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마이크로 렌즈 어레이 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014035899
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요약 본 발명은, 마이크로 렌즈 어레이와 마이크로 렌즈 어레이에 의해 형성되는 초점이 맺히는 마스크 패턴을 포함하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이의 일측에 포토레지스트가 도포된 투명필름을 배치하는 투명필름배치단계; 상기 마이크로 렌즈 어레이에 대해 자외선을 조사하여 상기 마이크로 렌즈 어레이의 초점상의 상기 포토레지스트가 경화되도록 하는 경화단계; 상기 포토레지스트의 경화부를 제외한 나머지 상기 포토레지스트를 제거하는 제거단계; 상기 투명필름 상에 메탈을 증착하는 메탈증착단계; 및 상기 투명필름 상의 상기 포토레지스트를 제거하는 단계; 로 이루어진 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법을 제공한다.본 발명은 마이크로 렌즈 어레이 상의 마이크로 렌즈에 의해 형성된 초점과 마스크 패턴의 정렬이 용이하게 이루어지는 효과를 갖는다.
Int. CL G02B 3/00 (2006.01) B29D 11/00 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/70275(2013.01) G03F 7/70275(2013.01) G03F 7/70275(2013.01) G03F 7/70275(2013.01) G03F 7/70275(2013.01) G03F 7/70275(2013.01)
출원번호/일자 1020100091850 (2010.09.17)
출원인 인하대학교 산학협력단, (주)누리나노텍
등록번호/일자 10-1238934-0000 (2013.02.25)
공개번호/일자 10-2012-0029793 (2012.03.27) 문서열기
공고번호/일자 (20130306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.09.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
2 (주)누리나노텍 대한민국 인천광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이한섭 대한민국 인천광역시 연수구
2 박병국 대한민국 인천광역시 남구
3 조철진 대한민국 인천광역시 남동구
4 최기운 대한민국 인천광역시 남동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 옵토전자 경기도 안양시 동안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0608903-34
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2011.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0154591-45
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.10.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.11.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0090863-33
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0400853-43
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0736577-35
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0736576-90
8 등록결정서
Decision to grant
2013.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0051973-61
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
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마이크로 렌즈 어레이와 마이크로 렌즈 어레이에 의해 형성되는 초점이 맺히는 마스크 패턴을 포함하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이의 일측에 포토레지스트가 도포된 투명필름을 배치하는 투명필름배치단계; 상기 마이크로 렌즈 어레이에 대해 자외선을 조사하여 상기 마이크로 렌즈 어레이의 초점상의 상기 포토레지스트가 경화되도록 하는 경화단계; 상기 포토레지스트의 경화부를 제외한 나머지 상기 포토레지스트를 제거하는 제거단계;상기 투명필름 상에 메탈을 증착하는 메탈증착단계; 및 상기 투명필름 상의 상기 포토레지스트를 제거하는 단계; 로 이루어진 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈 어레이는 다수개의 성형홈이 일측면에 형성되어 있는 마스터판을 진공챔버 내부에 준비하는 마스터판 준비단계; 상기 성형홈들 사이에 메탈을 증착하거나, 잉크 또는 블랙매트릭스를 도포하여 광선의 투과를 차단하는 차광막을 형성하는 차광막 준비단계; 상기 진공챔버 내부에 마이크로 렌즈의 원재료가 되는 기판을 준비하는 기판 준비단계; 상기 진공챔버 내부를 진공상태로 형성하는 진공형성단계; 상기 마스터판과 상기 기판을 밀착시키는 밀착단계; 상기 기판을 가열하는 가열단계; 상기 진공챔버 내의 진공을 해제시키는 진공해제단계; 및상기 마스터판과 상기 기판을 분리시켜 렌즈를 형성하는 렌즈형성단계;에 의해 제조되는 마이크로 렌즈 어레이의 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 기판과 상기 마스터판을 변형이 일어나지 않는 온도로 냉각하는 기판 냉각 단계를 더 포함하는 마이크로 렌즈 어레이의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 차광막을 형성하는 상기 메탈의 녹는 점 또는 상기 잉크, 블랙매트릭스의 증발 온도는 상기 가열단계에서 상기 기판에 인가되는 온도보다 높은 마이크로 렌즈 어레이의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 렌즈형성단계의 지속시간은 상기 마이크로 렌즈의 곡률 정도에 따라 증감되는 마이크로 렌즈 어레이의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 광선은 상기 마이크로 렌즈의 광축과 평행한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
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