요약 | 본 발명은, 렌즈 재료와는 이종 재료로 구성되는 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이 상에 렌즈 웨이퍼스케일 어레이가 직접 형성되어, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이와 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이가 일체화된 적어도 하나의 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이와, 상기 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이와 적층 결합되는 적어도 하나의 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이를 제공한다. 바람직하게는, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 액상 렌즈 재료의 유동에 대한 유동 저항이 위치에 따라 상이한 표면 상태를 갖는다. 또한, 본 발명은, 렌즈 재료와는 이종 재료로 구성되는 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이 상에 렌즈 웨이퍼스케일 어레이를 형성함으로써, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이와 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이가 일체화된 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이를 만드는 제1 단계와, 적어도 하나의 상기 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이와 적어도 하나의 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이를 적층 결합하는 제2 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법을 제공한다. |
---|---|
Int. CL | H01L 27/14 (2006.01) H01L 23/12 (2006.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020080003159 (2008.01.10) |
출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-0969987-0000 (2010.07.06) |
공개번호/일자 | 10-2009-0077305 (2009.07.15) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20100715) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.01.10) |
심사청구항수 | 33 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 강신일 | 대한민국 | 서울 동작구 |
2 | 임지석 | 대한민국 | 경기 성남시 분당구 |
3 | 최민석 | 대한민국 | 서울 마포구 |
4 | 김호관 | 대한민국 | 서울 서대문구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김선민 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도산대로**길 ** *층 (신사동, 여암빌딩)(특허법률사무소광야) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.01.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0022344-85 |
2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2008.01.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0009431-92 |
3 | [출원서등 보정]보정서(납부자번호) [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number) |
2008.01.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0043229-79 |
4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2008.09.08 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2008.10.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0068407-83 |
6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.10.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0442586-37 |
7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.12.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0807133-38 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0807136-75 |
9 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.04.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0146801-18 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 렌즈 재료와는 이종 재료로 구성되는 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이 상에 렌즈 웨이퍼스케일 어레이가 직접 형성되어, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이와 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이가 일체화된 적어도 하나의 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이와, 상기 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이와 적층 결합되는 적어도 하나의 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이를 포함하여 이루어지고, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는 관통홀 어레이를 구비하고, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이는 상기 관통홀 어레이에 형성되는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
2 |
2 제1 항에 있어서, 글라스 기판에 이미지센서 웨이퍼스케일 어레이가 패키징된 칩 온 글라스 형태의 이미지센서패키지 웨이퍼스케일 어레이가 추가적으로 적층 결합된 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
3 |
3 제1 항에 있어서, 실리콘 웨이퍼에 이미지센서 웨이퍼스케일 어레이가 패키징된 이미지센서패키지 웨이퍼스케일 어레이가 추가적으로 적층 결합된 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
4 |
4 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이의 경통구조물은 홀더, 배럴, 조리개, 비네팅구조물, 스탑 또는 스페이서이고, 상기 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이의 경통구조물은 홀더, 배럴, 조리개, 비네팅구조물, 스탑, 스페이서, IR 필터 또는 커버글라스인 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
5 |
5 삭제 |
6 |
6 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는 불투명한 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
7 |
7 제1항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 액상 렌즈 재료의 유동에 대한 유동 저항이 위치에 따라 상이한 표면 상태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
8 |
8 제7항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이로부터 원거리 위치보다, 상대적으로 근거리 위치에서 유동 저항이 더 작은 표면 상태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
9 |
9 제8항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이로부터 원거리 위치보다, 상대적으로 근거리 위치에서 높이가 더 높은 단차를 표면에 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
10 |
10 제9항에 있어서, 상기 단차는 계단 형태 또는 홈 형태로 주어지는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
11 |
11 제8항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 상대적으로 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이로부터 원거리 위치보다, 상대적으로 근거리 위치에서 거칠기가 더 큰 표면 상태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
12 |
12 제8항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이로부터 원거리 위치보다, 상대적으로 근거리 위치에서 표면 에너지가 더 큰 표면 상태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 |
13 |
