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임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법과 이의 나노 구조물

  • 기술번호 : KST2014007010
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에서 제공하는 나노임프린트 리소그래피 공정을 도입한 미세접촉 인쇄 방법은, 일 태양에서 나노임프린트 리소그래피 공정을 이용해서 기판 위에 나노 구조물을 형성하는 단계;와, 상기 미세접촉 인쇄 방법으로 패터닝하는 단계로 이루어지며, 상기 패터닝 단계가, 상기 나노 구조물에 금속 박막을 증착하는 단계; 자기조립 단층막(SAM: Self-Assembled Monolayer)이 잉킹(inking)된 스탬프와, 상기 금속 박막이 증착된 나노 구조물을 접촉시켜 상기 자기조립 단층막을 나노 구조물에 선택적으로 인쇄하는 단계; 상기 자기조립 단층막을 마스크(mask)로 상기 금속 박막을 선택적으로 제거하는 단계; 나노 구조물에서 상기 자기조립 단층막을 제거하는 단계; 그리고, 상기 나노 구조물에 잔존하는 금속 박막을 마스크로 사용해서 상기 기판을 패터닝(patterning)하는 단계;를 포함해서 이루어진다. 미세접촉인쇄, 임프린트, 리소그래피, 나노, 스탬프
Int. CL B82B 1/00 (2011.01) G03F 7/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020040012192 (2004.02.24)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0590727-0000 (2006.06.09)
공개번호/일자 10-2005-0087011 (2005.08.31) 문서열기
공고번호/일자 (20060619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.02.24)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정준호 대한민국 대전광역시유성구
2 손현기 대한민국 대전광역시유성구
3 심영석 대한민국 서울특별시광진구
4 신영재 대한민국 대전광역시유성구
5 이응숙 대한민국 대전광역시유성구
6 황경현 대한민국 대전광역시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2004-0075038-01
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2005-0002690-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.10.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0072913-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0597777-03
6 의견서
Written Opinion		 2006.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0036639-41
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.01.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0036640-98
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0265235-61
9 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0430500-81
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노임프린트 리소그래피 공정에 미세접촉 인쇄 방법을 도입하여 패터닝(patterning)하는 방법으로, 상기 나노임프린트 리소그래피 공정을 이용해서 기판 위에 나노 구조물을 형성하는 단계;와, 상기 미세접촉 인쇄 방법으로 패터닝하는 단계로 이루어지며, 상기 패터닝 단계가, 상기 나노 구조물에 금속 박막을 증착하는 단계; 자기조립 단층막(SAM: Self-Assembled Monolayer)이 잉킹(inking)된 스탬프와, 상기 금속 박막이 증착된 나노 구조물을 접촉시켜 상기 자기조립 단층막을 나노 구조물에 선택적으로 인쇄하는 단계; 상기 자기조립 단층막을 마스크(mask)로 상기 금속 박막을 선택적으로 제거하는 단계; 나노 구조물에서 상기 자기조립 단층막을 제거하는 단계; 그리고, 상기 나노 구조물에 잔존하는 금속 박막을 마스크로 사용해서 상기 기판을 패터닝(patterning)하는 단계;를 포함하는 임프린트된 나노구조믈을 이용한 미세접촉 인쇄방법
2 2
나노임프린트 리소그래피 공정에 미세접촉 인쇄 방법을 도입하여 바이오 소자를 패터닝(patterning)하는 방법으로, 상기 나노임프린트 리소그래피 공정을 이용해서 기판 위에 나노 구조물을 형성하는 단계;와, 상기 미세접촉 인쇄 방법으로 패터닝하는 단계로 이루어지며, 상기 패터닝 단계가, 상기 나노 구조물에 금속 박막을 증착하는 단계; 그리고, 바이오 박막이 잉킹(inking)된 스탬프와, 상기 금속 박막이 증착된 나노 구조물을 접촉시켜 상기 바이오 박막을 나노 구조물에 선택적으로 인쇄하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 바이오 박막을 마스크(mask)로 상기 금속 박막을 선택적으로 제거하는 단계;를 더 포함하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄방법
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 나노 구조물을 형성하는 단계가, 형성하고자 하는 나노 구조물에 대응하는 패턴이 형성된 마스터를 마련하는 단계; 상기 기판 또는 마스터 중의 어느 한 곳에 레지스트리를 도포하는 단계; 상기 스탬프와 상기 기판을 서로 접촉시켜 가압하는 단계; 그리고, 상기 레지스트를 경화시키는 단계;를 포함하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
5 5
제3항에 있어서, 상기 레지스트가 자외선 경화성 또는 열 경화성 수지이고, 각각 자외선을 조사하거나 열을 가하여 경화하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
6 6
제3항에 있어서, 상기 금속 박막이 스퍼터링(sputtering) 방식이나 직접 가열하여 증기 형태로 나노 구조물의 양각부에 증착(deposition) 되는 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
7 7
제6항에 있어서, 상기 나노 구조물에 증착된 금속 박막은 금(Au), 은(Ag), 또는 팔라듐(Pd)으로 이루어지는 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
8 8
제3항에 있어서, 상기 스탬프가 탄성 중합체(PDMS)로 제작된 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
9 9
제1항에 있어서, 상기 자기조립 단층막이 잉킹된 스탬프가, 상기 금속 박막이 증착된 나노 구조물의 양각부 끝단에 접촉하여 자기조립 단층막을 상기 나노 구조물에 선택적으로 인쇄하는 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
10 10
제2항에 있어서, 상기 바이오 박막이 잉킹된 스탬프가, 상기 금속 박막이 증착된 나노 구조물의 양각부 끝단에 접촉하여 바이오 박막을 상기 나노 구조물에 선택적으로 인쇄하는 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
11 11
제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 스탬프가 상기 나노 구조물과 접촉되는 쪽에서 평탄면이 구비되며, 이곳에 상기 바이오 박막 또는 자기조립 단층막이 증착된 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
12 12
제1항에 있어서, 상기 자기조립 단층막을 마스크로 사용해서 나노 구조물로부터 금속 박막을 선택적으로 제거하는 단계가, 상기 나노 구조물의 양각부 사이의 홈에 증착된 금속 박막만을 선택적으로 제거하는 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
13 13
제2항에 있어서, 상기 바이오 박막을 마스크로 사용해서 나노 구조물로부터 금속 박막을 선택적으로 제거하는 단계가, 상기 나노 구조물의 양각부 사이의 홈에 증착된 금속 박막만을 선택적으로 제거하는 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
14 14
제1항에 있어서, 상기 기판을 패터닝하는 단계가, 이방성 식각을 통해 상기 나노 구조물의 양각부 사이의 홈 바닥면에 대해서 선택적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법
15 15
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16 16
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17 17
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18 17
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US07442316 US 미국 FAMILY
2 US20050186405 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2005186405 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7442316 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.