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몰드기판을 준비하는 몰드기판준비단계와,
상기 몰드기판의 일면에 일정한 형상의 폴리머박막층과 금속박막층이 각각 적어도 1단 이상 형성된 전사틀을 형성하기 위한 전사틀형성단계와,
폴리머기판을 준비하는 폴리머기판준비단계와,
상기 폴리머기판을 폴리머 유리전이 온도 이상으로 가열하는 가열단계와,
상기 전사틀의 금속층이 상기 폴리머기판에 함입되도록 상기 전사틀을 상기 폴리머기판에 압입하는 압입단계와,
상기 전사틀과 상기 폴리머기판을 동시에 급속 냉각시키기 위한 급속냉각단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속패턴이 함입된 폴리머기판 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 전사틀형성단계는
폴리머박막층을 형성하기 위한 폴리머 도포단계와,
금속박막층을 형성하기 위한 금속층 증착단계와,
감광성막층으로 형성하기 위한 감광성막 도포단계와,
자외선을 상기 감광성막층에 선택적으로 노광시켜서 상기 감광성막을 상기의 일정한 형상으로 형성하기 위한 감광성막 성형단계와,
건식 플라즈마 식각공정을 이용하여 상기 금속박막층을 상기의 일정한 형상으로 형성하기 위한 금속박막층 성형단계와,
상기 몰드기판의 일면에서 순차적으로 폴리머박막층과 금속박막층과 감광성막층을 형성하는 것을 특징으로 하는 금속패턴이 함입된 폴리머기판 제조방법
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제2항에 있어서,
상기 전사틀형성단계는 상기 폴리머박막층을 상기의 일정한 형상으로 형성하기 위한 플라즈마 앳싱단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속패턴이 함입된 폴리머기판 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 전사틀형성단계는
폴리머박막층을 형성하기 위한 폴리머 도포단계와,
상기의 일정한 형상이 형성된 쉐도우마스크로 금속입자를 증착하여 상기 일정한 형상의 금속박막층을 형성하는 금속층 증착단계를 포함하며,
상기 몰드기판의 일면에 상기 폴리머박막층과 금속박막층을 순차적으로 형성하는 것을 특징으로 하는 금속패턴이 함입된 폴리머기판 제조방법
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제4항에 있어서,
상기 전사틀형성단계는 상기 폴리머박막을 상기의 일정한 형상으로 형성하기 위한 플라즈마 앳싱단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속패턴이 함입된 폴리머기판 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 압입단계는 상기 전사틀을 상기 폴리머기판의 일면에 압입하는 것을 특징으로 하는 금속패턴이 함입된 폴리머기판 제조방법
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제6항에 있어서,
상기 전사틀형성단계는 상기 폴리머박막층의 두께가 상이한 제1전사틀 및 제2전사틀을 형성하며,
상기 압입단계는 두께가 상대적으로 두꺼운 상기 제1전사틀을 상기 폴리머기판의 일면에 압입하며,
상기 급속냉각단계 후 상기 폴리머기판을 유리전이 온도 이상으로 재가열하는 재가열단계와,
상기 제2전사틀을 상기 폴리머기판의 일면에 압입하는 재압입단계와,
상기 제2전사틀과 상기 폴리머기판을 동시에 급속 냉각시키기 위한 재급속냉각단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속패턴이 함입된 폴리머기판제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 압입단계는 상기 전사틀을 상기 폴리머기판의 양면에 압입하는 것을 특징으로 하는 금속패턴이 함입된 폴리머기판 제조방법
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