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실리콘 기판 상부에 형성된 히터와; 상기 히터의 양측 상부를 노출시키고, 상기 히터를 감싸며 상기 실리콘 기판 상부에 형성된 절연막과; 상기 절연막 상부에 형성되고, 상기 노출된 히터 양측 상부 각각에 접촉되어 있는 히터 연결부들과 상기 히터 연결부들에 각각 연결되고 부채 형상으로 이루어져 있는 안테나 바디(Body)들로 구성되며, 상기 히터 연결부들이 상기 안테나 바디들로부터 돌출되어 있는 한 쌍의 안테나와; 상기 히터의 온도를 감지할 수 있는 온도센서를 포함하여 구성된 밀리미터파 감지 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 실리콘 기판 상부에는 멤브레인(Membrane)막이 더 형성되어 있고; 상기 히터와 절연막은 상기 멤브레인막 상부에 형성되어 있고; 상기 실리콘 기판의 중앙 영역은 식각되어 상기 실리콘 산화막이 부상되어 있는 것을 특징으로 하는 밀리미터파 감지 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 온도센서는, 상기 절연막 상부에 형성된 바나듐옥사이드(VOX)층과, 그 바나듐옥사이드층과 연결된 한 쌍의 전극패드로 구현하는 것을 특징으로 하는 밀리미터파 감지 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 온도센서는, 써머 커플(Thermo couple) 온도센서인 것을 특징으로 하는 밀리미터파 감지 센서
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 히터 연결부들의 일측변의 길이는 타측변의 길이보다 작고, 하나의 히터 연결부의 일측변의 길이는 상기 히터와 대각선상에 위치되는 히터 연결부의 타측변의 길이와 같은 것을 특징으로 하는 밀리미터파 감지 센서
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 히터와 연결되는 히터 연결부의 각도는, 상기 안테나 바디들(Body)의 각도보다 작은 것을 특징으로 하는 밀리미터파 감지 센서
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일면에서 타면으로 관통되는 혼(Horn) 형상의 관통홀이 형성되어 있고, 상기 타면에는 상기 관통홀과 연통되는 밀리미터파 감지 센서 칩의 삽입홈이 형성되어 있는 조립용 하우징과; 상기 조립용 하우징의 삽입홈에 삽입되어 고정되어 있는 반사판에 본딩되어 있는 밀리미터 감지 센서 칩으로 구성하되, 상기 밀리미터 감지 센서 칩은, 실리콘 기판 상부에 형성된 히터와; 상기 히터의 양측 상부를 노출시키고, 상기 히터를 감싸며 상기 실리콘 기판 상부에 형성된 절연막과; 상기 절연막 상부에 형성되고, 상기 노출된 히터 양측 상부 각각에 접촉되어 있는 히터 연결부들과 상기 히터 연결부들에 각각 연결되고 부채 형상으로 이루어져 있는 안테나 바디(Body)들로 구성되며, 상기 히터 연결부들이 상기 안테나 바디들로부터 돌출되어 있는 한 쌍의 안테나와; 상기 히터의 온도를 감지할 수 있는 온도센서를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 밀리미터파 감지 센서의 조립체
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일면에서 타면으로 관통되는 혼(Horn) 형상의 관통홀이 형성되어 있고, 상기 타면에는 상기 관통홀과 연통되는 밀리미터파 감지 센서 칩의 삽입홈이 형성되어 있는 조립용 하우징과; 상기 조립용 하우징의 삽입홈에 삽입되어 고정되어 있는 반사판에 본딩되어 있는 밀리미터 감지 센서 칩으로 구성하되, 상기 밀리미터 감지 센서 칩은, 실리콘 기판 상부에 형성된 히터와; 상기 히터의 양측 상부를 노출시키고, 상기 히터를 감싸며 상기 실리콘 기판 상부에 형성된 절연막과; 상기 절연막 상부에 형성되고, 상기 노출된 히터 양측 상부 각각에 접촉되어 있는 히터 연결부들과 상기 히터 연결부들에 각각 연결되고 부채 형상으로 이루어져 있는 안테나 바디(Body)들로 구성되며, 상기 히터 연결부들이 상기 안테나 바디들로부터 돌출되어 있는 한 쌍의 안테나와; 상기 히터의 온도를 감지할 수 있는 온도센서를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 밀리미터파 감지 센서의 조립체
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