요약 | 본 발명에 따르면, 1축구동이 가능하며 단부에 신축가능 한 제1탄성수단에 의해 지지되는 로드상의 피구동체와; 상기 피구동체의 양측에 설치되며 2축 구동되어 상기 피구동체를 전후진 및 변위 고정시키는 제1,2구동수단들과; 상기 피구동체의 양측에 설치되며 1축 구동되어 상기 제1,2구동수단에 의해 전진 또는 후진된 피구동체의 변위를 유지하는 제1,2고정수단; 을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 초소형 구동 스테이지와 이의 구동방법을 개시한다. 초소형 구동스테이지, 전극, |
---|---|
Int. CL | B82B 1/00 (2011.01) B82Y 35/00 (2011.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020030043557 (2003.06.30) |
출원인 | 광주과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-0563665-0000 (2006.03.16) |
공개번호/일자 | 10-2005-0002210 (2005.01.07) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20060322) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2003.07.07) |
심사청구항수 | 7 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 광주과학기술원 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김상호 | 대한민국 | 부산광역시남구 |
2 | 이종현 | 대한민국 | 광주광역시 광산구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이재량 | 대한민국 | 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 광주과학기술원 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 Patent Application |
2003.06.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2003-0236881-16 |
2 | 출원심사청구서 Request for Examination |
2003.07.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2003-0247074-34 |
3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2003.11.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2003-5076055-97 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2004.07.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2004-0031183-30 |
5 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2005.03.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
6 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2005.04.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2005-0019054-17 |
7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2005.07.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2005-0368886-66 |
8 | 지정기간연장신청서 Request for Extension of Designated Period |
2005.09.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0552824-16 |
9 | 의견서 Written Opinion |
2005.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0620970-03 |
10 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2005.10.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2005-0620977-11 |
11 | 등록결정서 Decision to grant |
2006.02.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0104762-24 |
12 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2007.08.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0564532-95 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.09.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5187089-85 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 기판에 탄성지지되어 1축방향으로 이송 가능 하게 설치된 피구동체를 이의 양측에 설치된 제1,2구동기의 가동부재에 의해 파지하여 전진 또는 후진시키는 제1단계와, 상기 피구동체의 양측에 설치된 제 1, 2고정기의 고정부재에 의해 초기 피구동체의 고정을 해지하고, 상기 피구동체의 이동시 상기 고정부재를 지지하는 탄성력에 의해 상기 피구동체에 형성된 인입부에 고정부재가 삽입되도록 함으로써 피구동체를 파지하여 이송된 피구동체의 변위를 고정하는 제 2단계와,상기 피구동체가 고정된 상태에서 상기 1,2구동기에 의해 파지력을 해지하고 제1,2구동기의 가동부재가 원위치로 복귀되는 제3단계와, 상기 제1,2구동기에 의해 상기 피구동체를 파지하여 이동시킴과 아울러 상기 제1,2고정기의 고정부재가 상기 인입부로부터 인출되어 상기 피구동체의 변위 고정을 해지하는 제4단계를 포함하는 초소형 구동스테이지의 구동방법 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 1축구동이 가능하며 단부에 신축가능 한 제1탄성수단에 의해 지지되는 로드상의 피구동체와; 상기 피구동체의 양측에 설치되며 2축 구동되어 상기 피구동체를 전후진 및 변위 고정시키는 제1,2구동수단들과;상기 피구동체의 양측에 설치되며 1축 구동되어 상기 제1,2구동수단에 의해 전진 또는 후진된 피구동체의 변위를 유지하는 것으로, 각각 상기 피구동체에 대해 1축방향으로 전후진 가능하며 제3탄성수단에 의해 지지된 고정부재와, 상기 고정부재로부터 양측으로 각각 연장되는 적어도 하나의 제2구동전극들과, 상기 제2구동전극들과 이격되어 나란한 방향으로 설치되는 제3고정전극과, 상기 고정부재와 나란한 방향으로 형성되며 상기 제2구동전극의 단부와 대향되는 제4고정전극을 구비하여 된 제1,2고정수단; 을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 초소형 구동 스테이지 |
4 |
