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제1미세 배열의 패턴을 갖는 다수의 제1성형홈(171)이 일면에 형성된 제1마스터판(170)을, 온도 및 진공도의 조절이 가능한 제1진공챔버(110)의 내부에 준비하는 제1마스터판 준비단계(S100);
렌즈의 원재료가 되는 기판(160)을 상기 제1진공챔버(110) 내부에 준비하는 기판 준비단계(S200);
상기 제1마스터판(170)과 기판(160)의 밀착에 의하여 밀폐되도록 형성된 상기 제1성형홈(171)의 공간과 상기 제1진공챔버(110)의 압력차를 이용하여, 상기 기판(160)의 일면에 마이크로 단위의 제1렌즈(161;161a,161b)가 다수개 배열된 제1렌즈어레이 기판(260;260a,260b)을 완성하는 제1렌즈기판 완성단계(S300;S300a,S300b);
상기 제1마스터판(170)과 제1렌즈어레이 기판(260)을 냉각시킨 후, 상기 제1렌즈어레이 기판(260)을 분리시키는 제1렌즈기판 분리단계(S400;S400a,S400b);
상기 제1성형홈(171)보다 배열 간격이 넓고 다수의 상기 제1성형홈(171)을 포함할 수 있도록 제2미세 배열의 패턴을 갖는 다수의 제2성형홈(271)이 일면에 형성된 제2마스터판(270)을, 온도 및 진공도의 조절이 가능한 제2진공챔버(210) 내부에 준비하는 제2마스터판 준비단계(S500);
상기 제1렌즈어레이 기판(260)을 상기 제2진공챔버(210)의 내부에 준비하는 제1렌즈기판 준비단계(S600;S600a,S600b);
상기 제2마스터판(270)과 제1렌즈어레이 기판(260)의 밀착에 의하여 밀폐되도록 형성된 상기 제2성형홈(271)의 공간과 상기 제2진공챔버(210)의 압력차를 이용하여, 상기 제1렌즈어레이 기판(260)의 제1렌즈(161) 형성 면에 상기 제1렌즈(161)의 다수개를 포함하는 복합렌즈(261;261a,261b,261c,261d)가 다수개 배열된 복합렌즈어레이(262;262a,262b,262c,262d)를 완성하는 복합렌즈 완성단계(S700;S700a,S700b,S700c,S700d); 및
상기 제2마스터판(270)과 복합렌즈어레이(262)를 냉각시킨 후, 상기 복합렌즈어레이(262)를 분리시키는 복합렌즈 분리단계(S800;S800a,S800b,S800c,S800d)를 포함하는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제1렌즈기판 완성단계(S300a)는,
상기 제1진공챔버(110)의 내부를 진공상태로 형성하는 제1챔버 진공형성단계(S310a)와,
상기 제1마스터판(170)과 기판(160)을 밀착시키는 기판 밀착단계(S320a)와,
밀착된 상기 제1마스터판(170)과 기판(160)을 가열하여 서로 융착시키는 기판 융착단계(S330a)와,
상기 제1진공챔버(110)를 개방하여 상기 제1진공챔버(110) 내의 진공을 해제시키는 제1챔버 진공해제단계(S340a)와,
압력차에 의해 상기 기판(160)의 일면에 마이크로 단위의 볼록렌즈인 제1렌즈(161a)가 다수개 배열된 제1렌즈어레이 기판(260a)을 형성하는 제1렌즈 형성단계(S350a)를 포함하는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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청구항 2에 있어서, 상기 복합렌즈 완성단계(S700a)는,
상기 제2진공챔버(210)의 내부를 진공상태로 형성하는 제2챔버 진공형성단계(S710a)와,
상기 제2마스터판(270)과 제1렌즈어레이 기판(260a)을 밀착시키는 제1렌즈기판 밀착단계(S720a)와,
밀착된 상기 제2마스터판(270)과 제1렌즈어레이 기판(260a)을 가열하여 서로 융착시키는 제1렌즈기판 융착단계(S730a)와,
상기 제2진공챔버(210)를 개방하여 상기 제2진공챔버(210) 내의 진공을 해제시키는 제2챔버 진공해제단계(S740a)와,
압력차에 의해 상기 제1렌즈(161a)의 다수개를 포함하는 볼록렌즈 형상의 복합렌즈(261a)가 다수개 배열된 복합렌즈어레이(262a)를 형성하는 복합렌즈 형성단계(S750a)를 포함하는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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청구항 2에 있어서, 상기 복합렌즈 완성단계(S700b)는,
상기 제2마스터판(270)과 제1렌즈어레이 기판(260a)을 밀착시키는 제1렌즈기판 밀착단계(S710b)와,
밀착된 상기 제2마스터판(270)과 제1렌즈어레이 기판(260a)을 가열하여 서로 융착시키는 제1렌즈기판 융착단계(S720b)와,
상기 제2진공챔버(210)의 내부를 진공상태로 형성하는 제2챔버 진공형성단계(S730b)와,
