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소정 면적의 평면을 상부에 갖는 유리판(5);상기 유리판(5)위에 표면장력으로 놓여지고, 전도성을 갖는 전해질 용액(4);전도성을 갖는 기저물(1)을 일방향으로 왕복이송시킬 수 있는 이송수단;상기 기저물(1)의 첨단에 접착제(10)에 의해 접착되고, 끝단이 상기 전해질 용액(4)에 담궈지는 탄소나노튜브(2); 상기 전해질 용액(4)과 상기 기저물(1)로 전원을 인가하는 전원수단;상기 탄소나노튜브(2)의 끝단이 상기 전해질 용액(4)에 담궈지는 영역의 상부에 설치되는 센싱유닛(3)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전해에칭을 이용한 나노팁의 접착장치
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제 1 항에 있어서, 상기 이송수단은 X축방향으로 수 nm ~ 수십 nm 의 분해능을 가지고 왕복할 수 있는 나노스테이지(8)인 것을 특징으로 하는 전해에칭을 이용한 나노팁의 접착장치
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제 1 항에 있어서, 상기 전원수단은 직류전원이고, 전류계(6)가 직렬로 더 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 전해에칭을 이용한 나노팁의 접착장치
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제 1 항에 있어서, 상기 접착제(10)는 아크릴 접착제인 것을 특징으로 하는 전해에칭을 이용한 나노팁의 접착장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기저물(1)은 텅스텐을 포함하는 마이크로팁인 것을 특징으로 하는 전해에칭을 이용한 나노팁의 접착장치
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제 1 항에 있어서, 상기 센싱유닛(3)은 광학 현미경 또는 전자 현미경인 것을 특징으로 하는 전해에칭을 이용한 나노팁의 접착장치
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기저물(1)의 끝단에 접착제(10)를 도포하고 탄소나노튜브(2)를 부착하는 단계;유리판(5)위에 표면장력으로 놓여지는 전도성 전해질 용액(4)에 전원을 인가하고, 기저물(1)에 전원을 인가하는 단계;상기 기저물(1)을 일방향으로 이송시켜 상기 탄소나노튜브(2)의 끝단이 상기 전해질 용액(4)에 담궈짐으로서 통전되는 단계;통전상태가 유지됨에 따라 상기 접착제(10)의 저항에 기인한 열이 발생하고, 발생된 열을 이용하여 상기 접착제(10)를 용융하는 단계; 및전해작용이 종료됨에 따라 전류가 차단되고, 용융된 상기 접착제(10)가 응고하여 상기 탄소나노튜브(2)가 접착되는 단계;로 이루어지고,상기 통전단계, 용융단계 및 접착단계는, 상기 탄소나노튜브(2)의 끝단이 상기 전해질 용액(4)에 담궈지는 영역을 현미경으로 관찰하는 단계를 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전해에칭을 이용한 나노팁의 접착방법
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