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다기능 분광장치(spectroscopy apparatus)

  • 기술번호 : KST2016010047
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다기능 분광장치에 관한 것으로서, 평행광 생성부에서 출사되는 평행빔의 출사방향에 설치되어 상기 평행빔의 광축을 기준으로 중앙부분의 광을 집속시키는 제1렌즈와, 제1렌즈와 대향되게 배치되며 제1렌즈를 경유하여 확산되는 광을 평행광으로 변환하는 제2렌즈와, 제2렌즈를 거친 광을 반사시킬 수 있도록 제2렌즈와 대향되게 설치된 기준미러와, 제1렌즈와 제2렌즈 사이에 설치되며 제1렌즈를 거친 광을 제1렌즈의 광축과 교차되는 방향으로 일부 반사시키고 일부는 제2렌즈를 향하는 방향으로 투과시키는 빔스플릿터와, 빔스플릿터를 거쳐 진행되는 광을 측정대상체로 집속시키는 제3렌즈와, 측정대상체에서 반사되어 역으로 제3미러 및 빔스플릿터를 거쳐 진행되는 광을 집속시키는 제4렌즈와, 제4렌즈의 제2초점을 거쳐 확산되는 광을 평행광으로 변환하는 제5렌즈와, 제5렌즈의 광축에 대해 경사지게 배치되어 제5렌즈를 거쳐 진행되는 평행광을 회절에 의해 분광시키는 회절격자를 구비한다.이러한 다기능 분광장치에 의하면, 통합 광학계를 이용하여 막두께, 표면형상, 굴절율을 원하는 측정방식에 맞게 이용할 수 있는 장점을 제공한다.
Int. CL G01B 11/30 (2006.01) G01B 11/00 (2006.01) G01B 11/06 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01) G01N 21/01 (2006.01) G01N 21/41 (2006.01) G01M 11/02 (2006.01) G02B 26/10 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020140148936 (2014.10.30)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1620594-0000 (2016.05.04)
공개번호/일자 10-2016-0052992 (2016.05.13) 문서열기
공고번호/일자 (20160524) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.30)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호재 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 이상선 대한민국 전라남도 목포시 포미로 **, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-1044531-52
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0096340-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0833162-50
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0063319-14
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0063309-68
8 등록결정서
Decision to grant		 2016.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0318371-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
1 1
평행빔을 생성하여 출사하는 평행광 생성부와;상기 평행광 생성부에서 출사되는 평행빔의 출사방향에 설치되어 상기 평행빔의 광축을 기준으로 중앙부분의 광을 집속시키는 제1렌즈와;상기 제1렌즈와 대향되게 배치되며 상기 제1렌즈의 제1초점을 경유하여 확산되는 광을 평행광으로 변환하는 제2렌즈와;상기 제2렌즈를 거친 광을 반사시킬 수 있도록 상기 제2렌즈와 대향되게 설치된 기준미러와;상기 제1렌즈와 상기 제2렌즈 사이에 설치되며 상기 제1렌즈를 거친 광을 상기 제1렌즈의 광축과 교차되는 방향으로 일부 반사시키고 일부는 상기 제2렌즈를 향하는 방향으로 투과시키도록 배치된 빔스플릿터와;상기 빔스플릿터를 거쳐 진행되는 광을 측정대상체로 집속시키는 제3렌즈와;상기 측정대상체에서 반사되어 역으로 상기 제3렌즈 및 상기 빔스플릿터를 거쳐 진행되는 광을 집속시키는 제4렌즈와;상기 평행광 생성부에서 생성되어 상기 제1렌즈를 벗어난 영역을 향해 진행하면서 상기 제1렌즈를 거치지 않고 상기 빔스플릿터로부터 반사되어 상기 제3렌즈의 광축과 나란하게 진행되는 광을 상기 측정대상체의 표면에 경사지게 입사시킬 수 있도록 배치된 제1경사미러와;상기 제1경사미러로부터 측정대상체를 거친 광을 상기 제3렌즈의 광축과 나란한 방향으로 반사시켜 상기 제4렌즈로 향하도록 경사지게 배치된 제2경사미러;를 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 분광기
2 2
제1항에 있어서, 상기 제4렌즈의 제2초점을 거쳐 확산되는 광을 평행광으로 변환하는 제5렌즈와;상기 제5렌즈의 광축에 대해 경사지게 배치되어 상기 제5렌즈를 거쳐 진행되는 평행광을 회절에 의해 분광시키는 회절격자;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 분광기
3 3
제2항에 있어서, 상기 제4렌즈의 제2초점위치에는 제2초점을 중심으로 광을 투과시키는 투과홀이 형성된 슬릿;이 더 구비된 것을 특징으로 하는 다기능 분광기
4 4
제3항에 있어서, 상기 회절격자를 거쳐 진행되는 0차 회절광을 집속하는 제6렌즈와;상기 회절격자를 거쳐 진행되는 1차 회절광을 집속하는 제7렌즈;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 분광기
5 5
제4항에 있어서, 상기 제6렌즈와 상기 제7렌즈 각각을 통해 집속된 광을 검출하는 제1 및 제2검출부;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 분광기
6 6
제1항에 있어서, 상기 평행광 생성부와 상기 제1렌즈 사이 내로 입출되면서 상기 평행광 생성부에서 생성되어 상기 제1렌즈를 벗어난 영역을 향하는 광을 투과 또는 차단시킬 수 있도록 된 제1셔터와;상기 제2렌즈와 상기 기준미러 사이 내로 입출되면서 상기 제2렌즈를 통과한 광을 상기 기준미러로 향하도록 투과시키거나 흡수시킬 수 있도록 된 제2셔터;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 분광기
7 7
제1항에 있어서, 상기 제4렌즈를 통과한 광을 검출하는 광검출부를 더 구비하고,상기 평행광 생성부는 파장을 가변하여 출사하는 광원과;상기 광원에서 출사되는 광의 파장이 설정된 가변조건에 따라 가변되게 출사되게 상기 광원을 구동하는 광원구동부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 분광기
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN107076540 CN 중국 FAMILY
2 US09945656 US 미국 FAMILY
3 US20170234674 US 미국 FAMILY
4 WO2016068504 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN107076540 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN107076540 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 US2017234674 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US9945656 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2016068504 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.