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나노입자빔을 이용한 박막증착 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2014011871
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노입자빔을 이용한 박막증착 방법 및 장치에 대해 개시한다. 본 발명의 가장 큰 특징은, 박막의 구성요소를 이루는 나노가루를 플라즈마 가스에 혼합하여 대전시킨 후 전압을 가하여 가속된 나노입자빔을 기판에 증착하여 박막을 만든다는 것이다. 본 발명에 따르면, 성분비 조절이 매우 쉽고, 화학반응이 따로 필요 없으므로 복잡한 성분비를 갖는 박막을 쉽게 제작할 수 있다. 나노입자, 나노가루, 플라즈마, 대전, 가속, 박막, 증착, Ar, 그리드
Int. CL H01L 21/20 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/02 (2011.01) H01L 21/203 (2011.01)
CPC H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01)
출원번호/일자 1020070055508 (2007.06.07)
출원인 한국과학기술원, 한국전기연구원
등록번호/일자 10-0856545-0000 (2008.08.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080904) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.07)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염도준 대한민국 대전광역시 유성구
2 유재은 대한민국 대전 유성구
3 이상무 대한민국 대전 유성구
4 정예현 대한민국 대전 유성구
5 이재영 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0413505-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.02.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.03.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0011963-22
4 [출원인지분변경]권리관계변경신고서
[Applicant Share Change] Report on Change of Proprietary Status		 2008.03.14 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2008-5013573-51
5 서류반려이유안내서
Notice of Reason for Return of Document		 2008.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0041010-24
6 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document		 2008.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0204756-06
7 서류반려안내서
Notification for Return of Document		 2008.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0042591-07
8 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2008.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2008-5018044-82
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0220242-62
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2008-0453330-33
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.06.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0453340-90
12 등록결정서
Decision to grant		 2008.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0435412-14
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막의 구성요소를 이루는 나노가루를 나노입자로 만들어 대전시키는 단계와;상기 대전된 나노입자에 전기장을 가하여 가속된 나노입자빔으로 바꾸는 단계와;상기 가속된 나노입자빔을 기판에 충돌시켜 박막의 구성요소가 되게 하는 단계;를 구비하는 박막 증착방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 나노가루를 나노입자로 만들어 대전시키는 단계가, 상기 나노가루를 비활성기체와 혼합한 상태에서 플라즈마를 발생시키는 단계인 것을 특징으로 하는 박막 증착방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 비활성기체가 Ar기체, He기체, Ne기체 및 Xe기체로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 박막 증착방법
4 4
삭제
5 5
박막의 구성요소를 이루는 나노가루를 비활성 기체와 혼합하여 공급하기 위한 나노가루 공급부와;상기 나노가루를 비활성 기체와 혼합물을 공급받고, 상기 비활성 기체의 플라즈마를 발생시킴으로써 상기 나노가루를 대전된 나노입자로 만드는 플라즈마 챔버와;상기 플라즈마 챔버에 비활성 기체를 별도로 공급하기 위한 비활성 기체 공급관과;상기 대전된 나노입자에 전기장을 가하여 가속된 나노 입자빔으로 만들어 주도록 상기 플라즈마 챔버에 설치된 음극판과 양극 그리드와;상기 나노 입자빔을 충돌시켜 박막의 구성요소를 이루도록 하는 기판이 위치하는 메인 챔버;를 구비하는 박막증착 장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 나노가루 공급부와 상기 플라즈마 챔버 사이에 상기 나노가루를 더 작은 크기의 입자로 만들기 위해, 상기 나노가루를 비활성 기체와 혼합물이 거치는 나노가루 도입 유리관과, 상기 나노가루 도입 유리관 내에 인덕션 플라즈마를 발생시키기 위한 인덕션 플라즈마 발생기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막증착 장치
7 7
제5항에 있어서, 상기 플라즈마 챔버를 더 큰 용기로 둘러쌈으로써 이중 용기 구조를 이루며, 상기 더 큰 용기에 차동 펌핑을 행하기 위한 펌프를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막증착 장치
8 8
제5항에 있어서, 상기 양극 그리드가 상기 음극판에서 먼 것과 가까운 것의 2개로 구성되되, 상기 음극판에 가까운 것보다 상기 음극판에서 먼 것에 더 높은 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 박막증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.