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시편이 장착되는 스테이지의 상방에 배치되며, 입사된 광을 진동방향이 서로 수직인 두 개의 편광으로 분리하는 편광발생기;
상기 편광발생기를 향하여 제1광을 조사하되, 상기 편광발생기를 투과하면서 분리되는 두 개의 편광 중 상기 편광발생기를 직진하여 투과하는 제1편광이 상기 시편에 조사되도록 상기 제1광을 조사하는 제1광원;
상기 편광발생기를 향하여 제2광을 조사하되, 상기 편광발생기를 투과하면서 분리되는 두 개의 편광 중 상기 편광발생기를 굴절하면서 투과하는 제2편광이 상기 제1편광과 동일한 방향으로 진행하여 상기 시편에 조사되도록 상기 제2광을 조사하는 제2광원;
상기 시편에서 반사되면서 편광상태가 변화된 제1편광 및 제2편광이 입사되며, 상기 입사된 제1편광 및 제2편광을 진동방향이 서로 수직인 두 개의 편광으로 분리하는 편광분석기;
상기 편광분석기에서 분리된 편광이 입사되며, 상기 입사된 편광을 파장 별로 분광시키는 분광부; 및
상기 분광부에서 파장 별로 분광된 편광의 광량을 측정하는 다중채널 검출부;를 포함하는 하는 다중채널 분광타원해석기
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제1항에 있어서,
상기 분광부는,
상기 편광분석기에서 분리된 두 개의 편광 중 상기 편광분석기를 직진하여 투과하는 편광이 입사되며, 상기 입사된 편광을 파장 별로 분광시키는 제1분광기; 및
상기 편광분석기에서 분리된 두 개의 편광 중 상기 편광분석기를 굴절하면서 투과하는 편광이 입사되며, 상기 입사된 편광을 파장 별로 분광시키는 제2분광기;를 포함하며,
상기 다중채널 검출부는,
상기 제1분광기에서 파장 별로 분광된 편광의 광량을 측정하는 제1다중채널 검출기; 및
상기 제2분광기에서 파장 별로 분광된 편광의 광량을 측정하는 제2다중채널 검출기;를 포함하는 다중채널 분광타원해석기
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제1항에 있어서,
상기 제1광 및 상기 제2광의 진행방향 상 상기 편광발생기와 상기 편광분석기 사이에 회전가능하게 배치되며, 입사된 광의 편광상태를 변화시키는 보상기;를 더 포함하는 다중채널 분광타원해석기
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제1항에 있어서,
상기 편광발생기에는, 상기 제1광이 수직으로 입사되는 제1입사면과, 상기 제2광이 수직으로 입사되는 제2입사면이 형성되어 있으며,
상기 편광분석기에는, 상기 편광분석기에서 분리된 두 개의 편광 중 상기 편광분석기를 직진하여 투과하는 편광과 직교하는 제1투과면과, 상기 편광분석기에서 분리된 두 개의 편광 중 상기 편광분석기를 굴절하면서 투과하는 편광과 직교하는 제2투과면이 형성되어 있는 다중채널 분광타원해석기
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제1항에 있어서,
상기 제1광원과 상기 제2광원은 조사되는 광의 파장 영역이 서로 상이한 다중채널 분광타원해석기
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