13 렌즈 재료와는 이종 재료로 구성되는 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이 상에 렌즈 웨이퍼스케일 어레이를 형성함으로써, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이와 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이가 일체화된 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이를 만드는 제1 단계와, 적어도 하나의 상기 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이와 적어도 하나의 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이를 적층 결합하는 제2 단계를 포함하여 이루어지고, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는 관통홀 어레이를 구비하고, 상기 제1 단계에서, 상기 관통홀 어레이에 렌즈 재료를 정량 주입한 후 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이를 복제하는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
14 |
14 제13 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이의 경통구조물은 홀더, 배럴, 조리개, 비네팅구조물, 스탑 또는 스페이서이고, 상기 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이의 경통구조물은 홀더, 배럴, 조리개, 비네팅구조물, 스탑, 스페이서, IR 필터 또는 커버글라스인 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
15 |
15 제13 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는 열 가소성 수지를 사출 성형 또는 열압축 성형하여 제작된 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
16 |
16 제13 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는 실리콘 웨이퍼의 식각 공정을 통해 제작된 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
17 |
17 제13 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는 박판 기판을 펀칭하여 제작된 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
18 |
18 제13 항에 있어서, 상기 제1 단계에서, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이는, 열 중합성 수지를 가열 중합 성형하여 제작되는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
19 |
19 제13 항에 있어서, 상기 제1 단계에서, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이는, 광 중합성 수지를 노광 중합 성형하여 제작되는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
20 |
20 제13 항에 있어서, 상기 제1 단계에서, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이는, 열 가소성 수지를 열압축 성형하여 제작되는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
21 |
21 삭제 |
22 |
22 제13 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는 불투명한 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
23 |
23 제13 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는 고 내열성을 갖는 유리, 실리콘, 금속, 열 경화성 수지로 제작되고, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이는 광/열 중합 성형하여 제작되는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
24 |
24 제23 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이 및 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이는 성형 후 적어도 240℃의 내열 온도를 갖는 재료가 선택되는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
25 |
25 제13 항에 있어서, 상기 제1 단계에서는, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이 상에 액상 렌즈 재료를 공급한 후 성형하여 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이를 형성하고, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 액상 렌즈 재료의 유동에 대한 유동 저항이 위치에 따라 상이한 표면 상태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
26 |
26 제25 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이로부터 원거리 위치보다, 상대적으로 근거리 위치에서 유동 저항이 더 작은 표면 상태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
27 |
27 제26 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이부터 원거리 위치보다, 상대적으로 근거리 위치의 높이가 더 높은 단차를 표면에 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
28 |
28 제27항에 있어서, 상기 단차는 계단 형태 또는 홈 형태로 주어지는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
29 |
29 제26 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이로부터 원거리 위치보다, 상대적으로 근거리 위치에서 거칠기가 더 큰 표면 상태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
30 |
30 제26 항에 있어서, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이로부터 원거리 위치보다, 상대적으로 근거리 위치에서 표면 에너지가 더 큰 표면 상태를 갖는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
31 |
31 제13 항에 있어서, 상기 제2 단계에서는, 글라스 기판에 이미지센서 웨이퍼스케일 어레이가 패키징된 칩 온 글라스 형태의 이미지센서패키지 웨이퍼스케일 어레이를 상기 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이 및 상기 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이와 적층 결합하는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
32 |
32 제13 항에 있어서, 상기 제2 단계에서는, 실리콘 웨이퍼에 이미지센서 웨이퍼스케일 어레이가 패키징된 이미지센서패키지 웨이퍼스케일 어레이를 상기 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이 및 상기 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이와 적층 결합하는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법 |
33 |
33 제13 항 내지 제20항 및 제22항 내지 제30 항 중 어느 한 항의 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법에 의하여 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이를 제작하는 단계와, 상기 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이를 다이싱하여 개별 광학패키지를 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학패키지 제작방법 |
34 |
34 제33 항에 있어서, 얻어진 개별 광학패키지를 이미지센서가 실장된 인쇄회로기판 상에 직접 결합하는 단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 광학패키지 제작방법 |
35 |
35 제33 항에 있어서, 이미지센서가 실장된 인쇄회로기판 상에 홀더를 결합하고, 얻어진 개별 광학패키지를 배럴에 결합한 후 그 배럴을 상기 홀더에 결합하는 단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 광학패키지 제작방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | US08294229 | US | 미국 | FAMILY |
2 | US20100283113 | US | 미국 | FAMILY |
3 | WO2009088267 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
4 | WO2009088267 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | US2010283113 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
2 | US8294229 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
3 | WO2009088267 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
