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다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서 및 그 제작 방법

  • 기술번호 : KST2014021948
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 질량 인가 효과와 더불어 표면 응력 변화에 의한 효과를 동시에 정량적으로 분석할 수 있는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서 및 그 제작방법을 개시한다. 압전 마이크로 칸티레버 공진자를 이용한 물리센서에 있어서, 상기 압전 마이크로 칸티레버 공진자는 감지과정에서 발생되는 센서 표면의 질량 변화 뿐만 아니라 흡착된 감지 대상물질에 의한 표면 응력 변화를 구별하여 정량 분석할 수 있도록 서로 다른 크기를 갖는 다수개의 압전 마이크로 칸티레버 공진자들이 배열되는 구조로 구성됨으로써, 질량 인가 효과와 더불어 표면 응력 변화에 의한 효과를 동시에 정량적으로 분석할 수 있도록 한 것이다. 압전 마이크로 칸티레버 공진자
Int. CL G01N 27/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080019031 (2008.02.29)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0975010-0000 (2010.08.03)
공개번호/일자 10-2009-0093486 (2009.09.02) 문서열기
공고번호/일자 (20100809) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.29)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재찬 대한민국 서울 서초구
2 신상훈 대한민국 경기 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권형중 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 *** (서소문동, 대한항공빌딩 *층)(특허법인 남앤남)
2 김문재 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 *** (서소문동, 대한항공빌딩 *층)(특허법인 남앤남)
3 이종승 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길** 에이동 ***호 (문정동, 현대지식산업센터)(리스비특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.02.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0151859-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0074347-27
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2009-0117189-33
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0480796-09
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.01.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0024076-48
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0024074-57
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0201291-57
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.07.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0444277-58
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0444276-13
11 등록결정서
Decision to grant
2010.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0330485-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
압전 마이크로 칸티레버 공진자를 이용한 물리센서에 있어서, 상기 압전 마이크로 칸티레버 공진자는 다수 개가 배열되는 구조로 이루어지고, 감지과정에서 발생되는 센서 표면의 질량 변화 뿐만 아니라 흡착된 감지 대상물질에 의한 표면 응력 변화를 구별하여 정량 분석할 수 있도록 서로 다른 크기를 갖는 는 것을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 압전 마이크로 칸티레버 공진자는 실리콘 기판 상부에 형성되며 길이가 단계적으로 축소되어 배열되는 다수개의 질화 실리콘막 칸티레버; 상기 질화 실리콘막 칸티레버의 상부에 형성되는 산화 실리콘 막; 상기 실리콘 산화 막 상부에 소정의 크기로 형성되는 하부 전극; 상기 하부 전극 상부에 압전 구동을 위해 형성되는 압전 구동박막층; 상기 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동박막층 일부 영역 상부에 전극간 절연을 위해 형성되는 절연층; 상기 절연층의 상부 및 상기 압전 구동박막층의 상부에 형성되는 상부 전극 및 상기 상부 전극 및 하부 전극에 소자의 구동을 위한 전계를 인가할 수 있도록 연결되는 전극라인; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서
3 3
제 2항에 있어서, 상기 질화 실리콘막 칸티레버는 길이가 축소되는 비율과 마찬가지로 폭도 축소되는 것을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서
4 4
제 3항에 있어서, 상기 질화 실리콘막 칸티레버는 그 두께가 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서
5 5
제 2항에 있어서, 상기 절연층은 폴리이미드인 것을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서
6 6
제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 가장 긴 압전 마이크로 칸티레버 공진자와 가장 짧은 압전 마이크로 칸티레버 공진자의 길이는 3배 이상인 것을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서
7 7
제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서의 제작방법에 있어서, (a) 실리콘 기판 상부 및 하부에 각각의 상기 질화 실리콘막 칸티레버를 증착하는 단계; (b) 상부측의 상기 질화 실리콘막 칸티레버 상부에 산하 실리콘 막을 증착하는 단계; (c) 상기 산화 실리콘 막 상부 전면에 접합 층을 포함한 하부 전극을 형성하는 단계; (d) 상기 하부 전극 상부 전면에 압전 구동을 위한 압전 구동박막층을 형성하는 단계; (e) 상기 형성된 압전 구동박막 일부를 식각하여, 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이 센서에 집적되는 다중 크기 압전 구동박막 재료 어레이를 형성하는 단계; (f) 상기 형성된 다중 크기 압전 구동 재료 어레이 하부에 있는 하부 전극의 일부를 식각하여, 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이 센서에 집적되는 다중 크기 하부 전극 어레이 및 구동 전압 인가를 위한 전극 라인 및 패드를 형성하는 단계; (g) 상기 형성된 다중 크기 하부 전극 어레이 및 다중 크기 압전 구동박막 재료 어레이 일부 영역 상부에 상하부 전극 간 절연을 위한 절연 층을 형성하는 단계; (h) 상기 절연 층의 상부 및 다중 크기 압전 구동박막 재료 어레이의 상부에 다중 크기 상부 전극 어레이와 구동 전압 인가를 위한 전극 라인 및 패드를 형성하는 단계; (i) 상기 하부 질화 실리콘막 칸티레버의 일부를 제거하는 단계; (j) 상기 (i) 단계로 노출된 실리콘 기판을 식각하는 단계; 및 (k) 상기 실리콘이 식각된 소자의 상부 질화 실리콘 막의 일부를 제거하여 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이 센서를 형성하는 단계; 를 순차적으로 실시하여 제작되는 것을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서의 제작방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 (k)단계 후, 감지 대상물질을 감지하기 위한 감지 층을 형성하는 (l) 단계를 더 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서의 제작방법
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제 8항에 있어서, 상기 (l) 단계는 생체 물질 감지를 위한 감지 물질 층의 형성을 위해 마이크로 칸티레버 표면에 gold 박막을 증착하고, gold-thiol 반응을 이용하여 자기 배열 단분자 층(self-assembled monolayer)을 형성하고 이후 감지 대상 물질에 적합한 감지 물질을 고정하는 것을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서의 제작방법
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제 8항에 있어서, 상기 (l) 단계는 화학 센서 응용을 위해 특정 감지 대상 물질이 결합할 수 있는 고분자 물질을 포함한 용액을 소자 표면에 잉크젯 프린팅, 스핀 코팅 또는 딥 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 하는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리센서 제작방법
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1 EP02251681 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02251681 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP05431301 JP 일본 FAMILY
4 JP22525317 JP 일본 FAMILY
5 US08169124 US 미국 FAMILY
6 US20100033058 US 미국 FAMILY
7 WO2009107965 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 EP2251681 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2251681 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2251681 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 JP2010525317 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP2010525317 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP2010525317 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 JP5431301 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 US2010033058 US 미국 DOCDBFAMILY
9 US8169124 US 미국 DOCDBFAMILY
10 WO2009107965 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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