| 요약 |
본 발명은 물체를 탑재한 이동프레임을 2축 방향으로 선형운동시킬 때 기생오차를 최소화시켜 탑재된 물체를 원하는 위치에 보다 정밀하게 위치결정시킬 수 있도록 하는 초정밀 위치 결정용 병렬형 2축 선형 안내기구에 관한 것으로, 이동프레임의 사변 각각에 한 쌍의 탄성체가 연결되는 사중선형스프링; 상기 사변의 탄성체에 이동부재가 연결되어, 상기 이동프레임에 힘을 가하여 이동시킬 때 이동부재의 위치를 가변시켜 상기 이동부재가 직선이동 할 수 있도록 안내하는 안내수단;을 포함하는 것이 특징이다. 여기서, 상기 안내수단은, 상기 사변의 탄성체와 연결되는 이동부재; 상기 이동부재의 이격된 양측에 구비되는 지지대; 상기 이동부재와 각 지지대들 사이에 연결되는 탄성을 갖는 한 쌍의 제 1탄성체; 및 상기 제 1탄성체들의 각 외측 지지대에 연장되고 그 단부가 설치장소에 고정되어, 이동프레임의 이동에 의해 이동부재 및 제 1탄성부재의 위치가 변위될 때 이들을 직선이동 안내하는 제 2탄성부재;를 포함하는 이중복합선형스프링이다. 위치결정, 기생오차, 선형스프링, 이중선형스프링, 사중선형스프링, 이중복합선형스프링
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