압력차에 의해 상기 제1렌즈(161a)의 다수개를 포함하는 오목렌즈 형상의 복합렌즈(261b)가 다수개 배열된 복합렌즈어레이(262b)를 형성하는 복합렌즈 형성단계(S740b)와,
상기 제2진공챔버(210)를 개방하여 진공을 해제시키는 제2챔버 진공해제단계(S750b)를 포함하는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제1렌즈기판 완성단계(S300b)는,
상기 제1마스터판(170)과 기판(160)을 밀착시키는 기판 밀착단계(S310b)와,
밀착된 상기 제1마스터판(170)과 기판(160)을 가열하여 서로 융착시키는 기판 융착단계(S320b)와,
상기 제1진공챔버(110)의 내부를 진공상태로 형성하는 제1챔버 진공형성단계(S330b)와,
압력차에 의해 상기 기판(160)의 일면에 오목렌즈인 제1렌즈(161b)가 다수개 배열된 제1렌즈어레이 기판(260b)을 형성하는 제1렌즈 형성단계(S340b)와,
상기 제1진공챔버(110)를 개방하여 상기 제1진공챔버(110) 내의 진공을 해제시키는 제1챔버 진공해제단계(S350b)를 포함하는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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청구항 5에 있어서, 상기 복합렌즈 완성단계(S700c)는,
상기 제2진공챔버(210)의 내부를 진공상태로 형성하는 제2챔버 진공형성단계(S710c)와,
상기 제2마스터판(270)과 제1렌즈어레이 기판(260b)을 밀착시키는 제1렌즈기판 밀착단계(S720c)와,
밀착된 상기 제2마스터판(270)과 제1렌즈어레이 기판(260b)을 가열하여 서로 융착시키는 제1렌즈기판 융착단계(S730c)와,
상기 제2진공챔버(210)를 개방하여 상기 제2진공챔버(210) 내의 진공을 해제시키는 제2챔버 진공해제단계(S740c)와,
압력차에 의해 상기 제1렌즈(161b)의 다수개를 포함하는 볼록렌즈 형상의 복합렌즈(261c)가 다수개 배열된 복합렌즈어레이(262c)를 형성하는 복합렌즈 형성단계(S750c)를 포함하는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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청구항 5에 있어서, 상기 복합렌즈 완성단계(S700d)는,
상기 제2마스터판(270)과 제1렌즈어레이 기판(260b)을 밀착시키는 제1렌즈기판 밀착단계(S710d)와,
밀착된 상기 제2마스터판(270)과 제1렌즈어레이 기판(260b)을 가열하여 서로 융착시키는 제2렌즈기판 융착단계(S720d)와,
상기 제2진공챔버(210)의 내부를 진공상태로 형성하는 제2챔버 진공형성단계(S730d)와,
압력차에 의해 상기 제1렌즈(161b)의 다수개를 포함하는 오목렌즈 형상의 복합렌즈(261d)가 다수개 배열된 복합렌즈어레이(262d)를 형성하는 복합렌즈 형성단계(S740d)와,
상기 제2진공챔버(210)를 개방하여 진공을 해제시키는 제2챔버 진공해제단계(S750d)를 포함하는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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청구항 2 내지 청구항 7 중 어느 한 청구항에 있어서,
상기 기판(160)은 폴리머 재질의 고분자 필름이며,
상기 융착단계(S320b,S330a,S720b,S720d,S730a,S730c)에서, 상기 기판(160) 또는 제1렌즈어레이 기판(260;260a,260b)은, 상기 제1마스터판(170) 또는 제2마스터판(270)을 매개로 하여 100℃~300℃로 가열되는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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청구항 2 내지 청구항 7 중 어느 한 청구항에 있어서,
상기 진공 형성단계(S310a,S330b,S710a,S710c,S730b,S730d)는, 상기 제1 또는 제2진공챔버(110)(210) 내의 진공도를 조절하여 상기 제1렌즈(161) 또는 복합렌즈(261)의 형상을 조절하는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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청구항 2 내지 청구항 7 중 어느 한 청구항에 있어서,
상기 렌즈 형성단계(S340b,S350a,S740b,S740d,S750a,S750c)는, 렌즈형성시간을 조절하여 상기 제1렌즈(161) 또는 복합렌즈(261)의 형상을 조절하는 마이크로 복합렌즈 어레이 제조방법
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