4 제 3항에 있어서, 상기 제1,2구동수단은 기판에 제2탄성수단에 의해 2축 방향으로 이동 가능한 가동부재와, 상기 가동부재로부터 양측으로 각각 연장되는 적어도 하나의 제1구동전극들과, 상기 제1구동전극들과 이격되어 나란한 방향으로 설치되는 제1고정전극과, 상기 가동부재와 나란한 방향으로 연장되며 상기 제1구동전극의 단부와 대향되는 적어도 하나의 제2고정전극을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 초소형 구동 스테이지 |
5 |
5 제 4항에 있어서,상기 제1구동전극과 상기 피구동체에 위치되는 제1고정전극의 간격이 상기 제1피구동체로부터 멀어지는 측에 위치되는 제1고정전극의 간격보다 좁게 형성된 것을 특징으로 하는 초소형 구동 스테이지 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 제4항에 있어서,제2탄성수단은 가동부재의 전방에 양측으로 연장되는 연장부와, 이 연장부의 단부로부터 상기 가동부재의 길이 방향으로 연장되며 기판에 고정되는 지지부를 가지는 제1판스프링부와, 가동부재의 후방부에 양측으로 연장되는 연장부와, 이 연장부의 단부로부터 상기 가동부재의 길이 방향으로 연장되며 기판에 고정되는 지지부를 가지는 제2판스프링부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 초소형 구동 스테이지 |
8 |
8 제 7항에 있어서, , 상기 각 연장부는 가동부재의 이동시 수직방향 탄성성분이 발생하지 않도록 가동부재의 길이 방향에 대해 피구동체 측으로 소정각도 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 초소형 구동 스테이지 |
9 |
9 제4항에 있어서,상기 피구동체의 이동시 고정부재를 지지하는 탄성력에 의해 상기 피구동체를 파지할 수 있도록 상기 고정부재와 대응되는 영역의 피구동체에 인입부가 형성된 것을 특징으로 하는 초소형 구동스테이지 |
10 |
10 삭제 |
11 |
11 삭제 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-0563665-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20030630 출원 번호 : 1020030043557 공고 연월일 : 20060322 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20060223 청구범위의 항수 : 7 유별 : B82B 1/00 발명의 명칭 : 초소형 구동스테이지와 그 구동방법 존속기간(예정)만료일 : 20140317 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 광주과학기술원 광주광역시 북구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 229,500 원 | 2006년 03월 17일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2009년 01월 05일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2009년 12월 28일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2010년 11월 25일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 366,000 원 | 2011년 12월 19일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 366,000 원 | 2012년 12월 11일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 | 2003.06.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2003-0236881-16 |
2 | 출원심사청구서 | 2003.07.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2003-0247074-34 |
3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2003.11.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2003-5076055-97 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2004.07.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2004-0031183-30 |
5 | 선행기술조사의뢰서 | 2005.03.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
6 | 선행기술조사보고서 | 2005.04.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2005-0019054-17 |
7 | 의견제출통지서 | 2005.07.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2005-0368886-66 |
8 | 지정기간연장신청서 | 2005.09.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0552824-16 |
9 | 의견서 | 2005.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0620970-03 |
10 | 명세서등보정서 | 2005.10.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2005-0620977-11 |
11 | 등록결정서 | 2006.02.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0104762-24 |
12 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2007.08.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0564532-95 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.09.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5187089-85 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1350010624 |
---|---|
세부과제번호 | 212-11 |
연구과제명 | 과학기술응용연구단운영 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 과학기술부 |
연구주관기관명 | 광주과학기술원 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200501~201412 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
과제고유번호 | 1350021616 |
---|---|
세부과제번호 | 2006-06478 |
연구과제명 | 50nm급나노공정측정및평가기술개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200504~200703 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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