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제1기판 밑면에 절연체 게이트를 형성하는 1단계;
반응조를 형성하기 위해 제1기판을 식각하는 2단계;
상기 절연체 게이트의 밑면에 유기 반도체 층을 증착하는 3단계;
상기 유기 반도체 층 밑면에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 4단계; 및
제2기판에 기준전극을 제작하여 상기 제1기판과 제2기판을 접합하여 상기 반응조에 설치하는 5단계를 포함하며,
상기 기준전극을 제작하는 단계가, 상기 제2기판에 은을 증착하는 단계 및 상기 은의 표면을 염소화하여 은/염화은 미세기준 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제3항에 있어서,
상기 제1기판과 제2기판을 접합하는 단계 전에 제2기판에 미세유동채널벽을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제4항에 있어서,
상기 미세유동채널벽이 감광성 고분자 또는 실리콘 중합체를 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1기판 및 제2기판이 플라스틱 또는 글라스 기판인 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절연체 게이트가 SiO2, SiOxNy, Si3N4, Al2O3, Ta2O5, Al2O3-ZrO2, Al2O3-Ta2O5, SnO2, ZrO2, PbTiO2, WO3, AlN로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 무기물을 재료로 하는 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절연체 게이트가 유기막과 무기막의 적층구조로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절연체 게이트가 유기물과 무기물의 나노복합체로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
3단계에서 증착되는 유기 반도체가 n형 올리고머 또는 p형 올리고머인 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제10항에 있어서,
상기 p형 올리고머가, 펜타센(pentacene), 다이메틸 펜타센(Me2-pentacene), 비스-벤조디티오펜(bis-benzodithiophene), 비스-티오펜 다이머(bis-thiophene dimer), 섹시티펜(sexithiphene), 헥실 치환 티오펜 올리고머(hexyl-substituted thiophene oligomers), 믹스트 티오펜-페닐렌 올리고머(mixed thiophene-phenylene oligomers), 안트라디티오펜(anthradithiophene), 루벤(rubene), 및 카퍼 프탈로시아닌(copper phthalocyanine)으로 이루어지는 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제10항에 있어서,
상기 n형 올리고머가, 폴리(3-헥실티펜)(poly(3-hexylthiphene)), 폴리쿼터티오펜(polyquarterthiophenes), 폴리[9,9-디옥틸플루오렌-코-바이티오펜](poly[9,9-dioctylfluorene-co-bithiophene]), 9,9-디알킬플루오렌-알트-트리아릴아민(9,9-dialkylfluorene-alt-triarylamine), 카바졸(carbazole), 폴리트릴아릴아민(polytriarylamines) 폴리머 또는 퀴노이메탄 테르티오펜(quinoimethane terthiophene), 퍼플루오로아렌-티오펜 올리고머(perfluoroarene-thiophene oligomers), 나프탈렌 카르보다이이미드(naphthalene carbodiimide) 단량체, 및 플러렌(fullerenes)으로 이루어지는 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 소스 전극 및 드레인 전극의 재질이 금, 니켈, 알루미늄, 은 또는 크롬 중에 하나인 것을 특징으로 하는 유기 전계효과 트랜지스터를 적용한 바이오센서 제조방법
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