4 | WO2009088267 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-0969987-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20080110 출원 번호 : 1020080003159 공고 연월일 : 20100715 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100407 청구범위의 항수 : 33 유별 : H01L 27/14 발명의 명칭 : 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 666,000 원 | 2010년 07월 07일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 766,000 원 | 2013년 06월 17일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 766,000 원 | 2014년 06월 24일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 766,000 원 | 2015년 06월 26일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 1,354,000 원 | 2016년 07월 04일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 947,800 원 | 2017년 07월 03일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 677,000 원 | 2018년 06월 27일 | 납입 |
제 10 년분 | 금 액 | 1,058,320 원 | 2019년 07월 22일 | 납입 |
제 11 년분 | 금 액 | 1,089,150 원 | 2020년 08월 11일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.01.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0022344-85 |
2 | 보정요구서 | 2008.01.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0009431-92 |
3 | [출원서등 보정]보정서(납부자번호) | 2008.01.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0043229-79 |
4 | 선행기술조사의뢰서 | 2008.09.08 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
5 | 선행기술조사보고서 | 2008.10.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0068407-83 |
6 | 의견제출통지서 | 2009.10.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0442586-37 |
7 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.12.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0807133-38 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0807136-75 |
9 | 등록결정서 | 2010.04.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0146801-18 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
기술번호 | KST2014009516 |
---|---|
자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 연세대학교 |
기술명 | 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 및 그 제조방법 |
기술개요 |
본 발명은, 렌즈 재료와는 이종 재료로 구성되는 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이 상에 렌즈 웨이퍼스케일 어레이가 직접 형성되어, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이와 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이가 일체화된 적어도 하나의 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이와, 상기 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이와 적층 결합되는 적어도 하나의 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이를 제공한다. 바람직하게는, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이는, 액상 렌즈 재료의 유동에 대한 유동 저항이 위치에 따라 상이한 표면 상태를 갖는다. 또한, 본 발명은, 렌즈 재료와는 이종 재료로 구성되는 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이 상에 렌즈 웨이퍼스케일 어레이를 형성함으로써, 상기 제1 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이와 상기 렌즈 웨이퍼스케일 어레이가 일체화된 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이를 만드는 제1 단계와, 적어도 하나의 상기 렌즈구조물 웨이퍼스케일 어레이와 적어도 하나의 제2 경통구조물 웨이퍼스케일 어레이를 적층 결합하는 제2 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 제작방법을 제공한다. |
개발상태 | 아이디어창안 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 렌즈모듈 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 기술매매,라이센스,기술협력, |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1355047992 |
---|---|
세부과제번호 | R0A-2004-000-10368-0 |
연구과제명 | 나노몰드및고분자나노복제기술의나노광전자소자응용 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 연세대학교 |
성과제출연도 | 2007 |
연구기간 | 200407~200907 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1350006096 |
---|---|
세부과제번호 | 2004-02492 |
연구과제명 | 나노몰드및고분자나노복제기술의나노광전자소자응용 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 연세대학교 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200407~200707 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
[1020090011280] | 나노 구조물 제작방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020080072015] | 다중위상신호 생성기 및 지연 값 제어신호 생성방법 | 새창보기 |
[1020080023884] | 웨이퍼 스케일 렌즈 어레이 성형장치 및 제조방법 | 새창보기 |
[1020080015649] | 광학 리소그래피 장치 및 광학 리소그래피 장치에 사용되는광학 헤드 제조방법 | 새창보기 |
[1020080003159] | 광학패키지 웨이퍼스케일 어레이 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020070135607] | 자성 패턴 형성 방법 및 자성 패턴 형성을 통한 패턴드 미디어 제조방법 | 새창보기 |
[1020070017733] | 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020060026651] | 프레넬 렌즈 및 이를 이용한 LED 조명 장치 | 새창보기 |
[1020057012282] | 마이크로 발열기구를 구비하는 마이크로 패턴 구조물성형용 금형구조 및 이에 사용되는 마이크로 패턴 구조물성형용 몰드인서트의 제작 방법 | 새창보기 |
[1020050050710] | 병렬 광 프로브 광학 시스템 | 새창보기 |
[KST2019014877][연세대학교] | 이미지 센서 내장형 디스플레이 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2015125906][연세대학교] | 3차원 구조의 화합물 반도체 적층형 이미지센서용 포토다이오드 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014040350][연세대학교] | 입체소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2019034195][연세대학교] | 산화물 반도체 박막 포토 트랜지스터 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015127709][연세대학교] | 마찰전기 에너지 수확 소자 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015127746][연세대학교] | 3차원 구조의 다결정 화합물 반도체 이미지센서용 포토다이오드 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2016008164][연세대학교] | 반사방지층을 갖는 이미지 센서 및 그 제조 방법(Image sensor having anti-reflection layer and fabricating method thereof) | 새창보기 |
[KST2015125943][연세대학교] | 광 검출소자 및 그것의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014067204][연세대학교] | 배열 광원 검출 장치, 시스템 및 방법 | 새창보기 |
[KST2015125600][연세대학교] | 통신 모듈 | 새창보기 |
[KST2015127790][연세대학교] | 이미지 센서 및 이를 포함하는 이미지 처리 시스템 | 새창보기 |
[KST2019018077][연세대학교] | 질량 분석 장치, 질량 분석 방법 및 반도체 웨이퍼의 분석 방법 | 새창보기 |
[KST2019020527][연세대학교] | 압력 구동식 발광 소자 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015124912][연세대학교] | 3차원 구조의 적층 이미지센서 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2019017198][연세대학교] | 광자 결정을 이용하는 이미지 소자, 이의 기록 방법 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|