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(a) 적외선을 방출하는 IR 광원의 조사에 의해 렌즈세트를 통하여 1차 렌즈 위에 2차 렌즈를 올려놓고, 상하 이송 스테이지를 통하여 상기 1차 렌즈의 투과 이미지와 상기 2차 렌즈의 반사이미지(또는 투과이미지)를 촬영하는 단계(S10);
(b) 상기 촬영된 1차 및 2차 투과이미지를 통하여 화이트 밸런스 값의 중간점을 검출하는 단계(S30);
(c) 상기 1차 및 2차 투과이미지의 중심을 검출하는 단계(S40); 및
(d) 상기 검출된 중심을 통하여 1차 렌즈의 중심에 2차 렌즈의 중심을 이동하도록 하여 미세홀을 가진 렌즈 얼라인 간의 오차를 수정하는 단계(S50); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선을 이용한 다층구조의 미세홀 얼라인 오차 수정방법
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제 1항에 있어서,
상기 (b) 단계는,
상기 촬영된 1차 및 2차 투과이미지에서 화이트 밸런스 값이 저점에 위치한 후, 상승곡선이 되는 경우의 50%에 해당되는 점과, 고점에 위치한 후 하향곡선이 되는 경우의 50% 에 해당되는 점을 검출하여, 중심축을 검출하도록 하는 적외선을 이용한 다층구조의 미세홀 얼라인 오차 수정방법
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제 1항에 있어서,
파장의 폭이 작은 단파장 또는 FWHM(Full Width at Half Maximum, 반치전폭) 이 작은 단파장을 사용하여 저해상도인 경우에도 웨이퍼 소재로 제작되어 있는 다층구조의 미세홀에 대한 얼라인 오차를 수정할 수 있는 것을 특징으로 하는 적외선을 이용한 다층구조의 미세홀 얼라인 오차 수정방법
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(a) 적외선을 방출하는 IR 광원의 조사에 의해 렌즈세트를 통하여 1차 렌즈위에 2차 렌즈를 올려놓고, 상하 이송 스테이지를 통하여 상기 1차 렌즈의 투과 이미지와 상기 2차 렌즈의 반사이미지(또는 투과이미지)를 촬영하는 단계(S10);
(b) 상기 촬영된 1차 및 2차 투과이미지를 통하여 화이트 밸런스 값의 중간점을 검출하는 단계(S30);
(c) 상기 1차 및 2차 투과이미지의 중심축을 검출하는 단계(S40); 및
(d) 상기 중심축간의 차이를 얼라인 오차로 판단하도록 하는 단계(S50); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선을 이용한 다층구조의 미세홀 얼라인 오차 측정방법
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제 4항에 있어서,
파장의 폭이 작은 단파장 또는 FWHM(Full Width at Half Maximum, 반치전폭)이 작은 단파장을 사용하여 저해상도인 경우에도 웨이퍼 소재로 제작되어 있는 다층구조의 미세홀에 대한 얼라인 오차를 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 적외선을 이용한 다층구조의 미세홀 얼라인 오차 측정방법
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