맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

옥타 데카보레인 불순물 주입 전산모사를 위한 바이너리 충돌 근사 방법

  • 기술번호 : KST2014013946
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조 공정 중 기판의 전기적 특성을 부여하는 이온 주입 공정에서 극 미세 접합을 형성하기 위하여 단일 이온 주입에 비해 질량이 크고 서로 간에 결합 에너지에 의해 결합되어 있는 분자 형태의 불순물을 주입하는 분자 주입 공정의 시뮬레이션 기법에 대한 것이다. BCA(binary collision approximation), 분자 주입, 극 미세 접합, 옥타-데카보레인(B18H22).
Int. CL H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/265 (2006.01) H01L 21/336 (2006.01)
CPC H01L 21/265(2013.01) H01L 21/265(2013.01)
출원번호/일자 1020080096491 (2008.10.01)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0037258 (2010.04.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 황호정 대한민국 서울특별시 동작구
2 원태영 대한민국 경기도 화성시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
대리인 정보가 없습니다

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0689986-86
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5171144-97
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2008.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2008-5054267-90
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
옥테데카보레인(octa-decaborane) 분자의 이온주입을 컴퓨터 상에서 전산모사하는 방법에 있어서, (a) 옥타데카보레인 원자를 그리드에 일대일 대응시키는 단계; (b) 그리드 좌표를 시간축에 대해 점진적으로 이동하는 단계; (c) 온도 변화에 따라 옥타데카보레인 분자의 이동을 형상화하는 단계 를 포함한 전산모사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.