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저결함 단결정 성장 방법 및 그 장치
- 기술번호 : KST2014012569
- 담당센터 : 부산기술혁신센터
- 전화번호 : 051-606-6561
| 요약 | 본 발명에 따른 단결정 성장 방법은 승화법을 이용한 탄화규소 단결정 성장시 구경의 확대에 관한 것으로 구경확대에 필요한 공정 시간을 단축하고, micropipe 결함을 효과적으로 억제할 수 있는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.이를 위해 본 발명에서는 복수개의 종자정을 접합할 수 있는 접합면과 각각의 접합면 사이는 특정한 형태의 홈으로 구성된 종자정 지지부를 구성하는 단계; 동일한 성장면을 갖는 종자정을 측면의 결정방향이 등가면을 갖도록 특정한 형태로 가공하는 단계; 종자정 지지부에 복수의 종자정을 접합하는 단계; 도가니에 탄화규소 원료를 공급하는 단계; 충진된 탄화규소 원료와 마주보는 면에 종자정 지지부를 위치시키는 단계; 및 이들을 가열하여 종자정에서 탄화규소 단결정을 성장시켜 복수의 탄화규소 단결정이 하나의 단결정으로 성장시키는 단계를 포함하여 구성된다.저결함 단결정, 성장, 종자정, 탄화규소, 탄화규소원료, 흑연도가니, 승화법, 밴드갭, 등가면, 종자정지지부, 접합면 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/20 (2006.01) |
| CPC | H01L 21/02598(2013.01) H01L 21/02598(2013.01) H01L 21/02598(2013.01) H01L 21/02598(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020060067415 (2006.07.19) |
| 출원인 | 한국전기연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0766917-0000 (2007.10.08) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20071017) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.07.19) |
| 심사청구항수 | 26 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국전기연구원 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 방욱 | 대한민국 | 경남 창원시 |
| 2 | 김상철 | 대한민국 | 경남 창원시 |
| 3 | 강인호 | 대한민국 | 경남 진주시 |
| 4 | 김형우 | 대한민국 | 경남 창원시 가 |
| 5 | 김남균 | 대한민국 | 경남 창원시 |
| 6 | 서길수 | 대한민국 | 경남 창원시 |
| 7 | 김기현 | 대한민국 | 경남 창원시 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주종호 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국전기연구원 | 대한민국 | 경상남도 창원시 성산구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2006.07.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0513252-97 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2007.03.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2007.04.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0019717-59 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2007.04.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0220206-94 |
| 5 | 의견서 Written Opinion |
2007.06.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0415982-66 |
| 6 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2007.06.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0415981-10 |
| 7 | 등록결정서 Decision to grant |
2007.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0477947-56 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.11.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5220117-37 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.11.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5207456-63 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006987-25 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 a) 복수의 탄화규소 종자정을 동일한 성장면을 갖고 측면이 결정학적 등가면이 되도록 특정형태로 가공하는 단계;b) 상기 복수의 종자정을 접합시킬수 있도록 종자정의 형태와 동일한 특정형태의 접합면을 가지며, 각각의 접합면 사이에는 특정각도로 가공된 홈을 갖는 종자정 지지부를 구성하는 단계;c) 상기 구성된 종자정 지지부에 상기 가공된 복수의 종자정을 접합시키는 단계;d) 탄화규소 원료가 채워진 도가니의 상단부에 상기 구성된 종자정이 접합된 종자정 지지부를 위치시키는 단계;e) 상기 원료 및 종자정이 장착된 도가니를 가열하여 종자정이 접합면과 수직한 방향으로 성장하는 동시에 측면 방향으로도 성장하며, 이때 복수의 종자정 사이에 형성된 홈에서는 다결정 형태의 탄화규소 결정이 성장하는 단계;f) 복수의 종자정 사이에 형성된 홈에서 성장된 다결정 형태의 탄화규소 결정이 종자정의 측면 성장을 도와 복수의 종자정들이 접합되는 단계;및 g) 상호 측면성장으로 접합된 종자정들이 하나의 단결정처럼 성장하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 복수의 단결정 종자정은,결정구조가 육방정이며, c축에 수직한 면을 성장면으로 갖고 측면이 결정학적 등가면인 1120면이 되도록 육각형 형태를 갖는 경우 및 종자정 접합면의 돌출부가 육각형 형태로 가공됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서, 복수의 단결정 종자정은,결정구조가 육방정이며, c축에 수직한 면을 성장면으로 갖고 측면이 결정학적 등가면인 1120면이 되도록 삼각형 형태를 갖는 경우 및 종자정 접합면의 돌출부가 삼각형 형태로 가공됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 4 |
