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레이저 증착 시스템에 있어서,진공챔버 측면에 형성되어 플룸(plume)의 형상을 실시간으로 촬영하는 촬영부와;상기 촬영부에서 촬영된 플룸(plume)의 영상을 실시간으로 모니터링하여 화면에 표출하는 디스플레이부와;상기 디스플레이부에 나타난 플룸의 영상을 기 입력된 표준 플룸 형상과 비교하여 증착조건의 적합여부를 판단하는 중앙제어부; 그리고증착조건 이상 시 증착조건보정신호를 외부에 표출하여 증착조건의 보정이 실행되도록 하는 출력부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플룸 형상 제어 레이저 증착 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 촬영부는,CCD카메라로 형성되는 것을 특징으로 하는 플름 형상 제어 레이저 증착 시스템
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제 2항에 있어서, 상기 촬영부는,플룸을 중심으로 90도를 이루도록 두개가 형성되는 것을 특징으로 하는 플룸 형상 제어 레이저 증착 시스템
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제 2항에 있어서, 상기 플룸 형상 제어 레이저 증착 시스템은,상기 진공챔버 내의 상기 촬영부 전측에 셔터(shutter)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 플룸 형상 제어 레이저 증착 시스템
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제 1항 내지 제 4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 중앙제어부는,플룸의 모양과 색채의 비교에 의한 증착조건의 적합여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 플룸 형상 제어 레이저 증착 시스템
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제 5항에 있어서, 상기 출력부는,레이저의 출력, 조리개의 크기 조절 및 위치, 미러의 각도 및 위치, 가스분압, 렌즈의 초점거리, 타겟과 기판사이의 거리, 기판 온도 중에서 하나 이상의 증착조건보정신호가 표출되는 것을 특징으로 하는 플룸 형상 제어 레이저 증착 시스템
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제 6항에 있어서, 상기 출력부는,증착조건의 보정에 대한 임계치 도달을 알리는 경고신호가 더 출력되는 것을 특징으로 하는 플룸 형상 제어 레이저 증착 시스템
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