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수분 차단 특성이 개선된 유기보호막을 적용한 유기박막트랜지스터의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014009094
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 차세대 플렉시블 디스플레이 등으로 응용이 가능한 유기박막트랜지스터(Organic thin-film transistor;OTFT)의 소자 안정성을 위한 유기보호박막 형성방법에 관한 것으로 유기보호막의 수분 차단 효과를 위한 표면 처리 및 이를 적용한 유기박막트랜지스터의 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 유기박막 트랜지스터 소자 상부에 유기보호막을 형성하는 단계 및 상기 유기보호막 상부 표면에 소수성 자기조립단분자막을 형성하는 단계를 포함하는 유기박막트랜지스터의 제조방법 및 이로부터 제조된 유기박막 트랜지스터를 제공한다.본 발명은 유기박막트랜지스터 (OTFT)의 어레이 (array) 소자응용을 위한 공정에서 필수적으로 적용이 되어야 되는 기술이며 유기보호막의 수분차단성 개선을 통한 궁극적인 소자 특성 저하의 방지 및 신뢰성을 확보할 수 있는 효과가 있다.유기보호막, 자기조립박막 (SAM), 수접촉각, 표면에너지, 폴리비닐알코올 (PVA), 불소 (Fluorene), 유기박막트랜지스터 (OTFT)
Int. CL H01L 29/786 (2006.01)
CPC H01L 51/107(2013.01) H01L 51/107(2013.01)
출원번호/일자 1020070057025 (2007.06.12)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0873997-0000 (2008.12.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20081217) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.12)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안택 대한민국 대전시 유성구
2 이미혜 대한민국 대전시 유성구
3 석혜정 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0423302-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.02.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0014277-34
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0267011-67
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.07.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0487280-89
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2008-0487274-15
9 등록결정서
Decision to grant
2008.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0607248-56
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유기박막 트랜지스터 소자 상부에 유기보호막을 형성하는 단계; 및상기 유기보호막 상부 표면에 소수성 자기조립단분자막을 형성하는 단계; 를 포함하는 유기박막트랜지스터의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 유기보호막은 히드록시기(-OH)를 가지는 1종 이상의 단량체로부터 제조된 수용성 고분자로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 수용성 고분자는 질량평균 분자량 5,000 ~ 1,000,000 이고, 물 또는 알코올류로부터 선택되는 극성용매에 대하여 질량 평균 1~50퍼센트의 용해도를 갖는 폴리비닐알코올 또는 폴리비닐알코올 공중합체인 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 유기보호막은 수용성고분자 수용액을 사용하여 스핀코팅, 잉크젯 프린팅, 롤코팅, 스크린 프린팅 또는 딥핑으로부터 선택되는 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터의 제조방법
5 5
제 2 항에 있어서,상기 유기 보호막은 두께가 30 내지 3000nm인 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 소수성 자기조립단분자막은 하기 화학식 1로부터 선택되는 화합물이 유기보호막 상에 결합하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터의 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 화학식 1에서 R은 불소원자로 치환되거나 치환되지 않은 C2~C50의 직쇄 또는 분지쇄 알킬기이며, X는 Cl, -OCH3 또는 -OCH2CH3로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터의 제조방법
8 8
제 6 항에 있어서,상기 소수성 자기조립단분자막은 100 nm 이하의 두께 및 70 dyne/cm 이하의 표면장력을 가지는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터의 제조방법
9 9
기판, 게이트 전극, 유기절연막, 유기활성층, 소스/드레인 전극 및 유기보호막을 포함하는 유기박막트랜지스터로서, 상기 유기보호막 표면에 소수성 자기조립단분자막이 형성된 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터
10 10
제 9 항에 있어서, 유기보호막은 히드록시기(-OH)를 가지는 1종 이상의 단량체로부터 제조된 수용성 고분자로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터
11 11
제 9 항에 있어서,소수성 자기조립단분자막은 하기 화학식 1로부터 선택되는 화합물이 유기보호막 상에 결합하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터
12 12
제 9 항에 있어서, 유기활성층은 펜타센, 테트라센(tetracene), 올리고 티오펜 (oligo thiophene), 폴리티오펜(polythiophene), 금속 프탈로시아닌, 폴리페닐렌 (polyphenylene), 폴리비닐렌페닐렌 (polyvinylenephenylene), 폴리플루오렌 (polyfluorene), C60, 플루오르화 프탈로시아닌 및 이들의 유도체로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터
13 13
제 12항에 있어서, 유기박막 트랜지스터의 전계이동도가 0
14 14
제 9 항 내지 제 12 항으로부터 선택되는 어느 한 항의 유기박막 트랜지스터를 구비하는 표시 소자
15 15
제 14항에 있어서,상기 표시소자는 유기발광디스플레이, 전자종이 또는 액정디스플레이로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터를 구비하는 표시 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 한국화학연구원 정밀화학기반기술개발사업 대화면고효율 액정표시소자용 기능성 화학소재 개발