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매핑용 타원해석기

  • 기술번호 : KST2014009955
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 매핑용 타원해석기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 매핑용 타원해석기는 시편을 향하여 편광된 광을 조사하는 편광조사유닛과, 편광조사유닛이 수용되는 수용부와, 외부로부터 공급된 질소가스 및 불활성가스 중 적어도 하나의 가스가 수용부로 유입되도록 관통 형성되는 유입공과, 수용부로 유입된 가스가 외부로 유출되도록 관통 형성되는 유출공을 가지는 편광조사챔버와, 시편에서 반사된 광이 입사되며, 이 반사광을 분석하여 신호를 출력하는 편광분석유닛과, 편광분석유닛이 수용되는 수용부와, 외부로부터 공급된 질소가스 및 불활성가스 중 적어도 하나의 가스가 수용부로 유입되도록 관통 형성되는 유입공과, 수용부로 유입된 가스가 외부로 유출되도록 관통 형성되는 유출공을 가지는 편광분석챔버와, 편광조사챔버와 편광분석챔버 사이에 배치되며, 시편으로 입사되는 광의 입사경로의 일부 및 시편에 반사된 후 편광분석유닛으로 진행되는 광의 반사경로의 일부가 포함되는 공간부와, 외부로부터 공급된 질소가스 및 불활성가스 중 적어도 하나의 가스가 공간부로 유입되도록 관통 형성되는 유입구와, 공간부로 유입된 가스가 외부로 유출되도록 관통 형성되는 유출구를 가지는 퍼지챔버를 포함한다. 편광조사유닛, 편광분석유닛, 편광, 퍼지챔버, 매핑, 타원해석기
Int. CL G01J 4/00 (2006.01.01) G01N 21/21 (2006.01.01)
CPC G01J 4/00(2013.01) G01J 4/00(2013.01) G01J 4/00(2013.01)
출원번호/일자 1020080018409 (2008.02.28)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0946596-0000 (2010.03.03)
공개번호/일자 10-2009-0093080 (2009.09.02) 문서열기
공고번호/일자 (20100309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.28)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기 안산시 상록구
2 이상육 대한민국 경북 경주시
3 오혜근 대한민국 서울 영등포구
4 신동수 대한민국 경기 안산시 단원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0148168-66
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2009-0034940-01
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0476448-86
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0039106-71
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0039145-41
8 등록결정서
Decision to grant		 2010.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0082455-34
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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시편의 광학적 성질 및 상기 시편의 두께 중 적어도 하나를 측정하기 위한 것으로, 상기 시편을 향하여 편광된 광을 조사하는 편광조사유닛; 상기 편광조사유닛이 수용되는 수용부와, 외부로부터 공급된 질소가스 및 불활성가스 중 적어도 하나의 가스가 상기 수용부로 유입되도록 관통 형성되는 유입공과, 상기 수용부로 유입된 가스가 외부로 유출되도록 관통 형성되는 유출공을 가지는 편광조사챔버; 상기 편광조사유닛에서 조사된 후 상기 시편에서 반사된 광이 입사되며, 상기 입사된 반사광을 분석하여 이에 대응되는 신호를 출력하는 편광분석유닛; 상기 편광분석유닛이 수용되는 수용부와, 외부로부터 공급된 질소가스 및 불활성가스 중 적어도 하나의 가스가 상기 수용부로 유입되도록 관통 형성되는 유입공과, 상기 수용부로 유입된 가스가 외부로 유출되도록 관통 형성되는 유출공을 가지는 편광분석챔버; 및 상기 편광조사챔버와 상기 편광분석챔버 사이에 배치되며, 상기 편광조사유닛에서 조사되어 상기 시편으로 입사되는 광의 입사경로의 일부 및 상기 시편에 반사된 후 상기 편광분석유닛으로 진행되는 광의 반사경로의 일부가 포함되는 공간부와, 외부로부터 공급된 질소가스 및 불활성가스 중 적어도 하나의 가스가 상기 공간부로 유입되도록 관통 형성되는 유입구와, 상기 공간부와 연통되며 상기 공간부로 유입된 가스가 외부로 유출되도록 관통 형성되는 유출구를 가지는 퍼지챔버;를 포함하며, 상기 광의 입사경로 및 반사경로 중 상기 시편과 상기 퍼지챔버 사이에 형성되는 경로가 상기 퍼지챔버의 유출구로부터 유출되는 가스 분위기에 노출되도록, 상기 퍼지챔버는 하단부가 개구된 반구형상으로 이루어져며, 상기 반구형상의 곡률 중심은 상기 유입구의 하방에 배치되는 것을 특징으로 하는 매핑용 타원해석기
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 편광조사챔버의 유출공은, 상기 광의 입사경로 중 상기 퍼지챔버와 상기 편광조사챔버 사이에 형성되는 경로가 상기 편광조사챔버의 유출공으로부터 유출되는 가스 분위기에 노출되도록 형성되며, 상기 편광분석챔버의 유출공은, 상기 광의 반사경로 중 상기 퍼지챔버와 상기 편광분석챔버 사이에 형성되는 경로가 상기 편광분석챔버의 유출공으로부터 유출되는 가스 분위기에 노출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 매핑용 타원해석기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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