4 제 1항에 있어서, 복수의 단결정 종자정은,결정구조가 육방정이며, c축에 수직한 면을 성장면으로 갖고 측면이 결정학적 등가면인 1100면과 1120면이 되도록 사각형 형태를 갖는 경우 및 종자정 접합면의 돌출부가 사각형 형태로 가공됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 5 |
5 제 1항에 있어서, 복수의 단결정 종자정을 부착하는 종자정 지지부에 형성시킨 홈은 삼각형 형태임을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 6 |
6 제 5항에 있어서, 삼각형 형태의 홈은,종자정의 수평방향에 대해 10°~80°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 7 |
7 제 5항에 있어서, 삼각형 형태의 홈은,종자정의 수평방향에 대해 30°~60°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 8 |
8 제 1항에 있어서, 복수의 단결정 종자정을 부착하는 종자정 지지부에 형성시킨 홈의 측면이 오목한 형태를 갖음을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 9 |
9 제 8항에 있어서, 홈 측면 끝점을 이은 선의 기울기가 종자정의 수평방향에 대해 10°~80°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 10 |
10 제 8항에 있어서, 홈 측면 끝점을 이은 선의 기울기가 종자정의 수평방향에 대해 30°~60°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 11 |
11 제 1항에 있어서, 복수의 단결정 종자정을 부착하는 종자정 지지부에 형성시킨 홈의 측면이 볼록한 형태를 갖음을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 12 |
12 제 11항에 있어서, 홈 측면 끝점을 이은 선의 기울기가 종자정의 수평방향에 대해 10°~80°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 13 |
13 제 11항에 있어서, 홈 측면 끝점을 이은 선의 기울기가 종자정의 수평방향에 대해 30°~60°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 14 |
14 탄화규소 원료가 재워지는 도가니; 및 상기 도가니의 상단부에 위치하며, 동일한 성장면을 갖고 측면이 결정학적 등가면이 되도록 특정형태로 가공된 복수의 탄화규소 종자정을 접합시킬수 있도록 상기 종자정의 형태와 동일한 형태로 형성된 다수의 접합면, 및 상기 다수의 접합면 사이에는 특정각도로 가공된 다수의 홈을 구비하는 종자정 지지부를 포함하고,상기 종자정 및 상기 탄화규소 원료의 가열에 의해 상기 종자정이 상기 접합면과 수직한 방향으로 성장하는 동시에 측면 방향으로도 성장하며, 상기 다수의 홈에서는 상기 다결정 형태의 탄화규소 결정이 성장되어, 상기 종자정의 측면 성장을 도와 복수의 종자정들이 접합되도록 함으로써 하나의 단결정으로 성장시키는 것을 특징으로 하는 저결함 단결정 성장 장치 |
| 15 |
15 a) 복수의 Lely법으로 성장시킨 micropipe가 없는 탄화규소 육방정 종자정을 c축에 수직한 0001면을 성장면으로 하고 측면이 결정학적 등가면인 1120면이 되도록 육각형 형태로 가공하는 단계;b) 상기 복수의 종자정을 접합시킬수 있도록 육각형의 접합면을 가지며, 각각의 접합면 사이에는 특정각도로 가공된 홈을 갖는 종자정 지지부를 구성하는 단계;c) 상기 구성된 종자정 지지부에 상기 가공된 복수의 종자정을 접합시키는 단계;d) 탄화규소 원료가 채워진 도가니의 상단부에 상기 구성된 종자정이 접합된 종자정 지지부를 위치시키는 단계;e) 상기 원료 및 종자정이 장착된 도가니를 가열하여 종자정이 접합면과 수직한 방향으로 성장하는 동시에 측면 방향으로도 성장하며, 이때 복수의 종자정 사이에 형성된 홈에서는 다결정 형태의 탄화규소 결정이 성장하는 단계;f) 복수의 종자정 사이에 형성된 홈에서 성장된 다결정 형태의 탄화규소 결정이 종자정의 측면 성장을 도와 복수의 종자정들이 접합되는 단계;및 g) 상호 측면성장으로 접합된 종자정들이 하나의 단결정처럼 성장하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 16 |
16 제 15항에 있어서, 복수의 단결정 종자정을 부착하는 종자정 지지부에 형성시킨 홈은 삼각형 형태임을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 17 |
17 제 16항에 있어서, 삼각형 형태의 홈은 종자정의 수평방향에 대해 10°~80°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 18 |
18 제 16항에 있어서, 삼각형 형태의 홈은 종자정의 수평방향에 대해 30°~60°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 19 |
19 제 15항에 있어서, 복수의 단결정 종자정을 부착하는 종자정 지지부에 형성시킨 홈의 측면이 오목한 형태를 갖음을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 20 |
20 제 19항에 있어서, 홈 측면 끝점을 이은 선의 기울기가 종자정의 수평방향에 대해 10°~80°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 21 |
21 제 19항에 있어서, 홈 측면 끝점을 이은 선의 기울기가 종자정의 수평방향에 대해 30°~60°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 22 |
22 제 15항에 있어서, 복수의 단결정 종자정을 부착하는 종자정 지지부에 형성시킨 홈의 측면이 볼록한 형태를 갖음을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 23 |
23 제 22항에 있어서, 홈 측면 끝점을 이은 선의 기울기가 종자정의 수평방향에 대해 10°~80°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 24 |
24 제 22항에 있어서, 홈 측면 끝점을 이은 선의 기울기가 종자정의 수평방향에 대해 30°~60°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 방법 |
| 25 |
25 삭제 |
| 26 |
