 거리는 2mm 내지 10mm인 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서
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제5항에 있어서,
상기 결정질 자성 와이어 패턴의 폭이 작을수록 상기 자기임피던스 센서의 민감도는 증가하는 반면에 감지 자기장 범위는 감소하고,
상기 결정질 자성 와이어 패턴의 두께가 두꺼워질수록 상기 자기임피던스 센서의 민감도와 감지 자기장 범위는 증가하며, 여기서 상기 민감도의 증가량은 상기 감지 자기장 범위의 증가량보다 큰 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서
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7
제6항에 있어서,
상기 감지 자기장 범위는 ±5 에르스텟(Oe) 내지 ±15 에르스텟(Oe)으로 설정된 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서
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8
제1항에 있어서,
상기 영구자석은 상기 결정질 자성 와이어 패턴에 바이어스 자기장을 인가하여 상기 결정질 자성 와이어 패턴의 출력이 바이어스 자기장에 따라 선형적으로 변화하는 영역으로 동작점을 이동시켜 주며, 상기 결정질 자성 와이어 패턴에 대하여 15°내지 75°의 예각을 이루도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서
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제1항에 있어서,
상기 결정질 자성 와이어 패턴, 상기 제1입력전극, 상기 제2입력전극, 상기 제1출력전극 및 상기 제2출력전극이 형성되어 있는 기판을 더 포함하며,
상기 결정질 자성 와이어 패턴과 상기 기판 사이에는 계면 접착력을 향상시켜주는 금속층이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서
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10
제1항에 있어서,
상기 영구자석이 회전함에 따라 외부자기장과 상기 자기임피던스 센서가 이루는 각도가 -90° 내지 +90°로 변할 때, ±30° 구간에서 1V이상의 선형적인 출력전압 변화를 보이는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서
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전기도금법을 이용하여 기판 상에 결정질 연자성 합금박막을 형성하는 단계;
상기 결정질 연자성 합금박막을 패터닝하여 결정질 자성 와이어 패턴을 형성하는 단계;
스퍼터링 방법을 이용하여 상기 결정질 자성 와이어 패턴의 양단에 연결되고, 금, 구리 및 은 중 어느 하나로 이루어지는 제1 및 제2입력전극과, 상기 제1입력전극과 상기 제2입력전극 사이에서 상기 결정질 자성 와이어 패턴에 연결되는 제1 및 제2출력전극을 형성하는 단계; 및
상기 결정질 자성 와이어 패턴에 대하여 일정한 각도로 기울어져 상기 결정질 자성 와이어 패턴에 인접하여 배치되도록 영구자석을 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제1항에 따른 자기임피던스 센서의 제조방법
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제11항에 있어서,
상기 결정질 연자성 합금박막은 CoFeNi의 조성을 갖는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서의 제조방법
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제11항에 있어서,
상기 결정질 연자성 합금박막의 형성 전에,
상기 기판 상에 계면접착력을 향상시키기 위한 금속층을 형성하는 단계; 및
상기 금속층 상에 상기 결정질 연자성 합금박막과 동일한 재료의 시드층(seed layer)을 스퍼터링 방법을 통하여 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서의 제조방법
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제11항에 있어서,
상기 결정질 연자성 합금박막을 패터닝하는 단계는 포토리소그래피(photolithography) 공정을 이용하는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서의 제조방법
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제11항에 있어서,
상기 결정질 자성 와이어 패턴은 1μm 내지 10 μm의 두께와, 50 μm 내지 200 μm의 폭을 가지도록 형성되며,
상기 제1출력전극과 상기 제2출력전극 사이의 거리는 2mm 내지 10mm을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서의 제조방법
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18
제11항에 있어서,
상기 영구자석은 상기 결정질 자성 와이어 패턴에 바이어스 자기장을 인가하여 상기 결정질 자성 와이어 패턴의 출력이 바이어스 자기장에 따라 선형적으로 변화하는 영역으로 동작점을 이동시켜 주며, 상기 결정질 자성 와이어 패턴에 대하여 15°내지 75°의 예각을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 자기임피던스 센서의 제조방법
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