26 제14 항에 있어서, 상기 홈은 삼각형 형태임을 특징으로 하는 단결정 성장 장치 |
| 27 |
27 제 26항에 있어서, 상기 삼각형 형태의 홈은, 상기 종자정의 수평방향에 대해 10°~80°의 각도로 형성됨을 특징으로 하는 단결정 성장 장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
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- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0766917-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20060719 출원 번호 : 1020060067415 공고 연월일 : 20071017 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20070831 청구범위의 항수 : 26 유별 : H01L 21/20 발명의 명칭 : 저결함 단결정 성장 방법 및 그 장치 존속기간(예정)만료일 : 20151009 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 742,500 원 | 2007년 10월 09일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 612,000 원 | 2010년 10월 04일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 612,000 원 | 2011년 10월 06일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 612,000 원 | 2012년 10월 09일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 1,088,000 원 | 2013년 10월 10일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 1,088,000 원 | 2014년 10월 10일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2006.07.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0513252-97 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2007.03.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2007.04.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0019717-59 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2007.04.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0220206-94 |
| 5 | 의견서 | 2007.06.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0415982-66 |
| 6 | 명세서등보정서 | 2007.06.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0415981-10 |
| 7 | 등록결정서 | 2007.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0477947-56 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.11.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5220117-37 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.11.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5207456-63 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006987-25 |
| 기술번호 | KST2014012569 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국전기연구원 |
| 기술명 | 저결함 단결정 성장 방법 및 그 장치 |
| 기술개요 |
본 발명에 따른 단결정 성장 방법은 승화법을 이용한 탄화규소 단결정 성장시 구경의 확대에 관한 것으로 구경확대에 필요한 공정 시간을 단축하고, micropipe 결함을 효과적으로 억제할 수 있는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.이를 위해 본 발명에서는 복수개의 종자정을 접합할 수 있는 접합면과 각각의 접합면 사이는 특정한 형태의 홈으로 구성된 종자정 지지부를 구성하는 단계; 동일한 성장면을 갖는 종자정을 측면의 결정방향이 등가면을 갖도록 특정한 형태로 가공하는 단계; 종자정 지지부에 복수의 종자정을 접합하는 단계; 도가니에 탄화규소 원료를 공급하는 단계; 충진된 탄화규소 원료와 마주보는 면에 종자정 지지부를 위치시키는 단계; 및 이들을 가열하여 종자정에서 탄화규소 단결정을 성장시켜 복수의 탄화규소 단결정이 하나의 단결정으로 성장시키는 단계를 포함하여 구성된다.저결함 단결정, 성장, 종자정, 탄화규소, 탄화규소원료, 흑연도가니, 승화법, 밴드갭, 등가면, 종자정지지부, 접합면 |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 마이크로 파이프 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1350010512 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 06-01-N0801-50 |
| 연구과제명 | 나노소재및디바이스기술개발사업 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 한국전기연구원 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200601~200612 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1350010512 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 06-01-N0801-50 |
| 연구과제명 | 나노소재및디바이스기술개발사업 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 한국전기연구원 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200601~200612 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
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